薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6892
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 xpI8QV$#  
"G Jhx/zt  
C8=rsh  
目录 5UX-Qqr  
第一篇 薄膜元学基本理抢 <- R%  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 A,c_ME+DVB  
1.1 麦克斯韦方程 1 +-rSO"nc  
1.2 平面电磁波 6 U*XdFH}vV  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 VBW][f  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 r]Lj@0F>8  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 iH>b"H >  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 h!tg+9%  
1.4 电磁波谱、光谱 10 ] #7baZ  
习题 12 y,`q6(&  
参考文献 12 XW+-E^d  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 :*-O;Yw?S@  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 >f D%lq;  
2.1.1 S波反射与透射 14 }H/94]~tH  
2.1.2 P波反射与透射 16 =6N=5JePB  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 "B9zQ,[Q  
2.2.1 S 波反射与透射 18 rddn"~lm1  
2.2.2 P 波反射与透射 20 ?"kU+tCxg  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 Jg$ NYs.xZ  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 D0L s~qr  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 [ C!m,4  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 y^D3}ds  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 D'Uc?2X,&  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 :Ye~I;" 8  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 ?OGs+G  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 2#8PM-3"  
2.5.2 全透射 37 ;zSV~G6-  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 4$4Tx9C  
2.6 反射率和透射率 39 c~d*SDca  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 >b~Q%{1  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 ES#q/yab5  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 ]SN5 &S  
习题 44 V'9OGn2v  
参考文献 44 1y eD-M"w  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 S<5.}cR  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 T,B%iZgCh  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 K k^!P*#  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 3Qp6$m  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 G$~hAZ  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 GT3}'`f B  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 [3qJUJM  
3.4.1 一阶近似 62 #t VGqf  
3.4.2 二阶近似 63 $GVf;M2*  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 `g{eWY1l  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 <!X]$kvG  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 buHUBn[3)  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 =wa5\p/  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 5^Lbc.h  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 ]ij:>O@{$  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 Eb8z`@p  
习题 79 |+=ctpx9&  
参考文献 79 3>^B%qg6  
第4章 膜系设计图示法 81 4ijZQ  
4.1 矢量法 81 D~TK'&  
4.2 导纳图解法 87 7/\SN04l  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 N9z!-y'X  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 sEx\7tK  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 P[e#j  
4.3 金属膜导纳圆图 97 w_Z*X5u  
4.4 膜系层间电场分布 99 !V/p.O  
习题 100 [Vou G{  
参考文献 101 DyQvk  
第二篇 光学等膜分类反应用 ]`}EOS-Q  
第5章 增透膜 102 5zt5]zl'  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 6|1#Prj  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ^{g+HFTA@  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 Z3iX^  
5.4 均匀介质增透膜 107 24Htr/lPCT  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 =[Tf9u QY  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 Ll^9,G"Tt  
5.5 非均匀介质增透膜 113 11JO[  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ET3+07  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 `UkPXCC\1  
习题 118 r\|"j8  
参考文献 118 `=8G?3  
第6章 高反射膜 120 fXkemB^)_  
6.1 反射镜组合的反射率 120 %'dsb7n  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 =}W)%Hldr.  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 K]i2$M  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 E+eC #!&w  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 &MP8.( u `  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 DzY`O@D[  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 oF0*X$_X  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 p*=9Ea:  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ~|e H8@o  
6.8 金属反射镜 134 +@#-S  
6.8.1 常用金属反射镜 134 dJZ 9mP!d  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 kC+dQ&@g{  
6.9 影响反射特性的因素 137 .eDI ZX  
6.10 高反射镜应用实例 143 ]&L[]  
6.10.1 激光高反射镜 143 $EuI2.o  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 O[&G6+  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 fOO[`"'Pq  
习题 146 f@IL2DL}\  
参考文献 146 %C*h/AW)'  
第7章 带通滤光片 149 MbC&u:@ "v  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 $e![^I]`  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 e+O0l  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 HoKN<w  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 -ID!kZx  
7.3.2 膜系透射定理 153 aAkO>X%[  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 C)Hb=  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 tPho4,x$  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 XZ&q5]PJI  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 `LCxxpHi|  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 NU|T`gP  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 xBMhk9b^0  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 M7n|Z{?(  
