具有直壁或倾斜侧壁的二元
光栅已成为许多
光学应用中的关键部件。 感谢
纳米压印技术，使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。
VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法（FMM，也称为RCWA）和不同的
优化算法，为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程，和随后的制造误差分析，如圆边效应。
v.e~m2u_F ;,jms~ik 高效
偏振无关透射光栅的分析与设计
^ )[j BUT P{h$> 6c W{*w<a_ ` 我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元
结构以获得高偏振无关的
衍射效率。
`]l*H3+hg g{$F;qbkO 倾斜光栅的
参数优化与
公差分析
*D$Hd">X Z3Y( g jM|-(Es. ) 利用傅立叶模态法（FMM）优化倾斜光栅，以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差，如圆形边缘。
!$^LTBOH3 'hH3d"a^= （来源：讯技光电）
2ID]it\5
