薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6931
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 `\Hs{t]  
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目录 MtXd}/  
第一篇 薄膜元学基本理抢 _/RP3"#  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 q,fk@GI'2  
1.1 麦克斯韦方程 1 :qxd s>Xm  
1.2 平面电磁波 6 kOLS<>.  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 Yvxp(  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 1+NmiGKg  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 fudLm  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 gt:Ot0\7  
1.4 电磁波谱、光谱 10 Xb5 $ijH  
习题 12 S X6P>:`  
参考文献 12 d A' h7D  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 OJ4-p&1  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 ]qNPOnlp  
2.1.1 S波反射与透射 14 * ~4m!U_s  
2.1.2 P波反射与透射 16 ^ ^R4%C  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 +{/*P 5  
2.2.1 S 波反射与透射 18 ko<VB#pOMr  
2.2.2 P 波反射与透射 20 d$*SVd:  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 zP;1mN  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 Wg C*bp{  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 n+;PfQ|  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 G8ksm2}  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 }dSxrT  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 sow/JLlbC  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 i4*!t.eI  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 >6cENe_@t  
2.5.2 全透射 37 y1zep\-D  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 ?$\y0lHw/7  
2.6 反射率和透射率 39 WX9pJ9d  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 KqT~MPl  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 x1ID6kI[{*  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 Le':b2o  
习题 44 fl18x;^I  
参考文献 44 M"$TXXe  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 iWNTI  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 h8uDs|O9n  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 t?j2Rw3f`I  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 L u?)Rya  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 vXi}B  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 !saKAb}d7H  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 sw@* N  
3.4.1 一阶近似 62 Y)X58_En  
3.4.2 二阶近似 63 #O .-/&Z  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 &Jw4^ob  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 M B,P#7|  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 hrr;=q$  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 k^PqB+P!  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 vDAv/l9  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 SY}iU@xo  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 ,As78^E{  
习题 79 ]m(5>h#  
参考文献 79 oFeflcSz  
第4章 膜系设计图示法 81 e[@ ^UY  
4.1 矢量法 81 ~-w  
4.2 导纳图解法 87 XU#nqvS`.  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 YMx zj  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 dsxaxbVj%  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 C4P7,  
4.3 金属膜导纳圆图 97 \..(!>,%F  
4.4 膜系层间电场分布 99 =9;jVaEMJL  
习题 100 = *A_{u;E  
参考文献 101 g loo].z  
第二篇 光学等膜分类反应用 p3eJFg$  
第5章 增透膜 102 uhLg2G^h  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 1% )M-io  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 uXNf)?MpA  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 :l>T~&/98  
5.4 均匀介质增透膜 107 7=ZB;(`L1  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 NW9k.D%  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 5W!E.fz*T  
5.5 非均匀介质增透膜 113 s geP`O%  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 m(3bO[u1  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 ::vw 1Es  
习题 118 GfQP@R"  
参考文献 118 'ej{B0rE  
第6章 高反射膜 120 -7" >A~c  
6.1 反射镜组合的反射率 120 NC vwg  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 G<-)Kx  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 gHlahg  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 ^tuJM:  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 ,U'Er#U  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 =fHt|}.K  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 M{7EFTy!y  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 -c=IO(B/  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 qgca4VV|z  
6.8 金属反射镜 134 Y#6@0Nn[G  
6.8.1 常用金属反射镜 134 I01On>"@7  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 N_VAdNJ^:  
6.9 影响反射特性的因素 137 .@APxeU  
6.10 高反射镜应用实例 143 2+GF:[$  
6.10.1 激光高反射镜 143 ){>;eky  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 `>8|  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 ?k_=?m  
习题 146 -lMC{~h\(S  
参考文献 146 5H 1(C#|  
第7章 带通滤光片 149 ~9oS~fP?I  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 ~|J6M  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 cp?`\P  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 B>Nxc@=D  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 %e%nsj6  
7.3.2 膜系透射定理 153 o D* '  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 6XQ)Q)  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 Y=3Y~  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 \hM6 ykY-  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 jd2Fh):q  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 V6$v@Zq  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 [1nI%/</>  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 5Cy)#Z{  
