摘要
:O,,fJ<x.O XOS^&; 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
n~>b}DY k%-y\WM
"{S4YA 'q/C: Yo 建模任务
b+AxTe(" N-}OmcO]e
Lo[;{A$u @!x7jPr 1阶的
参数优化
YuoErP=P (ux9"r^g;x
<#Fex'4 tg%<@U`7= 结果-容差分析
+N~{6*@uz, .;vd
UK8k`;^KI GXv2B%i8 结果-容差分析
&8%^o9sH i7\>uni
`x L@% "$"<AKCwS 在
VirtualLab Fusion中查看
LBpAR| F')E)tV
w3>G3=b %<q"&]e, VirtualLab Fusion的工作流程
&