薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6887
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 m qUDve(  
`w8cV ?  
zb02\xvf  
目录 ;X0uA?  
第一篇 薄膜元学基本理抢 0Q8iX)  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 z7)$m0',?  
1.1 麦克斯韦方程 1 D!Nc&|X^  
1.2 平面电磁波 6 QMrH%Y  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 /6yVbo"  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 1&7?f  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 X.,R%>O}`P  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 _v,Wl/YAp  
1.4 电磁波谱、光谱 10 [fb9;,x`  
习题 12 px+]/P <dX  
参考文献 12 )`\Q/TMl5  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 9.( [,J  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 MBKF8b'k  
2.1.1 S波反射与透射 14 $#W^JWN1  
2.1.2 P波反射与透射 16 7!m<d,]N  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 _4#7 ?p  
2.2.1 S 波反射与透射 18 /RxqFpu|.  
2.2.2 P 波反射与透射 20 q D=b+\F  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 k]RQ 7e  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 6cbV[ !BL  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 ]W~M?1 }  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 T?.l_"%%d  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 e7&RZ+s#wZ  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 Sz')1<  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 )"M;7W?R0  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 {Dy,|}7s  
2.5.2 全透射 37 ;:J"- p  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 ,pf\g[tz  
2.6 反射率和透射率 39 QyZ' %T5J  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 sE|8a  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 ;b=7m#5  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 HJpx,NU'  
习题 44 w-v8 P`V  
参考文献 44 k*F9&-rtN  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 I|c?*~7*  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 T%Zfo7  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 9:Bn-3)  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 *UN*&DmF  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53  :fy,%su  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ^( 7l!  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 HTMo.hr  
3.4.1 一阶近似 62 c*" P+  
3.4.2 二阶近似 63 ,lFzL3'_0x  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 @$$ J}~{  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 > #9 a&O  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 ]_|%!/_  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 bun_R-  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 l-h[I>TW  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 qxZf!NX5  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 ]2iIk=r$  
习题 79 1L\r:mx3  
参考文献 79 78?{;iNv  
第4章 膜系设计图示法 81 >Kl_948  
4.1 矢量法 81 =i7CF3  
4.2 导纳图解法 87 ;>X;cZMd  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 wXBd"]G)C  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 zqI|VH  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 IM2<:N%'  
4.3 金属膜导纳圆图 97 Olt;^> MQ  
4.4 膜系层间电场分布 99 T`<Tj?:^&  
习题 100 k{ZQM  
参考文献 101 Ze[\y(K!  
第二篇 光学等膜分类反应用 PtL8Kd0`C  
第5章 增透膜 102 b#t5Dve  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 b0se-#+  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ?"?AH/ED  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 Eb29tq  
5.4 均匀介质增透膜 107 9~K+h/  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 7W&XcF  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 ^HI2Vp  
5.5 非均匀介质增透膜 113 Gs04)KJm<  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ']OT7)_  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 :inVwc  
习题 118 j[t2Bp  
参考文献 118 @|'9nPern  
第6章 高反射膜 120 F)/4#[  
6.1 反射镜组合的反射率 120 -ni@+Dy  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 9]/:B8k  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 j``Ku@/x0  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 QNXS.!\P  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 /&c>*4)  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 X>]<rEh  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 .&>3nu  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 X2Q35.AB  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 nKTi"2dm  
6.8 金属反射镜 134 ,k9.1kjO*)  
6.8.1 常用金属反射镜 134 {)Wa"|+  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 Ru);wzky  
6.9 影响反射特性的因素 137 ,t'"3<^Jg  
6.10 高反射镜应用实例 143 eV;nTj  
6.10.1 激光高反射镜 143 r.=.,R  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 -|=)  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 ##1/{9ywy  
习题 146 n+vv %  
参考文献 146 Mdu\ci)lr  
第7章 带通滤光片 149 Sj8fo^K50  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 C 8d9 (u  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 jpMMnEVj6P  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 d9T:0A`M  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 RyWfoLc  
7.3.2 膜系透射定理 153 2Z`Jr/  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 !rG-[7K  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 3 rLc\rK  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 <0jM07\<  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 yK_$d0ZGE~  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 |H 5$VSw  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 cBCC/n  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 iqsR]mab  
