薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7251
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。  W;yg{y   
\3(s&K\Y6\  
~Gc@#Msj  
目录 o;9H~E  
第一篇 薄膜元学基本理抢 P\[K)N/1  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 902A,*qq  
1.1 麦克斯韦方程 1 Ts, U T L  
1.2 平面电磁波 6 VwBw!,%Ab  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 oT:w GBW  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 ?N+pWdi  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 'M?pg$ta_V  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 8DD1wK\U~  
1.4 电磁波谱、光谱 10 ?st}rJ_  
习题 12 =.J>'9Q  
参考文献 12 * XDe:A  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 mGwJ>'+d  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 +|oLS_  
2.1.1 S波反射与透射 14 [vBP,_Tjx  
2.1.2 P波反射与透射 16 V/\`:  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 -hF!_);{  
2.2.1 S 波反射与透射 18 Zq: }SU  
2.2.2 P 波反射与透射 20 zb~;<:<  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 CyVi{"aF3  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 @VND}{j  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 Z5wDf+  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 <vs*aFq  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 lZ"C~B}9:I  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 ,DW q  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 cjLA7I.O  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 "FE%k>aV@v  
2.5.2 全透射 37 LEg|R+ 6E  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 4 q % Gc  
2.6 反射率和透射率 39 :1UOT'_  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 >_\]c-~<  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 -)"\?+T  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 4;jAdWj3  
习题 44 I_Gm2 Dd  
参考文献 44 isnpSN"z  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 e v7A;;  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 g p9;I*!  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 E9.1~ )  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 PJKxh%J  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 (:+Wc^0  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 t1#f*G5  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 L]X Lv9J0  
3.4.1 一阶近似 62 s }^W2  
3.4.2 二阶近似 63 /byF:iYI  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 z`J-J*R>d  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 4/x.qoj  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 Py9:(fdS  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 $0M7P5]N*G  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 @71y:)W<  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 <qoPBm])  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 #Guwbg  
习题 79 ]VN1Y)  
参考文献 79 $reQdN=~  
第4章 膜系设计图示法 81 TYxi &;w  
4.1 矢量法 81 s BuXw a  
4.2 导纳图解法 87 hz2f7g  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 v`jFWq8I,  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 A~a7/N6s;  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 p|r>tBv?x  
4.3 金属膜导纳圆图 97 JS >"j d#  
4.4 膜系层间电场分布 99 M7gqoJM'Q  
习题 100 CS xB)-  
参考文献 101 b Sg]FBaW  
第二篇 光学等膜分类反应用 YL4yT`*  
第5章 增透膜 102 ;[,#VtD  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 eYg0 NEq{  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 gi/W3q3c6  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 ]V"B`ip[2  
5.4 均匀介质增透膜 107 \7(OFT\u:  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 JkNRXC:  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 ^X*l&R_=R  
5.5 非均匀介质增透膜 113 i?F~]8  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 2$ \#BG  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 wD<W'K   
习题 118 ;p( Doy)i  
参考文献 118 i+Xb3+R  
第6章 高反射膜 120 aXD|XE%  
6.1 反射镜组合的反射率 120 g+k yvI7o  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 HxShNU  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 y(r(q  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 LC/%AbM  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 )]JQlm:H  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 .!1E7\  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 ^s/f.#'  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 hTAZGV(  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 3_Re>i  
6.8 金属反射镜 134 e({-. ra  
6.8.1 常用金属反射镜 134 eG5xJA^  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 n6GB2<y  
6.9 影响反射特性的因素 137 v$|cF'yyF=  
6.10 高反射镜应用实例 143 5bprhq-7  
6.10.1 激光高反射镜 143 X4v0>c  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 u,Cf4H*xS  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 14Jkr)N  
习题 146 s !HOrhV  
参考文献 146 (DKQHL;  
第7章 带通滤光片 149 #Ic-?2Gn4<  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 ^pvnUODW[  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 4{=^J2z  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 ]A:G>K  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 }xy[ &-dh  
7.3.2 膜系透射定理 153 WS ^%< h#  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 =&?BPhJE  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 G+Zm  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 )m(?U  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 H*EN199  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 +zsB~Vz  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 <#:ey^q<  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 DqBiBH[%h  
7.5 超窄带带通滤光片 183 Q2xzux~T  
7.6 宽带带通滤光片 185 6t`cY  
7.7 带通滤光片的角特性 186 hdH}4W  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 H}}C>p"!,  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 A]s|"Pav,  
习题 193 WQYw@M~4Q!  
