具有直壁或倾斜侧壁的二元
光栅已成为许多
光学应用中的关键部件。 感谢
纳米压印技术，使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。
VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法（FMM，也称为RCWA）和不同的
优化算法，为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程，和随后的制造误差分析，如圆边效应。
)5}=^aqd n4cM
/unU 高效
偏振无关透射光栅的分析与设计
GnlP#; 7|I On5 ) ")_aA 我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元
结构以获得高偏振无关的
衍射效率。
"eq{_4dL JM-spi o 倾斜光栅的
参数优化与
公差分析
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3 SO #NWa<0| 利用傅立叶模态法（FMM）优化倾斜光栅，以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差，如圆形边缘。
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L7*,v5 （来源：讯技光电）
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