薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6970
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 gm4-w 9M[p  
)TG\P,H9  
T< P4+#JK  
目录 D4_D{\xhO  
第一篇 薄膜元学基本理抢 'M YqCfIK  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 aNfgSo05@n  
1.1 麦克斯韦方程 1 0p! [&O  
1.2 平面电磁波 6 s|d L.@0,L  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 i9w xP i  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 >[ywrB ?T  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 %xL3=4\  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 2uV=kqnO  
1.4 电磁波谱、光谱 10 v^JyVf>  
习题 12 !i{@B  
参考文献 12 }?"f#bI  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 CEt_wKz f  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 & 9IMZAo  
2.1.1 S波反射与透射 14 F^KoEWj[H  
2.1.2 P波反射与透射 16 R~)c(jj5  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 <Eq^r h  
2.2.1 S 波反射与透射 18 dc"Vc 3)  
2.2.2 P 波反射与透射 20 d7P| x  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 Yr!<O&=  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 o"K{^ L~u  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 v='7.A  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 (eG#JVsm9  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 ,odjL6u  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 DS-Kot(k(z  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 "0n to+v  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 ^i#F+Q`1  
2.5.2 全透射 37 *T*MLD]Q  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 fytgS(?I'  
2.6 反射率和透射率 39 4LKOBiEM  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 RVX-3FvP  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 dAohj QH:  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 N!^U{;X7/  
习题 44 %q(n'^#Z.y  
参考文献 44 Qq^>7OU>Co  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 866n{lyL  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 M {_`X  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 : !J!l u  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 <c^m |v  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 MX6;ww  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 o=4d2V%m  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 h5.u W8  
3.4.1 一阶近似 62 *}A J7]  
3.4.2 二阶近似 63 jcv3ES^  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 cMI QbBM  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 E.4`aJ@>d  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 D@FJVF7c  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 Yc+ /="&z  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 #Z(8 vA^@  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 OV Iu&6#  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 OT\[qaK  
习题 79 -E?h^J&U  
参考文献 79 Z#nj[r!l}  
第4章 膜系设计图示法 81 [uW{Ap~2  
4.1 矢量法 81 hyVuZ\9B  
4.2 导纳图解法 87 )$i7b  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 .pr-  ^  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 ?RA^Y N*9  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 ,d@.@a] `  
4.3 金属膜导纳圆图 97 f LxFF  
4.4 膜系层间电场分布 99 2Cj?k.Zk  
习题 100 b:Wl B[5  
参考文献 101 00n6v;X  
第二篇 光学等膜分类反应用 )9l5gZX'I  
第5章 增透膜 102 83Bp_K2\  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 ;HgV(d#X  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 gBf %9F  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 [#$z.BoEo  
5.4 均匀介质增透膜 107 ie=tM'fb  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 b_z;^y~  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 %koHTWT+  
5.5 非均匀介质增透膜 113 l X;2~iW{/  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 7.hn@_  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 Zii<jZ.)<  
习题 118 |*e >hk  
参考文献 118 GadQ \>  
第6章 高反射膜 120 `$fwLC3j  
6.1 反射镜组合的反射率 120 Cn[`]  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 htq#( M  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 <._MNHC  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 NUX0=(k  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 w`UB_h#Bl  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 ?6; +.h\  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 ]b-Z;Nce  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 a)`b;]+9  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 &w- QMj M>  
6.8 金属反射镜 134 Yvcd(2  
6.8.1 常用金属反射镜 134 !/BXMj,=  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 =O<Ul~JRK  
6.9 影响反射特性的因素 137 3<AZ,gF1  
6.10 高反射镜应用实例 143 N;9@-Tb  
6.10.1 激光高反射镜 143 d@8=%x:  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 ?R&,1~h  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 >u4%s7 v  
习题 146 <9@I5 0;  
参考文献 146 `u 3to{  
第7章 带通滤光片 149 e #> wv]V  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 W8'cAY  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 weEmUw Z  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 O\,n;oj  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 _O Tqm5_  
7.3.2 膜系透射定理 153 AhZ8B'Ee  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 BHy#g>KUF  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 Q *![u5#  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 \`Db|D?oy  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 7q<I7Wt  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 (A}##h  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 OQ;DqV  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 ]2T=%(*  
7.5 超窄带带通滤光片 183 6'3@/.  
