具有直壁或倾斜侧壁的二元
光栅已成为许多
光学应用中的关键部件。 感谢
纳米压印技术,使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。
VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)和不同的
优化算法,为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程,和随后的制造误差分析,如圆边效应。
6Br^Ugy ^O<'Qp,[: 高效
偏振无关透射光栅的分析与设计
E5A"sB
2!LDrvPP )-"<19eu 我们演示了如何严格分析二元光栅的偏振相关特性; 以及如何优化二元
结构以获得高偏振无关的
衍射效率。
Wgs6}1bg Q_p&~ PNy5 倾斜光栅的
参数优化与
公差分析
v6DjNyg<x F3vywN1$, Id^q!4Th9 利用傅立叶模态法(FMM)优化倾斜光栅,以实现将光耦合到波导中的高衍射效率。 分析制造公差,如圆形边缘。
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(来源:讯技光电)
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