薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7071
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 '8\9@wzv  
KK #E qJ  
Osm))Ua(  
目录 ZAU#^bEQB  
第一篇 薄膜元学基本理抢 KK3iui  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 f+hHc8g  
1.1 麦克斯韦方程 1 ^g|cRI_"  
1.2 平面电磁波 6 X?[ )e  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 S4 Uu/EX6S  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 ~CkOiWC0  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 GVJ||0D  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 E/a2b(,Tg  
1.4 电磁波谱、光谱 10 R'zi#FeP  
习题 12 ;5.&TQT  
参考文献 12 &Q;sbI}  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 ;m#4Q6k)V?  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 z)U7  
2.1.1 S波反射与透射 14 @`C'tfG/4  
2.1.2 P波反射与透射 16 % g  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 ltDohm?  
2.2.1 S 波反射与透射 18 :&TM0O  
2.2.2 P 波反射与透射 20 Z:7eroZP  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 rvy%8%e?  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 {9}CU~R  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 W"_<SYVJ  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 ) c\Y!vS  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 J](NCD  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 6(d6Uwc`  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 4Ex&AR8  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 e 9RYk:O  
2.5.2 全透射 37 zA>X+JH>iw  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 )]FXUz|;  
2.6 反射率和透射率 39 +sjzT[ Dn  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 <MkvlLu((o  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 8\{z>y  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 aMY@**^v  
习题 44 :R=6Ku>  
参考文献 44 :M6v<Kg{;  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 j\~,Gtn>Z  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 C&H'?0Y@  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 reh{jMC  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 =3-?$  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 s$hO/INr  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 `HQ)][  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 4 O8ct,Y  
3.4.1 一阶近似 62 Oa~ThbX7  
3.4.2 二阶近似 63 -i2rcH  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 ApeqbD5g&  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 >lUPOc  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 "nu]3zcd  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 ;un@E:  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 S \]O8#OX  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 "4\  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 ,.QJ S6Yv  
习题 79 &=kv69v  
参考文献 79 F6[F~^9D  
第4章 膜系设计图示法 81 `_OrBu[  
4.1 矢量法 81 "Esl I  
4.2 导纳图解法 87 #Z2 'Y[@.  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 Dc-K08c  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 %T]^,y$n  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 N:| :L:<1  
4.3 金属膜导纳圆图 97 N,Ma\D+^t  
4.4 膜系层间电场分布 99 37zB X~  
习题 100 Z5 IWoY  
参考文献 101 }OAU5P!rp  
第二篇 光学等膜分类反应用 -[-oz0`Sl{  
第5章 增透膜 102 ,7&\jET5^0  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 p!YK~cH[  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 >[;@ [4}  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 z:#]P0  
5.4 均匀介质增透膜 107 )DXt_leLg  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 ?lsK?>uU  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 IHO*%3mA/  
5.5 非均匀介质增透膜 113 Bgm8IK)6  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 cr!W5+r  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 ?^%[*OCCC!  
习题 118 NLMvi!5w,  
参考文献 118 +ausm!~6  
第6章 高反射膜 120 /fp8tL2Y  
6.1 反射镜组合的反射率 120 imYfRi=$  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 sq_>^z3T  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 V@`b7GM  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122  lrv-[}}  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 |"SZpx  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 _:m70%i  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 y 9]d{:9  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 Jj \ nye+  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 jy!]MAP#Gk  
6.8 金属反射镜 134 ES+ CAwqf  
6.8.1 常用金属反射镜 134 M?h{'$T  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 Og7yT{h_  
6.9 影响反射特性的因素 137 A?lL K&*  
6.10 高反射镜应用实例 143 ?l9sj]^w  
6.10.1 激光高反射镜 143 #Zm`*s`  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 A`3KE9ED  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 ..8t1+S6]  
习题 146 );.$  `0  
参考文献 146 ! *sXLlS  
第7章 带通滤光片 149 4P3RRS  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 PuP"( M  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 71nZi`AR  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 utZI'5i  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 }gv'r ";  
7.3.2 膜系透射定理 153 qIZ+%ZOu  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 ,zoHmV1Wd+  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 ;O hQBAC  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 L>14=Pr^(  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 %"H:z  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 aH6j,R%  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 arm_SyL0  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 kC.dJ2^j+  
