具有直壁或倾斜侧壁的二元
光栅已成为许多
光学应用中的关键部件。 感谢
纳米压印技术，使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。
VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法（FMM，也称为RCWA）和不同的
优化算法，为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程，和随后的制造误差分析，如圆边效应。
\$gA2r } #&L 高效
偏振无关透射光栅的分析与设计
i9T<(sdK+ v <mSd2B*
.eyJ<b9 我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元
结构以获得高偏振无关的
衍射效率。
HmH M#~5(` 8fK/0u^`d 倾斜光栅的
参数优化与
公差分析
0-/@-qV\ n3$u9!|P
UUF]45t> 利用傅立叶模态法（FMM）优化倾斜光栅，以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差，如圆形边缘。
-C* 6> $A uG-S$n"7K （来源：讯技光电）
m[ BpV .s
