薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6918
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 z~f;}`0  
iJdJP)!tz6  
.WSn Y71  
目录 kYCm5g3u  
第一篇 薄膜元学基本理抢 YKUAI+ks  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 lZ5-lf4  
1.1 麦克斯韦方程 1 +o3n%( ^~  
1.2 平面电磁波 6 E 1`g8Hk'  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 m\*ca3$  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 8;`B3N7  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 K"[jrvZ=  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 _*=4xmB.=  
1.4 电磁波谱、光谱 10 8\E=p+C  
习题 12 ThP~k9-  
参考文献 12 hgYFR6VH  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 c|:EMYS  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 /Q W^v;^  
2.1.1 S波反射与透射 14 Q`K^>L1  
2.1.2 P波反射与透射 16 fFVQu\  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 7h(  
2.2.1 S 波反射与透射 18 cq]0|\Vz  
2.2.2 P 波反射与透射 20 E9k%:&]vd  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 [Cd#<Te3  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 m!zv t  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 wY8Vc"  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 p]X+#I<  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 Uf_mwEE  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 C% z9Q  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 z1tD2jL_  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 ~BTm6*'h  
2.5.2 全透射 37 p\I3fI0i  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 \8*j"@ !H  
2.6 反射率和透射率 39 [ s/j?/9  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 OWfB8*4@  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 x$Wtkb0<  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 )w}'kih  
习题 44 V@LBy1z  
参考文献 44 Y: C qQ  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 I_Z?'M  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 rv)Eg53Q  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 .FYRi_Zd  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 ve a$G~[%6  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 [GM!@6U  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 >yenuqIKQv  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 s%#u)nw19  
3.4.1 一阶近似 62 N1E9w:T`  
3.4.2 二阶近似 63 IN;!s#cl:  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 }|-8- ;  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 {>64-bU  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 Grw[h  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 V[^AV"V  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 1 h162  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 \Rt>U|%  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 # mM9^LJ   
习题 79 %;_EWs/z8  
参考文献 79 @G=:@;  
第4章 膜系设计图示法 81 B\|^$z2  
4.1 矢量法 81 -'oxenu  
4.2 导纳图解法 87 MD;,O3Ge  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 Z5wDf+  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 <vs*aFq  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 lZ"C~B}9:I  
4.3 金属膜导纳圆图 97 &B+_#V=X@  
4.4 膜系层间电场分布 99 DjZTr}%q  
习题 100 0jXDjk5'<  
参考文献 101 1)xj 'n  
第二篇 光学等膜分类反应用 b V_<5PHP  
第5章 增透膜 102 ok-q9dM  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 RU.MJ kYQ5  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ykx13|iR  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 2nFr?Y3g,  
5.4 均匀介质增透膜 107 e=tM=i"  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 &"1_n]JO  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 <X5V]f  
5.5 非均匀介质增透膜 113 I#F, Mb>:  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 oY\;KPz  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 :E|+[}|  
习题 118 *|+$7j  
参考文献 118 a[=B?Bd  
第6章 高反射膜 120 Vn^8nS  
6.1 反射镜组合的反射率 120 0!c/4^  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 VzM (u _)  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 )C$Ij9<A  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122  pXNH  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 ZTGsZ}{5   
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 527u d^:  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 '7]9q#{su  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 sWq}/!@&  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 {v3@g[:|  
6.8 金属反射镜 134 g1UQ6Oa  
6.8.1 常用金属反射镜 134 ;$r!eFY;  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 !$-QWKD4  
6.9 影响反射特性的因素 137 c)QOgXv  
6.10 高反射镜应用实例 143 li`  
6.10.1 激光高反射镜 143 Hw#yw g  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 esv<b>`R  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 qm=9!jqC;  
习题 146 Kna@K$6{w=  
参考文献 146 &4p~i Z  
第7章 带通滤光片 149 ]#rmk!VT?  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 :bP <H  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 {mHxlG)  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 X=k|SayE8  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 ~c=*Y=)LG  
7.3.2 膜系透射定理 153 =*WfS^O  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 x}7Xd P.2$  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 Bo*Wm w  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 ${U H!n{  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 %)r1?H} #%  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 [!#;QQ&M  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 #/K71Y  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 (jh0cy}|]  
7.5 超窄带带通滤光片 183 `LWbL*;Y0  
7.6 宽带带通滤光片 185 0te[i*G  
7.7 带通滤光片的角特性 186 *^%ohCU i  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 !`dn# j  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 Eo{js?1G_  
习题 193 WZ@$bf}f0  
参考文献 193 )5U7w  
第8章 截止滤光片 196 {'zs4)vw  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 ZN`I4Ak  
8.2 吸收型截止滤光片 197 qS[nf>"  
8.3 干涉型截止滤光片 198 IkLcL8P^  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 @%As>X<3t  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 ^+dL7g?+  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 )}\J    
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 M0MvOO*ad  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 W%}zwQ  
8.3.6 截止带的展宽 210 Kx,<-]4  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 ?CuwA-j  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 z`y^o*qc]  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 OmECvL'Z  
习题 221 SDW!9jm>R  
参考文献 221 -sk!XWW+  
第9章 带阻滤光片 223 j{NcDe pLn  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 yKOC1( ~  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 NFb<fD[C  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 O ;B[ZMV  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 &o)eRcwH`  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 Y X{F$BM  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 xR5zm %\  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 V)Y#m/$`  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 bX&=*L+ h6  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 1:q5h*  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 7brC@+ZD  
习题 241 ,S=ur%  
参考文献 241 p!~V@l  
第10章 分光镜 243 :.f m LL  
10.1 中性分光镜 243 8Nf%<nUv  
10.1.1 金属膜中性分光 244 'di(5  
10.1.2 介质膜中性分光 245 q!8aYw+c  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 H<wkD9v}H5  
10.2 双色分光镜 249 e[L%M:e9U  
10.3 偏振分光 254 `9p;LZC1K  
10.3.1 偏振特性的描述 254 um1xSf1Xv  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 Jm*wlN [>  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 C.9l${QU  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 t\\`#gc9~i  
10.4 消偏振分光 262 &qae+p?  
