薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6900
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 {pof=G  
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目录 ? (f44Zgm  
第一篇 薄膜元学基本理抢 &}/h[v_#'  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 7gY^aMW  
1.1 麦克斯韦方程 1 `GD>3-   
1.2 平面电磁波 6 |~I-  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 zu-1|X X  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 wBK%=7  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 [6Nw)r(a(  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 /n|`a1!  
1.4 电磁波谱、光谱 10 b+`mh  
习题 12 QC\][I>  
参考文献 12 (xhwl=MX)  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 >HH49 cCo  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 G,J~Ed  
2.1.1 S波反射与透射 14 (`&`vf  
2.1.2 P波反射与透射 16 Oor&1  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 }|7y.*  
2.2.1 S 波反射与透射 18 (~<9\ZJs  
2.2.2 P 波反射与透射 20 td6$w:SN,l  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 m+m,0Ey5H  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 @^';[P!  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 fQB>0RR2  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 @]0;aZ{3  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 '!6Py1i  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 \dz@hJl:  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 mtON dI  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 \|}dlG  
2.5.2 全透射 37 '~ {xn  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 = NHzh!  
2.6 反射率和透射率 39 uKcwVEu  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 5z>kz/uxW  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 KiJRq>  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 CK+GD "Z$  
习题 44 iJrF$Xw  
参考文献 44 ?5<Q+ G0r  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 NZyGC Vh@  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 rK\)  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 j5EZJ`  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 ]OZk+DU:  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 H -sJt:  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 E.kjYIH8  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 vNhi5EU  
3.4.1 一阶近似 62 K;u<-?En  
3.4.2 二阶近似 63 WmRx_d_  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 m"<Sb,"x!  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 G Uf[Dz  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 lKd+,<  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 0 7CufoI  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 @k!J}O K  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 {/C \GxH+  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 Dg$Z5`%k8  
习题 79 Bw31h3yB  
参考文献 79 q}PeXXH  
第4章 膜系设计图示法 81 GIt~"X  
4.1 矢量法 81 N;9m&)@JR'  
4.2 导纳图解法 87 :[1^IH(sb  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 1 XAXokxj  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 G $TLWfm  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 D~~&e<v'1  
4.3 金属膜导纳圆图 97 t?:}bw+m  
4.4 膜系层间电场分布 99 7|IOn5  
习题 100 b3G4cO;t;  
参考文献 101 >xU$)uE&  
第二篇 光学等膜分类反应用 nVF?.c  
第5章 增透膜 102 HWJ(O/N  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 =rA"|=  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 pcd*K)  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 mTcopyp  
5.4 均匀介质增透膜 107 "F(LTppy  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 W)dQ yZ>J  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 ,Jy@n]x  
5.5 非均匀介质增透膜 113 v`"z  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 Q`"gKBN1  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 HJVi:;o  
习题 118 p&SxR}h  
参考文献 118 W=fw*ro  
第6章 高反射膜 120 b]'Uv8fbF  
6.1 反射镜组合的反射率 120 #,0PLU3%  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 B>&Q]J+R  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 l,n0=Ew  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 42a.@JbLQ  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 tiZ5 :^$b4  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 }fps~R  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 g\CRx^s  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 B? $9M9  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 &_-,Nxsf  
6.8 金属反射镜 134 UQ;ymTqdc  
6.8.1 常用金属反射镜 134 q6 h'=By  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 zW^_w&fd^j  
6.9 影响反射特性的因素 137 ,f@$a3}'Lx  
6.10 高反射镜应用实例 143 !}Sf?n P#  
6.10.1 激光高反射镜 143 <l/QS3M  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 v71j1Q}6  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 u^DfRd&P0  
习题 146 kdVc;v/5  
参考文献 146 F-L!o8o  
第7章 带通滤光片 149 {:U zW\5l)  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 d"K~+<V}  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 {tUjUwhz(  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 #wXq'yi  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151  `mar-r_m  
7.3.2 膜系透射定理 153 4~mYj@lvd  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 kvWP[! j?)  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 0p"l}Fu@`  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 {BkTJQ)  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 L*a:j  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 xq`mo  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 :fo.9J  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 CH!>RRF  
