具有直壁或倾斜侧壁的二元
光栅已成为许多
光学应用中的关键部件。 感谢
纳米压印技术，使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。
VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法（FMM，也称为RCWA）和不同的
优化算法，为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程，和随后的制造误差分析，如圆边效应。
wa C%o%fD = U 5)m 高效
偏振无关透射光栅的分析与设计
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aF:I]]TfK~ 我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元
结构以获得高偏振无关的
衍射效率。
4{Iz\:G:{/ !q X 7 倾斜光栅的
参数优化与
公差分析
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D|xSO~M5 利用傅立叶模态法（FMM）优化倾斜光栅，以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差，如圆形边缘。
Umqm5*P( Lv_>cFJ}[ （来源：讯技光电）
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