薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7048
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 9Z21|5  
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目录 Y]7503J  
第一篇 薄膜元学基本理抢 zu.B>INe  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 e=nvm'[h  
1.1 麦克斯韦方程 1 yVp,)T9  
1.2 平面电磁波 6 7{]dh+)  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 Ia< V\$#  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 '$c9S[  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 ! Sw=ns7  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 M!kSt1  
1.4 电磁波谱、光谱 10 P@keg*5@  
习题 12 Z+u.LXc|c  
参考文献 12 :G6aO  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 Jt[,V*:#  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 "g)V&Lx#X  
2.1.1 S波反射与透射 14 O ,9^R  
2.1.2 P波反射与透射 16 @({=~ W^  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 m^0vux  
2.2.1 S 波反射与透射 18 %ioVNbrR7  
2.2.2 P 波反射与透射 20 lKB9n}P  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 co~NXpqg  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 T@=C2 1  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 S2e3d  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 TZ+ p6M8G  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 6UqAs<c9  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 71y{Dwya  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 <zL_6Y2  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 Ix6\5}.c9  
2.5.2 全透射 37 ^;'8yE/  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 8>t,n,k  
2.6 反射率和透射率 39 /OWwC%tM/  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 ;Y[D#Ja-  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 Q3(ulgl]  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 tsJR:~  
习题 44 u5Vgi0}A  
参考文献 44 tj'~RQvO  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 ,f2oO?L}  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 Q"ZpT  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 4~&3.1  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 a_V\[V{R=  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 .wD $Bsm`t  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 4"k&9+>  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 uE41"?GS  
3.4.1 一阶近似 62 u\Ylo.)b  
3.4.2 二阶近似 63 L7Hv)  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 ",.f   
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 kqm(D#  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 DH yv^  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 Q(]m1\a  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 k9f|R*LM  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 h@Ea5x  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 jwT` Z  
习题 79 j(Lz& *4  
参考文献 79 6{buel(|e  
第4章 膜系设计图示法 81 HoABo:  
4.1 矢量法 81 m~5 unB9  
4.2 导纳图解法 87 Ba@~:  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 %*}rLn"?  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 `z\hQ%1!F  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 6qHD&bv\%C  
4.3 金属膜导纳圆图 97 X7huc*  
4.4 膜系层间电场分布 99 r=5 S0  
习题 100 oj - `G  
参考文献 101 9L:wfg}8s  
第二篇 光学等膜分类反应用 lG\uJxV  
第5章 增透膜 102 V ml 6\X  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 Vo@7G@7K(  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 LDc EjFK(  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 K2zln_W  
5.4 均匀介质增透膜 107 SjB"#E)  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 oI{.{]  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 (vO3vCYeQ  
5.5 非均匀介质增透膜 113 iHGVR  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 <E4(KE  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 EL$DvJ~  
习题 118 bE/|&8  
参考文献 118 5_aj]"x  
第6章 高反射膜 120 xrPZy*Y,  
6.1 反射镜组合的反射率 120 <"5l<E  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 =U3S"W %  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 ZLT?G  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 ~i"=:D  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 K9#kdo1 2  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 <=">2WP{  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 f?UI+TU  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 oZiW4z*Wh  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 l&ueD& *4&  
6.8 金属反射镜 134 9jTBLp-i#N  
6.8.1 常用金属反射镜 134 -lhIL}mGf  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 '#f<wf n  
6.9 影响反射特性的因素 137 S&` 6pN  
6.10 高反射镜应用实例 143 * @4@eQF  
6.10.1 激光高反射镜 143 !FL"L 9   
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 |Gf<Ql_.4  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 <{kPa_`'  
习题 146 <?KPyg2  
参考文献 146 lgaSIXDK  
第7章 带通滤光片 149 `q-+r1u  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 yjjq&Cn  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 JD$g%hcVZa  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 1%+-}yo<  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 :hZM$4  
7.3.2 膜系透射定理 153 { LvD\4h"  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 r%.k,FzGZY  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 }=/zG!+  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 i<"lXu  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 2t\0vV2)/O  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 nqo{]fn  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 e_=K0fFz  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 ^v; )6a2  
