薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6875
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 ?Xq"Q^o4#e  
}#Gq*^w  
Vhi4_~W3j]  
目录 suF<VJ)&s  
第一篇 薄膜元学基本理抢 #PJHwvr  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1  'K7m!y  
1.1 麦克斯韦方程 1 K}j["p<!  
1.2 平面电磁波 6 |@*3 nb8  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 rQb=/@-  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 +$;* "o  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 618k-  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 BJNZH#"  
1.4 电磁波谱、光谱 10 yRyUOTK  
习题 12 qe3d,!  
参考文献 12 dWK"Tkf\  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 L#6!W  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 # X`t~Y'  
2.1.1 S波反射与透射 14 LyuA("xB#  
2.1.2 P波反射与透射 16 N7 ox#=g  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 b2 5.CGF  
2.2.1 S 波反射与透射 18 RoLN#  
2.2.2 P 波反射与透射 20 h; "pAE  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 dMlJ2\ ]u  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 =v:}{~M^$  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 \~BYY|UB;W  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 7RZ HU+  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 Q*54!^l+_r  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 `37%|e3bQ  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 IDK~ (t  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 %F2T`?t:  
2.5.2 全透射 37 &y&pjo6v1  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 f>zd,|)At  
2.6 反射率和透射率 39 zb,YYE1  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 {TVQ]G%'b  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 !~_6S*~  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 k@ So l6  
习题 44 uGU-MC *  
参考文献 44 #\ l#f8(l  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 dh-?_|"  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 u/.# zn@9h  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 U_C[9Z'P  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 W1 \dGskV  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 &ev#C%Nu  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 U: q4OtiP  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 h )% e  
3.4.1 一阶近似 62 n3_| # 1Qu  
3.4.2 二阶近似 63 c1M *w9o  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 ">v- CSHY  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 =: =s  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 :/\KVz'fw}  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 gHox>r6.A  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 )u=46EU_  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 U]PsL3:  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 ?W\KIp \Kn  
习题 79 v`\CzT  
参考文献 79 5 D[`nU}  
第4章 膜系设计图示法 81 L~!Lq4]V\g  
4.1 矢量法 81 C {G647  
4.2 导纳图解法 87 X3j|J/  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 #SR )tU  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 FvyC$vip  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 %*^s%NI  
4.3 金属膜导纳圆图 97 4hWFgk  
4.4 膜系层间电场分布 99 c?}{>ig/)  
习题 100 7b*9 Th*a  
参考文献 101 bC,SE*F\  
第二篇 光学等膜分类反应用 us )NgG  
第5章 增透膜 102 Mi<}q@]e  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 {k)H.zwe  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ')Qb,#/,%  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 d(q2gd@  
5.4 均匀介质增透膜 107 =zRjb>  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 tN_~zP  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 fiQ/ &]|5  
5.5 非均匀介质增透膜 113 $%z M Z  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 , L5.KwB  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 <ahcE1h  
习题 118 X=[`+=  
参考文献 118 tg;AF<VI  
第6章 高反射膜 120 8nTdZu  
6.1 反射镜组合的反射率 120 ]//D d/L6  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 =`t%p1   
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 A&`7 l5~X  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 jF 6[+bW<  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 6Z!OD(/e  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 %iD'2e:  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 v;:. k,E0  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 Bw4PxJs-  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ,%]x T>kH  
6.8 金属反射镜 134 Z`yW2ON$'  
6.8.1 常用金属反射镜 134 ;|.IUXEgcF  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 @\Yu?_a  
6.9 影响反射特性的因素 137 T;pe7"  
6.10 高反射镜应用实例 143 k7=mxXF  
6.10.1 激光高反射镜 143 .xg, j{%(  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 j12khp?  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 dUP8[y  
习题 146 N  Bpf  
参考文献 146 B'KZ >jO  
第7章 带通滤光片 149 e2Df@8>  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 =Cp}iM  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 3ms{gZbw  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 F}4jm,w  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 $-lP"m@}  
7.3.2 膜系透射定理 153 2@a]x(  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 oT[8Iu  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 T0lbMp  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 ~ MW_=6U  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 r&D&xsbQ  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 :\,3=suWq  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 BCw0kq@  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 z=a{;1A  
