摘要
\z FCph4 Qb>("j~Z 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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iV?8'^ H!X*29nX 结果-容差分析
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GBRiU&D $^^M&[b- 在
VirtualLab Fusion中查看
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@}!?}QU uuD2O )v VirtualLab Fusion的工作流程
N5=}0s]e Z`GEF|eh •构造光栅结构
W=293mME -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
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倾斜光栅的高级配置[用例]
Hmhsb2`\ •分析光栅衍射效率
R[v<mo[s - 光栅级次分析器[用例]
f-[.^/ •使用参数优化优化光栅参数
!.O[@A\.- •使用参数运行进行容差分析
*dBmb -
参数运行文档的用法[用例]
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VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings ZTfW_0
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Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction KV&6v`K/N jR\! 2! (来源:讯技光电)