能谱X射线光谱仪EDX

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EDX（能量色散X射线光谱仪）ASDF d`/tE?Gw  
不同元素的特征X射线在电子束撞击样品表面时会被激发出来。能量色散X射线光谱仪通过测量特征X射线的能量和强度来鉴别样品中的元素组成并进行定量分析。该仪器通常与扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）结合使用，能对微米及纳米级别的区域进行元素分析。

优势	局限
<Engi!   - 分析快速 9,^_<O@Q   - 廉价易得 ]J#9\4Sq   - 非破坏性分析	nO)X!dp}J   - 采样深度大 YX_gb/A   - 无化学态信息 mSo_} je(   - 对轻元素灵敏度低 d` [HT``   - 样品须满足超高真空条件 ku..aG`   - 半定量分析

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