7.5 超窄带带通滤光片 183 :+|os"  
7.6 宽带带通滤光片 185 <rFY$ ?x  
7.7 带通滤光片的角特性 186 _p=O*$b.  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 ]#x? [ F  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 cwA+?:Ry}  
习题 193 8'Ph/L,  
参考文献 193 FA;uu\  
第8章 截止滤光片 196 &`[Dl(W  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 fdTyY ;  
8.2 吸收型截止滤光片 197 A ZYu/k  
8.3 干涉型截止滤光片 198 t6O/Q0_  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 W%RjjL J@  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 `;!v<@:i2  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 %8yX6`lH  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 Y: XxTa*  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 NEh5    
8.3.6 截止带的展宽 210 u!&Vbo? .B  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 CEos`  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 #~^Y2-C#  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 3EKqXXzOB  
习题 221 9*}?0J8  
参考文献 221 S_B;m1  
第9章 带阻滤光片 223 CvtG  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 Yj^n4G(h  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 M&iA^Wrs  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 ,kKMUshBi  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 Ni[2 p  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 {'#^  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 0SBiMTm  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 xI7; (o"  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 Vee`q.  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 X} v]iX  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 RHGs(d7-  
习题 241 wDV%.Cc  
参考文献 241 T=w5FT  
第10章 分光镜 243 N8| ;X  
10.1 中性分光镜 243 D'Gmua]I  
10.1.1 金属膜中性分光 244 n1xN:A  
10.1.2 介质膜中性分光 245 L{\au5-4  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 @^$Xy<x  
10.2 双色分光镜 249 *a7&v3X  
10.3 偏振分光 254 sCFqz[I  
10.3.1 偏振特性的描述 254 3%<xM/#  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 nx >PZb  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 \$Nx`d aFi  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 *@r)3  
10.4 消偏振分光 262 |8b*BnS  
10.4.1 偏振分离的描述 263 1e>,QX  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 dkC[Jt  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 ~E=.*: 5(  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 37@_"  
10.5 分光中的消色差问题 280 =M'y& iz-  
习题 281 L s=2!  
参考文献 282 <=*xwI&q  
第二篇 薄膜扶术基础 Y,kTk  
第11章 薄膜制备技术 283 AopC xaJ`  
11.1 真空技术简介 283 H|H!VPof]  
11.1.1 真空的基本知识 283 eM*@zo<-  
11.1.2 真空的获得 284 4w:_4qyb  
11.1.3 真空的测量 286 eXI^9uH  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 99}n %(V  
11.2.1 蒸镀法 289 j1)HIQE|5f  
11.2.2 溅射法 300 sV/#P<9  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 5Y 4W:S  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 ~B%=g)w  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 aU3 m{pE  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 \5$N> 2kO  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 6<+R55  
11.3.5 光化学气相沉积 310 :cmfy6h]  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 gg(^:`+  
11.3.7 原子层沉积 312 L\8 tqy.  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 dQR2!yHEq  
11.4.1 化学镀 313 ee]PFW28  
11.4.2 阳极氧化法 314 k, )7v  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 50oNN+; =R  
11.4.4 电镀 315 MC!K7ji  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 +!6C^G  
11.5 光刻蚀 316 9KVeFl  
11.5.1 光刻工艺 316 :Xv3< rS<  
11.5.2 光刻胶 317 93yJAao9  
11.5.3 掩模 318 x[3kCa|4A  
11.5.4 曝光 318 _^'fp  
11.5.5 刻蚀方法 318 xQC.ap  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 u2^ oXl  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 (u-i{<   
习题 323 e*e}X&|(g  
参考文献 324 MPMJkL$F^  
第12章 光学薄膜检测技术 326 P.P3/,  
12.1 光谱分析技术基础 326 5@"&%8oeq0  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 L=Q- r[  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 ,8g~,tMr+  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 y@J]busU  
12.2.1 透射率测量 333 _cx}e!BK#  
12.2.2 反射率测量 334 Xi_>hL+R(  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 W{l+_a{/9  
12.3.1 吸收测量 338 ;8;nY6Ie  
12.3.2 散射测量 342 W|3XD-v@  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 *A`hKx  
12.4 光学薄膜常数测量 347 -c!{';Zn  
12.4.1 光度法 348 HH3WZ^0>  
12.4.2 全反射衰减法 354 2i#wJ8vrF  
12.4.3 椭圆偏振法 357 O,ZvV3  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 t<9oEjk["  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 b&A+`d  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 AZxx%6  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 0ANqEQX  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 q[Hx y  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 VcT(n7  
12.6.1 薄膜微结构 368 H1f){L97wR  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 s,N%sO;  
12.6.3 雕塑薄膜 372 y@'8vOh`  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 za'Eom-<u  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 <0vQHND,3  
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关键词: 薄膜光学
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