薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6911
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 jI807g+  
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+#ANc;2g  
目录 mKBPIQ+ZS  
第一篇 薄膜元学基本理抢 %:[Y/K-   
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 M hg_z.Z  
1.1 麦克斯韦方程 1 p\M\mK  
1.2 平面电磁波 6 sTO9>~sj  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 gnU##Km|  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 j es[a  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 Cg&cz]*q|  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 84ma X'  
1.4 电磁波谱、光谱 10 1(WNrVm;  
习题 12 ;]SP~kG  
参考文献 12 6w^Fee`>]  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 T13Jno  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 x)o`w"]al  
2.1.1 S波反射与透射 14 xGymQ|y84  
2.1.2 P波反射与透射 16 JV9Ft,xk  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 A+F@JpV  
2.2.1 S 波反射与透射 18 8VZLwhj  
2.2.2 P 波反射与透射 20 6B>H75S+H  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 Tta+qjr  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 P[C03a!lXg  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 QOY M/1U  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 -pm^k-%v  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 4f> s2I&pQ  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 d/`Q,Vl  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 S`GM#(t@_  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 w.\#!@kZ!  
2.5.2 全透射 37 3L(vZ2&  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 XvspE}~y  
2.6 反射率和透射率 39 .\+%Q)?h:  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 &c1zEgl  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 ;?0r,0l2$  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 w@ =Uf7  
习题 44 tXnD>H YV  
参考文献 44 \)n'Ywr  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 xBi``x2eY  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 Qcr-|?5L  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 S?Z"){  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 )s4a<S c]  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 I<ta2<h  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 \4|o5,+(@  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 Rc k k  
3.4.1 一阶近似 62 ThSB\  
3.4.2 二阶近似 63 _ -/<bO  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 rfS kQT  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 x>=8~wIK  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 9n[ovX 7n!  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 H '(Ky  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 /NFcIU  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 2k$~Mv@L  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 s>^$: wzu  
习题 79 @-QDp`QtI  
参考文献 79 ;J3 (EB  
第4章 膜系设计图示法 81 oaJnLd90W  
4.1 矢量法 81 c/G]r|k  
4.2 导纳图解法 87 +Qe&#"O0  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 6:vdo~  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 ![*7HE>},  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 sAz]8(Fi0  
4.3 金属膜导纳圆图 97 @ "=wn:O+  
4.4 膜系层间电场分布 99 z(&~O;;N#  
习题 100 }\Mmp+<  
参考文献 101 v}AVIdR  
第二篇 光学等膜分类反应用 \6U$kMGde  
第5章 增透膜 102 S*-/#j  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 9c_h+XN?y  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 c={bunnz#  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 Mli`[8@(  
5.4 均匀介质增透膜 107 %>G(2)Fb\\  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 g$jZpU  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 %"0g}tK6  
5.5 非均匀介质增透膜 113 ~'9>jpnw  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 q|+`ihut  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 4D-4BxN*  
习题 118 rpu{YC1C%  
参考文献 118 M'4$z^@Z  
第6章 高反射膜 120 06#40-   
6.1 反射镜组合的反射率 120 ^1^mu c[  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 C`0;  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 6X@$xe847[  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 hh<Es|v  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 ]wQ#8}zO  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 eJ23$VM+9  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 _v9P0W^.7  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 igD,|YSK`z  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 XeT{y]lkd  
6.8 金属反射镜 134 Z/S7ei@56  
6.8.1 常用金属反射镜 134 \%FEQa0u  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 voHFU#Z$  
6.9 影响反射特性的因素 137 >$yqx1=jW  
6.10 高反射镜应用实例 143 n(MVm-H  
6.10.1 激光高反射镜 143 XPt<k&o1,  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 DJmT]Q]o)  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 `bdCom  
习题 146 Tl9;KE|  
参考文献 146 sX~ `Vn&  
第7章 带通滤光片 149 [*k25N  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 '!%Zf;Fjr  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 x(Us O}  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 2/c^3[ccR  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 W_E0+  
7.3.2 膜系透射定理 153 :6*FnKD  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 VHlN;6Qlff  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 RnX:T)+o  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 l?N|Gj;ZFZ  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 w<ol$2&B  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 \MA 4>  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 J}9 I5O  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 wewYlm5@  
7.5 超窄带带通滤光片 183 bH-QF\>  
7.6 宽带带通滤光片 185 #0WGSIht<  
7.7 带通滤光片的角特性 186 uP-I7l0i1  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 9f ^c9@=  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 Q3$AL@".  