7.5 超窄带带通滤光片 183 ` 7iA?;  
7.6 宽带带通滤光片 185 QlGK+I>y;  
7.7 带通滤光片的角特性 186 UJ}}H}{  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 *1dZs~_  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 $l7}e=1  
习题 193 ejV`W7U  
参考文献 193 i`sZP#h  
第8章 截止滤光片 196 ompr})c  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 oYw?kxRZ  
8.2 吸收型截止滤光片 197 <9pI~\@w  
8.3 干涉型截止滤光片 198 %6cr4}Zm}  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 jo"nK,r  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 l\{Qnb(  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 F\JS?zt2  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 RDbNC v#  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 6n2RTH  
8.3.6 截止带的展宽 210 4xW~@m eNB  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 66?`7j X  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 T/|!^qLF  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 oi0O4J%H  
习题 221 KcV"<9rE  
参考文献 221 M#^q <K %  
第9章 带阻滤光片 223 \>:t={>;  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 @M\JzV4 A[  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 ]#M"|iTR  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 Jzf+"%lv  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 DL,R~  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 z!6_u@^-  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 I '0[  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 : _Y^o  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 -`q!mdA2  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 qY-aR;  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 "T5jz#H#/  
习题 241 zKP[]S-  
参考文献 241 TE&E f$h  
第10章 分光镜 243 9mvy+XD  
10.1 中性分光镜 243 s>G6/TTH6  
10.1.1 金属膜中性分光 244 ;0WAfu}#H  
10.1.2 介质膜中性分光 245 "-S!^h/v  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 =&pR=vl  
10.2 双色分光镜 249  $Z &6  
10.3 偏振分光 254 <IR@/b!,  
10.3.1 偏振特性的描述 254 LeN }Q  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 &H# l*  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 4mY^pQ1=L  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 9ls1y=M8J  
10.4 消偏振分光 262 %u%;L+0Q[  
10.4.1 偏振分离的描述 263 MMa`}wSs  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 7vgRNzZoq  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 ; ]% fFcy  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 PYQ  
10.5 分光中的消色差问题 280 {0j,U\ kb  
习题 281 $]?pAqU\  
参考文献 282 ){GJgk|P  
第二篇 薄膜扶术基础 fQ~~%#z1  
第11章 薄膜制备技术 283 BpA7 z/  
11.1 真空技术简介 283 9hK8dJw  
11.1.1 真空的基本知识 283 =X'EDw  
11.1.2 真空的获得 284 oa+'.b~  
11.1.3 真空的测量 286 iU.` TqR7  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 LGy6 2 y$  
11.2.1 蒸镀法 289 >7a ENKOg:  
11.2.2 溅射法 300 <EyJ $$  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 8Ie0L3d-  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 =:T"naY(  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 r8R7@S2V'  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ST#)Fl  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 :6C R~p  
11.3.5 光化学气相沉积 310 :F5(]g 7  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 d<?Zaehe\  
11.3.7 原子层沉积 312 "c~``i\G   
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 \zcSfNE  
11.4.1 化学镀 313 LkeYzQH/l  
11.4.2 阳极氧化法 314 M&zB&Ia"'  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 rfdA?X{Q0  
11.4.4 电镀 315 m q<:^  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 ZyU/ .Uk  
11.5 光刻蚀 316 ([JFX@  
11.5.1 光刻工艺 316 n}%_H4t  
11.5.2 光刻胶 317 4myikeUR_  
11.5.3 掩模 318 :n <l0  
11.5.4 曝光 318 ( K-7z  
11.5.5 刻蚀方法 318 :'t"kS  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 ~&0lWa  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 mFpj@=^_G  
习题 323 T8LvdzS  
参考文献 324 ZWFOC,)b  
第12章 光学薄膜检测技术 326 %LdBO1D0  
12.1 光谱分析技术基础 326 JKYtBXOl  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 fm%4ab30T  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 Qc9[/4R>  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 P'5Lu  
12.2.1 透射率测量 333 4wS!g10}  
12.2.2 反射率测量 334 muK)Y w[#N  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 UQ e1rf  
12.3.1 吸收测量 338 I`{=[.c  
12.3.2 散射测量 342 ciH TnC  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 K/(Z\lL  
12.4 光学薄膜常数测量 347 B 4e}%  
12.4.1 光度法 348 5*"WS $  
12.4.2 全反射衰减法 354 m&*0<N  
12.4.3 椭圆偏振法 357 s0Y7`uD^  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 Sr6iQxE  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 W.7u6F`  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 iee`Yg!EOH  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 -RThd"  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 IxlPpS9Wx  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 @bFl8-  
12.6.1 薄膜微结构 368 gcM(K.n  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 ^> d"D  
12.6.3 雕塑薄膜 372 =:RNpi,  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 dI,H:g  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 G)5Uiu:^X  
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关键词: 薄膜光学
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