薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7159
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 2[up+;%Y  
#C\4/g? =,  
uRQ_'l  
目录 /2@["*^$  
第一篇 薄膜元学基本理抢 Bq!cY Wj  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 9+Nw/eszO  
1.1 麦克斯韦方程 1 L'9N9CR{i  
1.2 平面电磁波 6 c3k|G<C2  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 sX:lE^)-z  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 h\y-L~2E  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 / L~u0 2?  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 bGv4.:)  
1.4 电磁波谱、光谱 10 8R xc&`_X  
习题 12 ]W) jmw'mo  
参考文献 12 Hr }k5'  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 Z@J.1SaB  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 9$ O@`P\  
2.1.1 S波反射与透射 14 .wc = ]  
2.1.2 P波反射与透射 16 "l,UOv c  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 @ls.&BHUP  
2.2.1 S 波反射与透射 18 )^ <3\e  
2.2.2 P 波反射与透射 20 >;nS8{2o  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 K{b-TT 4  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 i&Kz*,pt  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 @ yxt($G  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 S()Za@ [a$  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 ~ FUa: KYD  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 K t `  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 !k<:k "7  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 -x'e+zT  
2.5.2 全透射 37 2p:r`THvS5  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 +R[4\ hC0Y  
2.6 反射率和透射率 39 bPd-D-R  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 8A{6j  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 ]d'^Xs  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 rt b*n~  
习题 44 cZQu*K^j  
参考文献 44 C6@t  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 +?d}7zh  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 dr })-R  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 x / XkD]Hq  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 -G b-^G  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 -(;LQDG |  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 )U(u>SV(\  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 h~miP7,c<u  
3.4.1 一阶近似 62 Dip*}8$o(w  
3.4.2 二阶近似 63 `WlE| G[  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 4}yE+dRUK:  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 H_B~P%E@]  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 q)iTn)Z!  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 3] 76fF\^[  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 H(qm>h$bU  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 <qY5SV,  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 agsISu(  
习题 79  5$Kf]ZP  
参考文献 79 e4.&aIC[  
第4章 膜系设计图示法 81 ;$!I&<)  
4.1 矢量法 81 JTUNb'#RZ  
4.2 导纳图解法 87 y1,5$0@G  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 QIAR  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 eXzXd*$S  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 R6@uM<  
4.3 金属膜导纳圆图 97 8(A{;9^g  
4.4 膜系层间电场分布 99 rn" pKUd  
习题 100 xzk}[3P{  
参考文献 101 Tf-CEHWD  
第二篇 光学等膜分类反应用 +qkMQETV6  
第5章 增透膜 102 s~$zWx@v  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 9S1#Lr`r  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 Y'N'hRD  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 Y4To@TrN#\  
5.4 均匀介质增透膜 107 <lo`q<q  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 }gCHQ;U7`  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 ~:2K#q5C  
5.5 非均匀介质增透膜 113 ` clB43 i  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ~@fR[sg<  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117  _^T}_  
习题 118 n,nisS  
参考文献 118 ")M;+<c"l  
第6章 高反射膜 120  aZgNPw  
6.1 反射镜组合的反射率 120 WK; (P4Z  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 j>!sN`dBj  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 wj%wp[KA$  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 h5-d;RKE  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 n\ Uh  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 j'Wp  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 afm_Rrg[  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 4VFc|g  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 [hU=m S8=^  
6.8 金属反射镜 134 ]^@0+!  
6.8.1 常用金属反射镜 134 e &3#2_  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 :_H>SR:  
6.9 影响反射特性的因素 137 Jz$ >k$!UD  
6.10 高反射镜应用实例 143 0w3b~RJ  
6.10.1 激光高反射镜 143 u^=@DO'  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 QS\ x{<e/  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 Taasi` k  
习题 146 Y/P]5: =h  
参考文献 146 r}EM4\r  
第7章 带通滤光片 149 oT->^4WY  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 =pp:j`B9(  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 NI\H \#bJ  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 D5` (}  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 W)-hU~^OM  
7.3.2 膜系透射定理 153 RVP18ub.S  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 XS|mKuMc C  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 Ab g$W/(|  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 %6]\^  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 M(5D'4.  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 h5!d  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 -+P7:4/  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 |nm2Uy/0  
7.5 超窄带带通滤光片 183 `a'` $'j  
7.6 宽带带通滤光片 185 N84qcc  
7.7 带通滤光片的角特性 186 `M rBav  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 ~4^p}{  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 IJIQ" s  
习题 193 8IJ-]wHIb  
参考文献 193 o<J5!  