习题 193  J(  
参考文献 193 i'$V'x'k  
第8章 截止滤光片 196 V u/{Hr  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 GYX/G>-r  
8.2 吸收型截止滤光片 197 V4PV@{G  
8.3 干涉型截止滤光片 198 _^2rRz  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 !`rR;5&sT  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 g.3a5#t  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 FSs<A@  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 t@`w}o[#  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 DRn]>IFU  
8.3.6 截止带的展宽 210 MrW#~S|ED  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 oM&}akPE  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 ^11y8[[  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 K|q5s]4I  
习题 221 R<J1bH1n3  
参考文献 221 ]>33sb S6  
第9章 带阻滤光片 223 F.s*^}L[  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 fr\"MP  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 LovVJ^TD0i  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 TJHab;7F  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 DcO$&)Eb  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 pQGlg[i2/  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 g9A8b(>F&@  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 29xm66  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 Pp*:rA"N  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 6%hr]>L  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 %yj z@  
习题 241 xp!M A  
参考文献 241 yh  
第10章 分光镜 243 m~[4eH,  
10.1 中性分光镜 243 /E/Z0<l7  
10.1.1 金属膜中性分光 244 ig Q,ZY1  
10.1.2 介质膜中性分光 245 3y[6n$U&  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 &%@b;)]J  
10.2 双色分光镜 249 ^/0c`JG!x  
10.3 偏振分光 254 4@iMGYR9!s  
10.3.1 偏振特性的描述 254 4O TuX!  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 <6 HrHw_  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 kq{PM-]l  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 %j.B/U$  
10.4 消偏振分光 262 m a!rZ n  
10.4.1 偏振分离的描述 263 A#yZh\#  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 H2ZRUFu  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 |XDbf3^6  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 Bb,l.w  
10.5 分光中的消色差问题 280 7s2 l3  
习题 281 <}\!FuC  
参考文献 282 0tL#-47  
第二篇 薄膜扶术基础 I%^Bl:M  
第11章 薄膜制备技术 283 6.!aJJLN  
11.1 真空技术简介 283 >@g+%K]  
11.1.1 真空的基本知识 283 ^\ N@qL  
11.1.2 真空的获得 284 eWN[EJI<  
11.1.3 真空的测量 286 u8w4e!rKo6  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ]^ e4coC  
11.2.1 蒸镀法 289 >@Nn_d  
11.2.2 溅射法 300 ~t>i+{J KE  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 !-cO 0c!  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 F}f/cG<X  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 ii3{HJ*C  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 agbG)t0  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 q =\3jd  
11.3.5 光化学气相沉积 310 ^$N}[1   
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ^&!S nM  
11.3.7 原子层沉积 312 ajy +%sXf=  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 4x2 ;@Pd  
11.4.1 化学镀 313 S'h{["P~ 0  
11.4.2 阳极氧化法 314 Vr<eU>W  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 T{USzMj  
11.4.4 电镀 315 kBRy(?Mft&  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 `kRv+Qwfa  
11.5 光刻蚀 316 69/br @j%`  
11.5.1 光刻工艺 316 Rk8oshS+2  
11.5.2 光刻胶 317 _^k9!V jo  
11.5.3 掩模 318 pV^(8!+  
11.5.4 曝光 318 R v/=bY  
11.5.5 刻蚀方法 318 ;8~tt I  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 ;Y^.SR"  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 x%Fy1.  
习题 323 r(VGdG  
参考文献 324 [X\<C '<  
第12章 光学薄膜检测技术 326 URo#0fV4C  
12.1 光谱分析技术基础 326 ~jpdDV&u\  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 f4 [Bj{F  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 J"$Y`;  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 6^+T_{gl  
12.2.1 透射率测量 333 ,ix>e  
12.2.2 反射率测量 334 3d>3f3D8;  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 ]\.3<^  
12.3.1 吸收测量 338 Ih;I&D+e;  
12.3.2 散射测量 342 #cAX9LV  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 (2l?~CaK  
12.4 光学薄膜常数测量 347 K:JM*4W  
12.4.1 光度法 348 h{Zd, 9H  
12.4.2 全反射衰减法 354 /SvB w>gQ  
12.4.3 椭圆偏振法 357 $Lc-}m9n  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 <y!(X"n`  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 2," (  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 <CIy|&J6  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 rHMr8,J;  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 Wu1">|  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 l2S1?*  
12.6.1 薄膜微结构 368 ,WKWin  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 /hC'-6:]^  
12.6.3 雕塑薄膜 372 ? kBX:(g  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 'ZXd |WI  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 Ltrw)H}  
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关键词: 薄膜光学
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