薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6909
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 ~@ jY[_  
&fa5laJb  
B~ S6R  
目录 Cqii}  
第一篇 薄膜元学基本理抢 eB> s=}|  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 ^O(=Vry  
1.1 麦克斯韦方程 1 uc7Eq45  
1.2 平面电磁波 6 u9+kLepOT  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 ZK;zm  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 SP*fv`  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 CI U1R;  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 [u}(57DS  
1.4 电磁波谱、光谱 10 ]?O2:X  
习题 12 ,GWNL m\5  
参考文献 12 "tFxhKf  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 xv{O^Ie+S  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 ML;*e"$  
2.1.1 S波反射与透射 14 uiq^|5Z  
2.1.2 P波反射与透射 16 g V5zSudW  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 -HSs^dP`  
2.2.1 S 波反射与透射 18 zDhB{3-Q1{  
2.2.2 P 波反射与透射 20 O,aS`u &  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 Z6\+  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 nJ4pTOc  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 (C4fG@n  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 \^I>Q _LU  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 X\EVTd)@  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 Y!iZW  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 STZPYeXE  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 Hbv6_H  
2.5.2 全透射 37 WJ<^E"^  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 `.s({/|[  
2.6 反射率和透射率 39 u:0aM}9A  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40  w 4[{2  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 .920{G?l5  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 2'=T[<nNB  
习题 44 Y0?5w0{  
参考文献 44 ][}0#'/mV  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 X7k.zlH7T  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 l Va &"   
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 U9b?i$  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 BIuK @$  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 bfo["  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 cw iX8e"3  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 )K &(  
3.4.1 一阶近似 62 McB[|PmC  
3.4.2 二阶近似 63 q, O$ %-70  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 :y7c k/>  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64  : ]C~gc  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 tcxcup%  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 4apL4E"r  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 jLg9H/w{  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 ]_N|L|]M  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 p]3?gK-  
习题 79 pz"0J_xDM  
参考文献 79 @)J+,tg/7  
第4章 膜系设计图示法 81 U&O: _>~  
4.1 矢量法 81 L3CP`cx  
4.2 导纳图解法 87 &b:1I 7Cp*  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 8OgLn?"P  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 '],J$ge  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 9a8cRt6knO  
4.3 金属膜导纳圆图 97 #%DE;  
4.4 膜系层间电场分布 99 x.-+[l[1 !  
习题 100 (o`{uj{!  
参考文献 101 ;*MLRXq  
第二篇 光学等膜分类反应用 AK@9?_D  
第5章 增透膜 102 oq}'}`lw"  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 | Bi!  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 &jmRA';sK  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 .V,@k7U,V  
5.4 均匀介质增透膜 107 gEjdN.  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 d3xmtG {i  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 J{Q|mD=  
5.5 非均匀介质增透膜 113 0Vx.nUQ  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 EN/,5<S<,[  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 `nu''B H  
习题 118 4<BjC[@~Z{  
参考文献 118 .SWlp2!M5  
第6章 高反射膜 120 <7~'; K  
6.1 反射镜组合的反射率 120 z4N*b"QF  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 >7 ="8  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 4t=G   
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 vam;4vyu  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 r]6C  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 ez| )ph7  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 vX.VfY  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 mHRiugb!  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 }~L.qG  
6.8 金属反射镜 134 x7Yu I  
6.8.1 常用金属反射镜 134 ,y#Kv|R  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 +L;e^#>d  
6.9 影响反射特性的因素 137 {z{bY\  
6.10 高反射镜应用实例 143 +{oG|r3L  
6.10.1 激光高反射镜 143 p>huRp^w  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 wfH^<jY)E  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 iUN Ib  
习题 146 " )1V]}+m  
参考文献 146 K|[*t~59  
第7章 带通滤光片 149 H:V2[y8\  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 JJN.ugT}1  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 %lGl,me H  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 @J/K-.r  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 1ukTA@Rj&  
7.3.2 膜系透射定理 153 H*PSR  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 WvY? +JXJ  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 {ttysQ-  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 SHfy".A6.0  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 =c\>(2D  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 Wi)_H$KII  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 nWw":K<@Q_  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 + R~'7*EI  
7.5 超窄带带通滤光片 183 ZbdZ rE$  
7.6 宽带带通滤光片 185 m+]K;}.}R  
7.7 带通滤光片的角特性 186 NXrJfp  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 3EPv"f^V  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 ?Lk)gO^C  
习题 193 a .k.n<  
参考文献 193 rC^WPW  
第8章 截止滤光片 196 s Z].8.  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 yPb"V  
8.2 吸收型截止滤光片 197 VY7[)  
8.3 干涉型截止滤光片 198 Yi.N&&o  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 Pd_U7&w,5  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 [1Qo#w1  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 inMA:x}cF1  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 fHx*e'eA  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 qm/22:&v5  
8.3.6 截止带的展宽 210 <h0?tv]  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 |ATvS2  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 EM(gmWHij  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 YJT&{jYi  
习题 221 Z 2V.3  
参考文献 221 2K/4Rf0;  
第9章 带阻滤光片 223 "#2a8#  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223  iu=7O  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 KJ)k =mJ  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 K0|FY=#2y  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 ymhtX6]  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 2} /aFR  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 0z6R'Kjy A  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 V^bwXr4f  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 ];[}:f  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 7x|9n  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 g}k`o!q  
习题 241 E Nh l&J  
参考文献 241 f@wquG'  
第10章 分光镜 243 B" 1c  
10.1 中性分光镜 243 JcsHt;  
10.1.1 金属膜中性分光 244 /T0F"e)Ci  
10.1.2 介质膜中性分光 245 61C7.EZZ;  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 l[0RgO*S  
10.2 双色分光镜 249 PR#exm&  
10.3 偏振分光 254 =(j1rW!  