7.5 超窄带带通滤光片 183 usOIbrQ  
7.6 宽带带通滤光片 185 ^?gs<-)B  
7.7 带通滤光片的角特性 186 QVQ?a&HYS  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 v`9n'+h-c6  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 `+EjmY  
习题 193 dS"%( ?o  
参考文献 193  ^6Y:9+  
第8章 截止滤光片 196 "~aCW~  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 C]DvoJmBs  
8.2 吸收型截止滤光片 197 2z[A&s_  
8.3 干涉型截止滤光片 198 Auf2JH~  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 s(M8 Y  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 \!,qXfTMB  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 y w>T1  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 @M]7',2"  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 %SD=3UK6  
8.3.6 截止带的展宽 210 Pdw[#X<[`  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 <e7  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 4O'X+dv^I  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 w65D;9/;  
习题 221 M}BqSzd*  
参考文献 221 xbhU:,o  
第9章 带阻滤光片 223 K(B|o6[  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 5<KY}  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 PK|"+I0  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 ( mKuFz7  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 s7}46\/U  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 f S(IN~  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 l-RwCw4f  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 #jNN?,ZK  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 5cE?>  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 h$~ \to$C  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 dS m; e_s  
习题 241 c;pv< lX'  
参考文献 241 Gw)>i45 :  
第10章 分光镜 243 ^z\*; f  
10.1 中性分光镜 243 \%+5p"Z<  
10.1.1 金属膜中性分光 244 {@w!kl~8  
10.1.2 介质膜中性分光 245 m'P,:S)=  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 I,d5Y3mC  
10.2 双色分光镜 249 Yx{qVU  
10.3 偏振分光 254 k(.6K[ b  
10.3.1 偏振特性的描述 254 P\R#!+FgW8  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 !*@sX7H  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 2[qlEtvQ  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 .y~vn[qN  
10.4 消偏振分光 262 Uc?#E $X  
10.4.1 偏振分离的描述 263 8Cw+<A*  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 \tx4bV#  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 :7-2^7z)  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 4]18=?r>  
10.5 分光中的消色差问题 280 BHa'`lCb  
习题 281  N\9 Wxz$  
参考文献 282 @XL5$k[Y  
第二篇 薄膜扶术基础 $ 'obj  
第11章 薄膜制备技术 283 $06[D91'  
11.1 真空技术简介 283 fyE#8h_>4  
11.1.1 真空的基本知识 283 GnzKDDH '  
11.1.2 真空的获得 284 qu:nV"~_  
11.1.3 真空的测量 286 8A ;)5!  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 gLL8-T[9  
11.2.1 蒸镀法 289 c/Ykk7T9--  
11.2.2 溅射法 300 zZax![Z  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 [R~`6  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 Btgxzf  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 %!X|X,b^O  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ?\.aq p1B  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 7} 2Aq  
11.3.5 光化学气相沉积 310 P@wuk1  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 /$ :w8  
11.3.7 原子层沉积 312 X5gI'u  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 yHk}'YP  
11.4.1 化学镀 313 .h7`Q{  
11.4.2 阳极氧化法 314 b&j}f  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 muJR~4  
11.4.4 电镀 315 AYP*J  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 Adma~]T9  
11.5 光刻蚀 316 V|n}v?f_q  
11.5.1 光刻工艺 316 _vV3A3|Ec,  
11.5.2 光刻胶 317 34gC[G=  
11.5.3 掩模 318 /eO :1c  
11.5.4 曝光 318 zG. \xmp  
11.5.5 刻蚀方法 318 bk}'wcX<+]  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 C3"5XR_Ov  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 x<fF1];  
习题 323 !|#W,9  
参考文献 324 !F|#TETrt  
第12章 光学薄膜检测技术 326 zvgy$]y'\  
12.1 光谱分析技术基础 326 0lm7'H*~  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 nde_%d$  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 7a_tT;f;  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 : [r/ Y  
12.2.1 透射率测量 333 NrK.DY4  
12.2.2 反射率测量 334 5Y(<T~  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 N a $eeM  
12.3.1 吸收测量 338 1XpG7  
12.3.2 散射测量 342 N7 FndB5%  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 S<Os\/*  
12.4 光学薄膜常数测量 347 js..k*j  
12.4.1 光度法 348 =G,wR'M  
12.4.2 全反射衰减法 354 y2{uEbA  
12.4.3 椭圆偏振法 357 w5+H9R6  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 PptVneujI  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 a-bj! Rs  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 tg%#W `  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 sW^e D;  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 m0Geq.  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 je`Ysben  
12.6.1 薄膜微结构 368 YstR T1  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 yCvP-?2  
12.6.3 雕塑薄膜 372 |8q:sr_  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 6Lc{SR  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 I?&/J4o:  
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关键词: 薄膜光学
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