第8章 截止滤光片 196 *w 21U!  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 rIlBH*aT  
8.2 吸收型截止滤光片 197 Tc_do"uU  
8.3 干涉型截止滤光片 198 V}:'Xgp*N  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 g)cY\`&W8  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 Omb.53+  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 %uuH^A  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 ^0Q'./A{&  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 ,'_( DJX  
8.3.6 截止带的展宽 210 :gaETr  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 dXO=ZU/N  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 A'~#9@l<  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 p1^0{ILx  
习题 221 qUg9$oh{LI  
参考文献 221 o=mo/N4  
第9章 带阻滤光片 223 I>Y{>S  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 Bb_Q_<DTs  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 :rL?1"   
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 yjd(UWE  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224  ~me\  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 ucM.Ro=@  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 hr1$1&p  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 kp; &cQu!  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 V4\56 0  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 InN{^uN  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 sMX$Q45e  
习题 241 qp@m&GH  
参考文献 241 hiIya WU  
第10章 分光镜 243 0Jg+sUs{  
10.1 中性分光镜 243 4y>(RrVG  
10.1.1 金属膜中性分光 244 P4[]qbfd,  
10.1.2 介质膜中性分光 245 BPiiexTV9  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 QES^^PQe:  
10.2 双色分光镜 249 U1kh-8  :  
10.3 偏振分光 254 lG 8dI\`  
10.3.1 偏振特性的描述 254 1b+h>.gWar  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 F-tFet  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 uAT/6@  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 |Q6h /"2  
10.4 消偏振分光 262 ()B7(Y  
10.4.1 偏振分离的描述 263 o"4E+1qwM  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 l_b_-p  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 )r pD2H  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 ]Y=S  
10.5 分光中的消色差问题 280 aPt{C3<  
习题 281 qzHU)Ns(_  
参考文献 282 ,@479ZvvR3  
第二篇 薄膜扶术基础 My],6va^  
第11章 薄膜制备技术 283 {yU0D*#6  
11.1 真空技术简介 283 W W35&mI)k  
11.1.1 真空的基本知识 283 kAt RY4p  
11.1.2 真空的获得 284 JeL~]F  
11.1.3 真空的测量 286 =t HD 4I  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 S!<"Swf:  
11.2.1 蒸镀法 289 1Df, a#,y"  
11.2.2 溅射法 300 IE}Sdeqi)  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 .=CH!{j  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 eN4t1 $  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 :U8k|,~f  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 &rcdr+'  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 s*eyTm  
11.3.5 光化学气相沉积 310 w?i)/q  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 E;$$+rA  
11.3.7 原子层沉积 312 ] .`_, IO  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 [)0 R'xL6  
11.4.1 化学镀 313 \D ^7Z97  
11.4.2 阳极氧化法 314 `}Eh[EOHJ  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 7<vy;"wB  
11.4.4 电镀 315 @H6%G>K,  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 ,, 7.=#  
11.5 光刻蚀 316 ?o8a_9+  
11.5.1 光刻工艺 316 shD+eHo$  
11.5.2 光刻胶 317 UL[uh@4  
11.5.3 掩模 318 :|Upx4]Ec  
11.5.4 曝光 318 Pm~,Ky&Hl  
11.5.5 刻蚀方法 318 =8@RKG`>;  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 -&$%|cyThQ  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 $.;iu2iyo  
习题 323 ]M uF9={  
参考文献 324 x!>d 6lgej  
第12章 光学薄膜检测技术 326 Z rA Um  
12.1 光谱分析技术基础 326 2nJYS2mT7  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 uRFNfX(*  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 X:DMT>5k  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 KoFv0~8Q  
12.2.1 透射率测量 333 M*v^N]>"G  
12.2.2 反射率测量 334 }=TqJy1  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 =?^-P{:\?  
12.3.1 吸收测量 338 xS-w\vbLV  
12.3.2 散射测量 342 @PKAz&0  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 V@Ax}<$A  
12.4 光学薄膜常数测量 347 _@7(g(pY 3  
12.4.1 光度法 348 4^0\dq  
12.4.2 全反射衰减法 354 ,=yOek}  
12.4.3 椭圆偏振法 357 z_'dRw  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 Oxpo6G  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 C"(_mW{@  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 3Sk5I%  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 ybC-f'0  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 r!CA2iK`  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 AwtIWH*e  
12.6.1 薄膜微结构 368 e#K rgUG  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 * q+oeAYX  
12.6.3 雕塑薄膜 372 t2~"B&7My  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 JATS6-Lz`  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 <##|311o  
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关键词: 薄膜光学
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