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    [下载]求助光驰机离子源结构原理资料 [复制链接]

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    离线qqcheng
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-06-24
    RT求助一份光驰离子源学习资料,更全面的了解和学习其工作原理以及设计的结构
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-06-24
    离子源机械结构很简单,难点在于控制(气体,电压,电流,RF匹配)和栅网的加工精度。
    离线qqcheng
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    只看该作者 2楼 发表于: 2019-06-24
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:离子源机械结构很简单,难点在于控制(气体,电压,电流,RF匹配)和栅网的加工精度。 (2019-06-24 13:50)  >:nJTr  
    3evfX[V#  
    您好,首先谢谢你的回复。您说的这些点难控制其根本参照标准是否在于薄膜吸收大小问题。
    离线ouyuu
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    只看该作者 3楼 发表于: 2019-06-24
    这些难点会影响离子源稳定性。 +%$V?y (  
    一个不稳定的离子源是无法做出稳定的膜系的
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    只看该作者 4楼 发表于: 2019-07-27
    离子源.rar (5267 K) 下载次数:161 w2AWdO6  
    这是资料,你可以看看
    离线jiangxinwu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2019-08-19
    同求助 哈哈谢谢了
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-09-06
    谢谢楼中好心人
    离线李某
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    只看该作者 7楼 发表于: 2023-12-17
    感谢大佬 dx}!]_mlZ  
    离线谭健
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    只看该作者 8楼 发表于: 2023-12-17
    感谢大佬