7.5 超窄带带通滤光片 183 =x8[%+  
7.6 宽带带通滤光片 185 ]bY|>q  
7.7 带通滤光片的角特性 186 #hxYB  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190  g{Hgs  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 iwK.*07+  
习题 193 Z\nDR|3  
参考文献 193 5bLNQz\WJ  
第8章 截止滤光片 196 7[1Lh'u  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 #dZs[R7h  
8.2 吸收型截止滤光片 197 =P(*j7=  
8.3 干涉型截止滤光片 198 0SI@`C*1o  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 [7vV#s3kJ  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 r^~+ <"  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 h^\vk!Q-d  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 AM}2=Ip  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 XRV]u|w=g  
8.3.6 截止带的展宽 210 1CB&z@  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 aJ+V]WmA  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 ;:6\w!fc  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 f7x2"&?vg  
习题 221 7_I83$p'  
参考文献 221 7 9t E  
第9章 带阻滤光片 223 w5%Yi {  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 D~C'1C&W  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 ab6I*DbF  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 $%~ JG(  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 zgwez$  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 v6*0@/L M  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 >&(#p@#  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 1[!:|=  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 : "85w#r  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 C8-7XQ=B:b  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 /.SG? 5t4  
习题 241 sycAAmH<  
参考文献 241 K?uZIDo  
第10章 分光镜 243 (GC]=  
10.1 中性分光镜 243 ]DVr-f ~  
10.1.1 金属膜中性分光 244 K0.aU  
10.1.2 介质膜中性分光 245 9nG^_.}|  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 {,%&}kd>  
10.2 双色分光镜 249 i=gZ8Q=H  
10.3 偏振分光 254 y\skke]  
10.3.1 偏振特性的描述 254 Af _4Z]F  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 IXy6Yn9l  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 1&dtq,|N  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 5NhFjPETr  
10.4 消偏振分光 262 h1_Z&VJ  
10.4.1 偏振分离的描述 263  i;O_B5 d  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 *{ rorir  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 F rc  kA  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 (tg.]q_=u  
10.5 分光中的消色差问题 280 2z-Nw <bA  
习题 281 :{%[6lE^G  
参考文献 282 ]E/0iM5  
第二篇 薄膜扶术基础 ;iKLf~a a  
第11章 薄膜制备技术 283 aw*]b.f  
11.1 真空技术简介 283 yT7$6x  
11.1.1 真空的基本知识 283 Fl`U{03  
11.1.2 真空的获得 284 kvwnqaX  
11.1.3 真空的测量 286 hZJ~zx~  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ^\}qq>_  
11.2.1 蒸镀法 289 ^+>*Y=fl  
11.2.2 溅射法 300 #~ x7G  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 '[ #y|  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 uPfz'|,  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 /yI4;:/  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 O*~,L6# }  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 Pxr/*X  
11.3.5 光化学气相沉积 310 CTNL->  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 &s".hP6  
11.3.7 原子层沉积 312 NH/A`Wm  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 nm5DNpHk  
11.4.1 化学镀 313 9S%5 Z>  
11.4.2 阳极氧化法 314 ve d]X!  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 <st<oR'  
11.4.4 电镀 315 z8X7Y >+SA  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 KL_ /f   
11.5 光刻蚀 316 ^C'S-2nGH  
11.5.1 光刻工艺 316 v5M4Rs&t  
11.5.2 光刻胶 317 E;a,].  
11.5.3 掩模 318 CP7Fe{P  
11.5.4 曝光 318 m!xvWqY+  
11.5.5 刻蚀方法 318 cr!8Tp;2A  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 QD@O!}; T  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 Vgj#-7bdyi  
习题 323 ,8 4|qI  
参考文献 324 aF 2vgE\  
第12章 光学薄膜检测技术 326  R0Vt_7  
12.1 光谱分析技术基础 326 DzpWU8j  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 _pTcSp 3  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 :Qge1/  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 j=O+U _w  
12.2.1 透射率测量 333 uY5|Nmiu  
12.2.2 反射率测量 334 bN_e~z  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 #Pg#\v|7#>  
12.3.1 吸收测量 338 % G= cKM  
12.3.2 散射测量 342 6\7c:  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 FsED9+/m  
12.4 光学薄膜常数测量 347 !{-W%=Kf  
12.4.1 光度法 348 ZO%^r%~s  
12.4.2 全反射衰减法 354 1K9.3n   
12.4.3 椭圆偏振法 357 zQ=b|p]|W  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 AY52j  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 <MS>7Fd2  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 ?,$:~O* w  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 2PQBUq  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 _x.2&S89  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 <W0(!<U  
12.6.1 薄膜微结构 368 {bXN[=j  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 l!,tssQ  
12.6.3 雕塑薄膜 372 RW&o3_Ua  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 6u"wgX]H  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 ^Gd1 T  
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关键词: 薄膜光学
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