10.4.1 偏振分离的描述 263 7,Q>>%/0P  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 xEqr3(  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 #qdfr3  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 lH 1gWe  
10.5 分光中的消色差问题 280 Z(a,$__  
习题 281 18gApRa  
参考文献 282 3etW4  
第二篇 薄膜扶术基础 9g`o+U{  
第11章 薄膜制备技术 283 4Yya+[RY  
11.1 真空技术简介 283 W 33MYw  
11.1.1 真空的基本知识 283 Ex$i8fO(  
11.1.2 真空的获得 284 aqN6.t  
11.1.3 真空的测量 286 WBY_%RTx  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 EHX/XM  
11.2.1 蒸镀法 289 YS+|n%?  
11.2.2 溅射法 300 Fhk`qh'i  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 ~-o[v-\  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 K)F6TvWv  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 % *Lv  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ) i=.x+Q  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 i5jsM\1j  
11.3.5 光化学气相沉积 310 &Z 6s\r%  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 6 ly`lu9  
11.3.7 原子层沉积 312 L/2,r*LNx$  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 qv.s-@l8  
11.4.1 化学镀 313 Ni-@El99  
11.4.2 阳极氧化法 314 &-hXk!A  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 fu $<*Sa2  
11.4.4 电镀 315 .FpeVjR''  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 8a3h)R  
11.5 光刻蚀 316 EK$3T5e  
11.5.1 光刻工艺 316 /V$U%0  
11.5.2 光刻胶 317 9B?-&t  
11.5.3 掩模 318 gis;)al  
11.5.4 曝光 318 zX}t1:nc  
11.5.5 刻蚀方法 318 B6xM#)  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 b,uu dtlH  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 jPa"|9A  
习题 323 |!E: [UH  
参考文献 324 _mc-CZ  
第12章 光学薄膜检测技术 326 u@pimRVo  
12.1 光谱分析技术基础 326 QSSA)  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 6w)a.^yx7  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 VHqHG`}:  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 T1=T  
12.2.1 透射率测量 333 ;Bwg'ThT  
12.2.2 反射率测量 334 On-zbE  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 L(+I  
12.3.1 吸收测量 338 yr/G1?k%ML  
12.3.2 散射测量 342 H?_>wQj&  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 K2 6`wt  
12.4 光学薄膜常数测量 347 8(ej]9RObU  
12.4.1 光度法 348 iR]K!j2  
12.4.2 全反射衰减法 354 ~kFL[Asnaf  
12.4.3 椭圆偏振法 357  jH>`:  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 ]+A%3 7  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 FS^~e-A  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 3>QkO.b  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 o&ETs)n|  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 cB=ExD.Q  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 O_\%8*;  
12.6.1 薄膜微结构 368 ?/|KM8  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 AX;!-|bW  
12.6.3 雕塑薄膜 372 `i<omZ[aT  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 |ya.c\}q  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 AW8*bq1  
?"$Rw32  
优惠价:¥72.30 [8.2折] [定价  ¥89.00] Yhte&,D"  
关键词: 薄膜光学
分享到:

最新评论

我要发表 我要评论
限 50000 字节
关于我们
网站介绍
免责声明
加入我们
赞助我们
服务项目
稿件投递
广告投放
人才招聘
团购天下
帮助中心
新手入门
发帖回帖
充值VIP
其它功能
站内工具
清除Cookies
无图版
手机浏览
网站统计
交流方式
联系邮箱:广告合作 站务处理
微信公众号:opticsky 微信号:cyqdesign
新浪微博:光行天下OPTICSKY
QQ号:9652202
主办方:成都光行天下科技有限公司
Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1