10.3.1 偏振特性的描述 254 {HltvO%8  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 X!TpYUZ '  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 *K8$eDNZ  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 c_$=-Khk  
10.4 消偏振分光 262 l*Gvf_UH  
10.4.1 偏振分离的描述 263 $]/{[@5  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 +SR+gE\s0  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 uP)'FI  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 pZ.ecZe/  
10.5 分光中的消色差问题 280 > PRFWO  
习题 281 V1N3iI  
参考文献 282 2j [=\K]  
第二篇 薄膜扶术基础 Q%`@0#"]Sv  
第11章 薄膜制备技术 283 @e.C"@G  
11.1 真空技术简介 283 vtg !8u4  
11.1.1 真空的基本知识 283 w e//|fA<  
11.1.2 真空的获得 284 ^eY!U%.  
11.1.3 真空的测量 286 cKca;SNql1  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 SaO}e  
11.2.1 蒸镀法 289 V(I8=rVH  
11.2.2 溅射法 300 :'X&bn  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 y&$A+peJ1  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 :1QI8%L'$i  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 @1roe G  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 DN>[\hg  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 EHJ.T~X  
11.3.5 光化学气相沉积 310 :%=Xm   
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 Ko<:Z)PS  
11.3.7 原子层沉积 312  ,f%S'(>w  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 hn G Z=  
11.4.1 化学镀 313 z#wkiCRYm  
11.4.2 阳极氧化法 314 8b& /k8i:  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 5{X<y#vAC0  
11.4.4 电镀 315 lfow1WRF  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 y'.p&QH'`  
11.5 光刻蚀 316 Woy m/[i  
11.5.1 光刻工艺 316 PO: {t  
11.5.2 光刻胶 317 A:%`wX}  
11.5.3 掩模 318 03X1d-  
11.5.4 曝光 318 tCH!my_  
11.5.5 刻蚀方法 318 MAR'y8I  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 ~Fcm[eoC  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 $t[FH&c(  
习题 323 >1Ibc=}g  
参考文献 324 *~e?TfG  
第12章 光学薄膜检测技术 326 kS);xA8s]  
12.1 光谱分析技术基础 326 D;*SnU(9L  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 m=:9+z  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 0Th&iA4  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 Se}c[|8  
12.2.1 透射率测量 333 e#8Q L  
12.2.2 反射率测量 334 zR:L! S  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 ITI)soa~  
12.3.1 吸收测量 338 rglXs  
12.3.2 散射测量 342  =j]<t  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 %J?xRv!  
12.4 光学薄膜常数测量 347 r#p9x[f<Y  
12.4.1 光度法 348 1.GQau~  
12.4.2 全反射衰减法 354 )Nw8O{\  
12.4.3 椭圆偏振法 357 B~ GbF*j  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 g*_&  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 BX7kO0j  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 zwjgE6  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 E{`fF8]K  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 6%_nZvRv  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 !*N@ZL&X  
12.6.1 薄膜微结构 368 uo 8YP<q  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 hMO=#up&  
12.6.3 雕塑薄膜 372 :4/3q|cn  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 "<1{9  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 ^}o2  
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关键词: 薄膜光学
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