具有直壁或倾斜侧壁的二元
光栅已成为许多
光学应用中的关键部件。 感谢
纳米压印技术,使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。
VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)和不同的
优化算法,为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程,和随后的制造误差分析,如圆边效应。
. {vMn0c 5\Rg%Ezl 高效
偏振无关透射光栅的分析与设计
t$3B#= t*J?#r +|--}iE5n 我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元
结构以获得高偏振无关的
衍射效率。
P(UY}oU Q?bCQZ{-Lh 倾斜光栅的
参数优化与
公差分析
B7wzF" dZY|6 mT/^F{c 利用傅立叶模态法(FMM)优化倾斜光栅,以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差,如圆形边缘。
o)GesgxFa5 C/4r3A/u (来源:讯技光电)
_<GXR
?