7.6 宽带带通滤光片 185 Ix93/FAn  
7.7 带通滤光片的角特性 186 #joGIw  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 G9TK)Nz  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 <(TTYf8lS  
习题 193 Yc/Nz(m  
参考文献 193 (Eq0 |"cj  
第8章 截止滤光片 196 q+>J'UGb  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 )2C_6eR  
8.2 吸收型截止滤光片 197 ;;pxI5  
8.3 干涉型截止滤光片 198 snT!3t  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 k6_RJ8I  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 ?%J{1+hY  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 ?"]fGp6y  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 t,4q]Jt  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 zRbooo{N  
8.3.6 截止带的展宽 210 !j#Z48=&  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 B @H.O!  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 "45O!AjP  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 lR\=] ]7I>  
习题 221 {}H5%W  
参考文献 221 ()6)|A<^U  
第9章 带阻滤光片 223 Ad xCP\S&  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 awQ f$  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 `VCU`Y  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 WHk/Rg%<  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 ]1>U@oK  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 Nc:, [8{l  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 4# MvOjA5[  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 7d*SZmD  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 -h%;L5oJ2,  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 <cW$ \P}hV  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 E}sj l  
习题 241 AmNmhcN  
参考文献 241 cobq+Iyu  
第10章 分光镜 243 3U9]&7^  
10.1 中性分光镜 243 Z;M]^?  
10.1.1 金属膜中性分光 244 r+-KrO'  
10.1.2 介质膜中性分光 245 ]S<y,d-  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 ( >zXapb2  
10.2 双色分光镜 249 4vq,W_n.hQ  
10.3 偏振分光 254 s,XKl5'+8e  
10.3.1 偏振特性的描述 254 kFZw"5hb  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 6*u#^">,<  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 r e.chQ6  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 DksSD  
10.4 消偏振分光 262 9`yG[OA  
10.4.1 偏振分离的描述 263 *xR;}%s\  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 h<U<K O  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 ,rVm81-2  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 D[U[ D  
10.5 分光中的消色差问题 280 vU0j!XqE  
习题 281 O3WhO@`6)  
参考文献 282 Z(Fsk4,  
第二篇 薄膜扶术基础 /_ }xTP"9  
第11章 薄膜制备技术 283 0l#gS;  
11.1 真空技术简介 283 R`q*a_  
11.1.1 真空的基本知识 283 iD+Q\l;%  
11.1.2 真空的获得 284 F#>?i}  
11.1.3 真空的测量 286 0(\ybppx  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 g N76  
11.2.1 蒸镀法 289 9r=@S  
11.2.2 溅射法 300 "W$,dWF  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 0j\?zt?  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 2V %si6  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 RO"c+|Py  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 U?97yc\$  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 %tEjf 3  
11.3.5 光化学气相沉积 310 roT$dL P)w  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ;Nf5,D.D  
11.3.7 原子层沉积 312 S'm&Ll2i@  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 G&$+8 r  
11.4.1 化学镀 313 Q/&H3N  
11.4.2 阳极氧化法 314 Y^$^B,  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 ZLw7-H6Fh  
11.4.4 电镀 315 1CK}XLdr  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 |:Gz9u+  
11.5 光刻蚀 316 (]7&][  
11.5.1 光刻工艺 316 M&o@~z0  
11.5.2 光刻胶 317 qD Z?iTHQq  
11.5.3 掩模 318 ?n<b:oO  
11.5.4 曝光 318 d7s? c  
11.5.5 刻蚀方法 318 p.^glz>B  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 Qz/o-W;  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 pwAawm  
习题 323 Q-o}Xnj*!L  
参考文献 324 ; mnV)8:F  
第12章 光学薄膜检测技术 326 'X&sH/>r  
12.1 光谱分析技术基础 326 lj0"2@z3"E  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 (PAkKY}  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 q8%T)$!  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 )7@f{E#w  
12.2.1 透射率测量 333 ? RL[#d+y  
12.2.2 反射率测量 334 Si#I^aF`%  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 /.{4 KW5  
12.3.1 吸收测量 338 h.CbOI%Q  
12.3.2 散射测量 342 R&}"En`$s  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 j f25Ky~  
12.4 光学薄膜常数测量 347 Y/cnj n  
12.4.1 光度法 348 'F>eieO  
12.4.2 全反射衰减法 354 &5>R>rnB  
12.4.3 椭圆偏振法 357 G?D7R/0)  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 [r,a0s  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 8OE=7PK  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 N>qOiw[  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 8q9HQ4dsL  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 \; ! oG  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 .%)FK#s-  
12.6.1 薄膜微结构 368 3db ,6R  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 Y+5nn  
12.6.3 雕塑薄膜 372 h8@8Q w  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 I^erMQn[ z  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 q SR\=:$  
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关键词: 薄膜光学
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