7.5 超窄带带通滤光片 183 ch|4"&g  
7.6 宽带带通滤光片 185 nQe^Bn  
7.7 带通滤光片的角特性 186 Y?ADM(j  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 x*]&Ca0+  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 5Lmhip  
习题 193 [1+ o  
参考文献 193 vL>cYbJ<  
第8章 截止滤光片 196 $A GW8"  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 ?T]` X  
8.2 吸收型截止滤光片 197 8|Wu8z--  
8.3 干涉型截止滤光片 198 nitKX.t8  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 ) qD Ch  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 %sd1`1In  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 tM&O<6Y  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 /WvF}y  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208  rG#o*oA  
8.3.6 截止带的展宽 210 $1aJdZC7  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 %2H0JXKa,  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 Hz?C9q3BX  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 I-?PTr  
习题 221 Ll" Kxg  
参考文献 221 YkOl@l$D  
第9章 带阻滤光片 223 9%+Nzo(Fd  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 MHl ffj  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 ]]sy+$@~  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 EESGU(  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 _/FpmnaY  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 29a~B<e7s  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230  Ptt  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 47S1mxur  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 ;rp("<g:>  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 ;k W+  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 rM?O2n  
习题 241  c@eQSy  
参考文献 241 8C,}nh  
第10章 分光镜 243 mP!=&u fcU  
10.1 中性分光镜 243 8i epG  
10.1.1 金属膜中性分光 244 ^{<!pvT  
10.1.2 介质膜中性分光 245 eo#2n8I>=1  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 XZh1/b^DMN  
10.2 双色分光镜 249 )$EmKOTt:  
10.3 偏振分光 254 5|nT5oS  
10.3.1 偏振特性的描述 254 |M8FMH[_  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 rI'kGqU  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 &ikPa,A  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 xbVvK+  
10.4 消偏振分光 262 9Dat oi  
10.4.1 偏振分离的描述 263 EgE% NY~  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 vkR,Sn  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 `, lnBP3D"  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 5`_UIYcI  
10.5 分光中的消色差问题 280 oouhP1py,  
习题 281 be<7Vy]j  
参考文献 282 1<9=J`(H  
第二篇 薄膜扶术基础 [Re.sX}$Y  
第11章 薄膜制备技术 283 f9%M:cl  
11.1 真空技术简介 283 pr=f6~Z-y  
11.1.1 真空的基本知识 283 buj *L&  
11.1.2 真空的获得 284 zl]Ic' _i  
11.1.3 真空的测量 286 c"wk_ #  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 a)o-6  
11.2.1 蒸镀法 289 !#NGGIp;  
11.2.2 溅射法 300 E;o "^[we  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 zfsGf 'U  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 ydZS^BqG  
11.3.2 常压化学气相沉积 308  ~ERA  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 {uCX F~v  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 &.v|yG]&  
11.3.5 光化学气相沉积 310 U } K]W>Z  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 8wf[*6VwV  
11.3.7 原子层沉积 312 p2=+cS"HC  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 su}n3NsJ  
11.4.1 化学镀 313 c,yjsxETW  
11.4.2 阳极氧化法 314 e{Y8m Xu  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 vY"i^a`f  
11.4.4 电镀 315 +|w%}/N  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 }J^+66{  
11.5 光刻蚀 316 -f-@[;D  
11.5.1 光刻工艺 316 6)]zt  
11.5.2 光刻胶 317 s7Z+--I)L  
11.5.3 掩模 318 S^c; i  
11.5.4 曝光 318 )N'-A p$g  
11.5.5 刻蚀方法 318 `Eg~;E:  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 pba`FC4R  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 ;irAq|  
习题 323 6k=*O|r  
参考文献 324 o>l/*i0I  
第12章 光学薄膜检测技术 326 lf9mdbm  
12.1 光谱分析技术基础 326 N51e.;  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 q; ?Kmk  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 xTGdh  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 AxAbU7m  
12.2.1 透射率测量 333 E4cPCQyeH  
12.2.2 反射率测量 334 2v\<MrL  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 c}G\F$  
12.3.1 吸收测量 338 v.!e1ke8D*  
12.3.2 散射测量 342 yEPkF0?  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 ]kir@NMv>  
12.4 光学薄膜常数测量 347 @c -| Sl  
12.4.1 光度法 348 eJy}W /  
12.4.2 全反射衰减法 354 3EA+tG4KnO  
12.4.3 椭圆偏振法 357 {3qlx1w  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 4> NmJrh  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 &Cm$%3  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 `gX$N1(  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 hRI?>an  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 2uzy]faM  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 i `7(5L~`  
12.6.1 薄膜微结构 368 l Zz%W8"  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 M\D25=(  
12.6.3 雕塑薄膜 372 oIv\Xdc81  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 <i ";5+  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 #/ HQ?3h]  
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关键词: 薄膜光学
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