薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6959
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 ZtvU~'Q  
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目录 !l\pwfXP&%  
第一篇 薄膜元学基本理抢 ~j 4=PT  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 ]':C~-RV{  
1.1 麦克斯韦方程 1 ' 5Ieqpm9  
1.2 平面电磁波 6 q OXL(  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 zCQv:.0L  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 cbteNA!>  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 ::5-UxGL<2  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 S4(IYnwN  
1.4 电磁波谱、光谱 10 mb/3 #)  
习题 12 .DX#:?@4@Y  
参考文献 12 zH_q6@4  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 *CG2sAeB  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 O7K))w  
2.1.1 S波反射与透射 14 2MC\~"L<  
2.1.2 P波反射与透射 16 _9-Ajv  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 =DCQ!02  
2.2.1 S 波反射与透射 18 #zQkQvAT9  
2.2.2 P 波反射与透射 20 4-"wFp  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 K l4",  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 dn5v|[dJ  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 YM;^c% _7  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 jsG9{/Ov3  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 BNByaC  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 ;'Y?wH[  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 1dq.UW\  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 v_ J.M]  
2.5.2 全透射 37 PQ[TTLG\&  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 PY2`RZ/@  
2.6 反射率和透射率 39 y#MLxm  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 z_H2 L"Z  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 Q,4F=b  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 4a 5n*6G!  
习题 44 Kzm_AHA)  
参考文献 44 #[si.rv->  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 a} /Vu"  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 *p-Fn$7\n  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 [X I5Bu ~  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 :.~a[\C@V<  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 .x x#>Y-\  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 Q(sbClp"  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 Q\oUZnD$=  
3.4.1 一阶近似 62 _(jE](,  
3.4.2 二阶近似 63 aw 7f$Fqk  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 BOWTH{KR<<  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 9j 8t<5s  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 k@~-|\ooG  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 Y1~SGg7(@  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 ky#6M? \  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 ~L1O\V i  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 8N`$7^^  
习题 79 4A&e+kz&:R  
参考文献 79 6?lg 6a/eO  
第4章 膜系设计图示法 81 R',w~1RV'  
4.1 矢量法 81 I%&9`ceWY  
4.2 导纳图解法 87 <\8   
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 W>~%6K>p  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 v Y\O=TZT  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 ]UI+6}r  
4.3 金属膜导纳圆图 97 KCFwO'  
4.4 膜系层间电场分布 99 o ,!"E^  
习题 100 %8tN$8P  
参考文献 101 [E^X=+Jnz  
第二篇 光学等膜分类反应用 $O>@(K  
第5章 增透膜 102 I Q L~I13  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 ;Y '\:  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ""+*Gn 7^8  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 3azc`[hl  
5.4 均匀介质增透膜 107 e^GW[lT  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 gh}AD1TN]  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 u s0'7|{q  
5.5 非均匀介质增透膜 113 5:d2q<x:{  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 8?YW i  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 9c^EoYpy-  
习题 118 <f6PULm  
参考文献 118 tb{{oxa,k  
第6章 高反射膜 120 _pGviGR  
6.1 反射镜组合的反射率 120 }ELCnN  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 |BkY"F7m9  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 hn|E<  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 %MJ7u}  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 PQ]9xzOg[  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 @qDrTH]5  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 `.W;ptZ6  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 % 4"~O _S  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 5Nb_K`Vp*  
6.8 金属反射镜 134 PoJyWC  
6.8.1 常用金属反射镜 134 5ecz'eA%  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 g)A0PvEu  
6.9 影响反射特性的因素 137 =.oWguzu  
6.10 高反射镜应用实例 143 N^]>R :Stu  
6.10.1 激光高反射镜 143 KaE;4gwM  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 *`-29eR"8  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 }?J5!X  
习题 146 BznA)EK?@  
参考文献 146 y7-:l u$9  
第7章 带通滤光片 149 uW~ ,H}E  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 (VAL.v*  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 J_|}Xd)~t6  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 8VmN? "5v  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 a.IF%hP0xo  
7.3.2 膜系透射定理 153 AV4HX\`{P0  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 g <4M!gi  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 =k= 2~ j  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 /VO@>Hoh  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 '?gI cWM  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 r)]CZ])  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 [0ffOTy  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 TDE1z>h+"  