7.5 超窄带带通滤光片 183 m/,8\+  
7.6 宽带带通滤光片 185 _u~`RlA  
7.7 带通滤光片的角特性 186 C]na4yE 8  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 wDBU+Z  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 {L M Q  
习题 193  (8 /&  
参考文献 193 {D [z>I;D  
第8章 截止滤光片 196 +)_DaL E  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 MOuEsm;  
8.2 吸收型截止滤光片 197 4#ifm#  
8.3 干涉型截止滤光片 198 N)KN!!  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 )2:U]d%pk  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 :"Rx$;a  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201  4NIb_E0  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 T~?&hZ>  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 &u (pBr8B  
8.3.6 截止带的展宽 210 y+Bxe )6^V  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 g12.4+  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 @?t+O'&  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 tS,AS,vy]  
习题 221 1IK*j +%  
参考文献 221 v <| iN#  
第9章 带阻滤光片 223 *I k/Vu%;  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 ]2iEi`"[  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 r8o^8.  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 =^)$my\C:  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 SkU9iW(k  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 \e%%ik,<  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 }rWg ']  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 w+XwPpM0.n  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 jRW@$ <mG  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 "`* >co6r  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 m;>:mwU  
习题 241 5hDPX \  
参考文献 241 7DeBeY  
第10章 分光镜 243 DJ!pZUO{  
10.1 中性分光镜 243 7<X!Xok  
10.1.1 金属膜中性分光 244 2=naPTP(  
10.1.2 介质膜中性分光 245 >.hDt9@4  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 FbW$H]C$  
10.2 双色分光镜 249 Xp fw2;`U'  
10.3 偏振分光 254 TA~ZN^xI  
10.3.1 偏振特性的描述 254 )X8N|W>vh  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 t&_X{!1X"w  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 x l=i_  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 0XA0 b1VX  
10.4 消偏振分光 262 `9|Uu#x  
10.4.1 偏振分离的描述 263 ]?Q<lMG  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 K4OiKYq  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 j%8 1q  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 LQ||7>{eX  
10.5 分光中的消色差问题 280 `9acR>00$  
习题 281 !=6\70lJ  
参考文献 282 -<(RYMk*)  
第二篇 薄膜扶术基础 ?5j~"  
第11章 薄膜制备技术 283 :_o^oi7G  
11.1 真空技术简介 283 [Y^h)k{-$  
11.1.1 真空的基本知识 283 .(yJ+NU  
11.1.2 真空的获得 284 akWOE}5#  
11.1.3 真空的测量 286 NT9|``^Z  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 J.c yb  
11.2.1 蒸镀法 289 &/g^J\0M)  
11.2.2 溅射法 300 KD- -w(4  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 zqp>Xw  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 y-"QY[  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 ,MG`} *N}  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ej \S c7.  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 SU jo%3R  
11.3.5 光化学气相沉积 310 _SU6Bd/>  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 y8} /e@&  
11.3.7 原子层沉积 312 t~8H~%T>v  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 3h}i="i   
11.4.1 化学镀 313 MXDUKh7v3  
11.4.2 阳极氧化法 314 'p[B`Ft3F  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 *<X*)A{C  
11.4.4 电镀 315 #RHt;SFx  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 sFsf~|  
11.5 光刻蚀 316 .-Dc%ap]  
11.5.1 光刻工艺 316 +M<W8KF  
11.5.2 光刻胶 317 2)-4?uz~  
11.5.3 掩模 318 NnaO!QW%  
11.5.4 曝光 318 m!]J{OGG:  
11.5.5 刻蚀方法 318 Ns5P,[pBOZ  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 eL{$=Um  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 aS~~*UHW  
习题 323 dAy\IfZX=  
参考文献 324 L<6nM ;d  
第12章 光学薄膜检测技术 326 8i)9ho<  
12.1 光谱分析技术基础 326 js% n]$N  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 J5Ti@(G5V  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 l \|sHn/  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 dEW= V"W  
12.2.1 透射率测量 333 M0`1o p1  
12.2.2 反射率测量 334 6Xbf3So  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 ,T;D33XV  
12.3.1 吸收测量 338 U=5~]0g  
12.3.2 散射测量 342 Oz)/KZ  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 _/Ay$l;F  
12.4 光学薄膜常数测量 347 </aQ  
12.4.1 光度法 348 ]EG8+K6  
12.4.2 全反射衰减法 354 ]bYmM@  
12.4.3 椭圆偏振法 357 }c>vk  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 %P:|B:\<  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 ab]Q1kD  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 oA@c.%&  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 '%o^#gJp  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 ln8es{q  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 A;o({9VH`Z  
12.6.1 薄膜微结构 368 "<^n@=g'q  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 p"j &s  
12.6.3 雕塑薄膜 372 14*6+~38m&  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 [70 5[  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 Y/T-q<ag8  
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关键词: 薄膜光学
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