7.5 超窄带带通滤光片 183 <tF]>(|M  
7.6 宽带带通滤光片 185 v,|;uc+  
7.7 带通滤光片的角特性 186 Y\p yl  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 ydns_Z  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 ,(`@ZFp$  
习题 193 +Kq>r|;  
参考文献 193 c= a+7>  
第8章 截止滤光片 196 cR5<.$aY  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 Y5MHd>m  
8.2 吸收型截止滤光片 197 }(tGjx]  
8.3 干涉型截止滤光片 198 DR0W)K ^  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 !)9zH  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 ',!#?aGV  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 ao-C9|2>NU  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 NOS5bm&-  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 wqGZkFg1  
8.3.6 截止带的展宽 210 i2j)%Gc}  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 *q0N$}k  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 tIr66'8  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 a|7V{pp=M  
习题 221 K5.C*|w  
参考文献 221 F}01ikXDb'  
第9章 带阻滤光片 223 tcX7Ua(I`  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 If&p$pAH?  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 &erNVD5o  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 +bO{U C[  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 MW$9,[  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 d;;=s=j  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 k Dv)g  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 J5o"JRJ"  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 2hp x%H  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 &1[5b8H;+  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 7CIje=u.q  
习题 241 J`mp8?;%  
参考文献 241 8D n]`}ok  
第10章 分光镜 243 8@qahEgQ  
10.1 中性分光镜 243 WWO jyj  
10.1.1 金属膜中性分光 244 q/3}8BJ  
10.1.2 介质膜中性分光 245 ^Ue.9#9T&g  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 FCe503qND$  
10.2 双色分光镜 249 JV/,QWar  
10.3 偏振分光 254 ZE\t{s0  
10.3.1 偏振特性的描述 254 -Qgfo|po  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 ,f1wN{P  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 \D[BRE+  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 3|?fGT;P  
10.4 消偏振分光 262 |-|BM'Y  
10.4.1 偏振分离的描述 263 7uDUZdJy  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 YW}/C wB  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 C}>&#)IH  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 X%-4x   
10.5 分光中的消色差问题 280 M)xK+f2_[  
习题 281 PT4`1Oy}/1  
参考文献 282 k@Tt,.];  
第二篇 薄膜扶术基础 p&\uF#I;  
第11章 薄膜制备技术 283 lxd<^R3i#^  
11.1 真空技术简介 283 +|?c_vD  
11.1.1 真空的基本知识 283 <Q0&[q;Z  
11.1.2 真空的获得 284 5cADC`q  
11.1.3 真空的测量 286 c1 <g!Q&E  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 Kq?7#,_  
11.2.1 蒸镀法 289 .Sn1YAhE  
11.2.2 溅射法 300 fr?eOigbl  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 Qh[t##I/  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 < 9MnQ*@  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 Iu[EUi!"  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 l>iU Q&V  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 r%#qbsN  
11.3.5 光化学气相沉积 310 F,zJdJ  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 /7#&qx8  
11.3.7 原子层沉积 312 JU@$(  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313  ;E&XFTdO  
11.4.1 化学镀 313 3pp w_?k  
11.4.2 阳极氧化法 314 xr/ k.Fz  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 _"bx#B*  
11.4.4 电镀 315 s7e'9Bx  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 k Mo)4 Xp  
11.5 光刻蚀 316 ^ \?9W  
11.5.1 光刻工艺 316 B<R-|-#  
11.5.2 光刻胶 317 t5k&xV=~ #  
11.5.3 掩模 318 YZ>cE#  
11.5.4 曝光 318 v(^rq  
11.5.5 刻蚀方法 318 ts]7 + 6V  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 [jw o D  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 8z CAy@u  
习题 323 >+#[O"  
参考文献 324 JK(&E{80  
第12章 光学薄膜检测技术 326 $ZU(bEUOG  
12.1 光谱分析技术基础 326 W24bO|>D  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 rYJ ))@  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 Kq$Zyf=E  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 $-RhCnE  
12.2.1 透射率测量 333 Lk9>7xY  
12.2.2 反射率测量 334 .%rR  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 ttnXEF  
12.3.1 吸收测量 338 4.'EEuRw\}  
12.3.2 散射测量 342 $ZRN#x@  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 Cf7\>U->  
12.4 光学薄膜常数测量 347 rd)) H  
12.4.1 光度法 348 Z@ kC28  
12.4.2 全反射衰减法 354 |DW'RopM  
12.4.3 椭圆偏振法 357 >{S$0D  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 q UnFEg  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 4m*(D5Y=|  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 )ta5y7np  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 zmFFBf"<  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 k%g xY% 0  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 O[y`'z;C  
12.6.1 薄膜微结构 368 j,xPN=+hT  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 9pcf jx..  
12.6.3 雕塑薄膜 372 6iG<"{/U5  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 )^N8L<   
12.7 薄膜非光学特性测量 375 /09=Tyy/\  
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关键词: 薄膜光学
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