7.5 超窄带带通滤光片 183 >Mz|e(6  
7.6 宽带带通滤光片 185 |K;Txe_  
7.7 带通滤光片的角特性 186 {U '&9_y  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 YIQ]]q8R!L  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 "ue$DyN  
习题 193 nvK7*-  
参考文献 193 ynbpewaa  
第8章 截止滤光片 196 (E}cA&{  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 >DUE8hp ;<  
8.2 吸收型截止滤光片 197 kr`BUW3  
8.3 干涉型截止滤光片 198 ;3}EB cw)  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 ~1r*/@M[V  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 B=bI'S8\  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 "E|r3cN  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 ,e FQ}&^A  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 UxcDDa/j2T  
8.3.6 截止带的展宽 210 L sDzV)  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 ,PMb9 O\B  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 MupW=3.38  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 QiE<[QP{g  
习题 221 +F~0\#d  
参考文献 221 -Bo~"q  
第9章 带阻滤光片 223 d6@jEa-  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 :n4:@L<%H  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 @ZkAul0@  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 )*K<;WI WH  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 aMvK8C%7  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 9^QYuf3O  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 -)O kG#J@  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 >6[ X }  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 .)@tXH=}+  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 &:;;u\  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 TG63  
习题 241 |pH* CCA  
参考文献 241 : \:~y9X0  
第10章 分光镜 243 #x5N{8  
10.1 中性分光镜 243 (' Ko#3b  
10.1.1 金属膜中性分光 244 [CDXCV-z  
10.1.2 介质膜中性分光 245 ?z@v3(b[  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 ikY]8BCc  
10.2 双色分光镜 249 zyZok*s  
10.3 偏振分光 254 T018)WrhL  
10.3.1 偏振特性的描述 254 0Z A#T:4  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 6L8tz 8  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 K=c=/`E  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 d{2 y/  
10.4 消偏振分光 262 YBtq0c  
10.4.1 偏振分离的描述 263 J+@MzkpK  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 ii_|)udz  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 O2q=gYX>\  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 MvZ+n  
10.5 分光中的消色差问题 280 4+5OR&kxZ  
习题 281 /lr1hW~Dbk  
参考文献 282 jSie&V@px  
第二篇 薄膜扶术基础 x&R9${e%  
第11章 薄膜制备技术 283 KUp   
11.1 真空技术简介 283 pkXfsi-Nu  
11.1.1 真空的基本知识 283 >[|GC/C  
11.1.2 真空的获得 284 :dY.D|j*  
11.1.3 真空的测量 286 29a_ZU7e6  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 obAs<nk  
11.2.1 蒸镀法 289 HPtTv}l  
11.2.2 溅射法 300 %tzN@  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 X,WQ'|rC  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 R3B5-^s  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 )IFl 0<d  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 9h:jFhsA9  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 !,? <zg  
11.3.5 光化学气相沉积 310 !,Xyl} #  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 E!zd(  
11.3.7 原子层沉积 312 j-lSFTo  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 y+4?U  
11.4.1 化学镀 313 FOOQ'o[}  
11.4.2 阳极氧化法 314 ,f8}q]FTA  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 (3 IZ  
11.4.4 电镀 315 Ur'9bl{5  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 )-bD2YA{  
11.5 光刻蚀 316 y z[%MXI  
11.5.1 光刻工艺 316 CfPXn0I  
11.5.2 光刻胶 317 |d,F-9iw  
11.5.3 掩模 318 \%sPNw=e  
11.5.4 曝光 318 Km6Ub?/7o  
11.5.5 刻蚀方法 318 2[jL^ XMM  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 F&=I7i  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 ;_mgiKHg  
习题 323 5;IT64&]  
参考文献 324 U7^7/s/.  
第12章 光学薄膜检测技术 326 D:=t*2-Iv  
12.1 光谱分析技术基础 326 99<4t$KH  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 <Q2u)m'  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 r5t;'eCe a  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 ^I]LoG:  
12.2.1 透射率测量 333 ^oS$>6|  
12.2.2 反射率测量 334 kUNj4xp)  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 B4`2.yRis  
12.3.1 吸收测量 338 /8f>':zUb  
12.3.2 散射测量 342 8';m)Jc  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 # v{Y=$L  
12.4 光学薄膜常数测量 347 :lUX5j3  
12.4.1 光度法 348 'S =sj}X  
12.4.2 全反射衰减法 354 r eGm>  
12.4.3 椭圆偏振法 357 6ayy[5tW  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 T!MZ+Ph`F  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 %dEB/[  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 ~j=xiP  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 ARPKzF`Wq  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 /+>)"D6'  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 j:7* 3@f  
12.6.1 薄膜微结构 368  }VF#\q  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 OkLz^R?d  
12.6.3 雕塑薄膜 372 n'T He|:I  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 !_qskDc-  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 ODm&&W#*  
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关键词: 薄膜光学
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