参考文献 193 m2PI^?|e  
第8章 截止滤光片 196 N/N~>7f  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 4#w Z#}  
8.2 吸收型截止滤光片 197  i(n BXV{  
8.3 干涉型截止滤光片 198 @7,k0H9Moa  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 |jTRIMj%,_  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 rIWQD%Afm  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 :^992]EBEj  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 R"qxT.P(  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 /gq VXDY+`  
8.3.6 截止带的展宽 210 J0 x)NnWJ  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 3g5 n>8-  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 3etW4  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 9g`o+U{  
习题 221 nK9?|@S*'  
参考文献 221 5X,|Pn  
第9章 带阻滤光片 223 Ex$i8fO(  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 aqN6.t  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 WBY_%RTx  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 EHX/XM  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 YS+|n%?  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 Fhk`qh'i  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 ~-o[v-\  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 0}I aWd^4  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 8(""ui 8  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 [,/~*L;7  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 bGe@yXId5  
习题 241 xv>]e <":  
参考文献 241 N)^` 15w  
第10章 分光镜 243 'yR)z\)  
10.1 中性分光镜 243 Ud'/ 9:P  
10.1.1 金属膜中性分光 244 )lrmP(C*.a  
10.1.2 介质膜中性分光 245  &'<e9  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 LF\HmKM,  
10.2 双色分光镜 249 \*5${[  
10.3 偏振分光 254 E8] kd  
10.3.1 偏振特性的描述 254 ;dZuO[4\  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 0;2"X [e  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 4Bz:n  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 z6;6 o!ej  
10.4 消偏振分光 262 ~l"]J'jF"H  
10.4.1 偏振分离的描述 263 b,uu dtlH  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 jPa"|9A  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 |!E: [UH  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 _mc-CZ  
10.5 分光中的消色差问题 280 + Un(VTD  
习题 281 3  G_0DS  
参考文献 282 aGq1 YOD[$  
第二篇 薄膜扶术基础 r6gfxW5  
第11章 薄膜制备技术 283 /Xk-xg+U  
11.1 真空技术简介 283 ZfP$6%;_  
11.1.1 真空的基本知识 283 6tF_u D  
11.1.2 真空的获得 284 X_aC$_b  
11.1.3 真空的测量 286 U;#9^<^  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 S^T ><C  
11.2.1 蒸镀法 289 K2 6`wt  
11.2.2 溅射法 300 8(ej]9RObU  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 iR]K!j2  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 ~kFL[Asnaf  
11.3.2 常压化学气相沉积 308  jH>`:  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ]+A%3 7  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 FS^~e-A  
11.3.5 光化学气相沉积 310 3>QkO.b  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ???`BF[|  
11.3.7 原子层沉积 312 cB=ExD.Q  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 Lz{z~xNHW.  
11.4.1 化学镀 313 g0ks[ }f-  
11.4.2 阳极氧化法 314 mLm?yb:  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 K*S3{s%UR  
11.4.4 电镀 315 .C,D;T{  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 g+A>Bl3#  
11.5 光刻蚀 316 N>xdX5  
11.5.1 光刻工艺 316 75^AO>gt   
11.5.2 光刻胶 317 6|n3e,&A2  
11.5.3 掩模 318 z"P/Geb:O  
11.5.4 曝光 318  D9h  
11.5.5 刻蚀方法 318 5.d[C/pRw  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 ,0a\Ka {^  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 s>*xAIx  
习题 323 7>lM^ :A  
参考文献 324 JIPBJ  
第12章 光学薄膜检测技术 326 f~ wgMp.W0  
12.1 光谱分析技术基础 326 gVNoC-n)  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 c{ ([U  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 -nXlW  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 2F :8=_sA  
12.2.1 透射率测量 333 "S H=|5+  
12.2.2 反射率测量 334 Y'C1L4d  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 8qL.L(=\/  
12.3.1 吸收测量 338 iD*L<9  
12.3.2 散射测量 342 VwOcWKD  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 h:RP/ 0E  
12.4 光学薄膜常数测量 347 sGa}Cf;H@g  
12.4.1 光度法 348 ]f_`w81[  
12.4.2 全反射衰减法 354 R.!.7dO  
12.4.3 椭圆偏振法 357 LXqPNVp#  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 Y>6N2&Q  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 !<24Cy  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 X|-[i hp;  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 ;y_]w6|n  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 Zm0'p!  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 dci<Rz`h  
12.6.1 薄膜微结构 368 b~qH/A}h  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 " T9UedZ  
12.6.3 雕塑薄膜 372 w2db=9  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 >, [@SF%  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 Ol~M BQs  
$<AaeyR!N  
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关键词: 薄膜光学
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