薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6923
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 In!^+j  
ba ,n/yH  
7M5H vG#w%  
目录 Gi$\th,  
第一篇 薄膜元学基本理抢 US-f<Wq  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 0JR)-*  
1.1 麦克斯韦方程 1 '.S02=/  
1.2 平面电磁波 6 Qm"~XP  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 ,pf\g[tz  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 Dvl\o;  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 RF4B ]Gqd  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 ;b=7m#5  
1.4 电磁波谱、光谱 10 HJpx,NU'  
习题 12 w-v8 P`V  
参考文献 12 k*F9&-rtN  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 !,5qAGi0  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 '}(Fj2P79  
2.1.1 S波反射与透射 14 ~ Hj c?*  
2.1.2 P波反射与透射 16 JnnxXj30,  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 l ^}5PHLd  
2.2.1 S 波反射与透射 18 r~fnK%|  
2.2.2 P 波反射与透射 20 O~ x{p,s U  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 w Bm4~ ~_  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 ~YviXSW  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 EBQ_c@  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 ! /|B4Yv  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 v{*2F  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 }v_|N"@  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 dpt P(H  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 r( wtuD23q  
2.5.2 全透射 37 l-h[I>TW  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 Bqk+ne  
2.6 反射率和透射率 39 gQY`qz  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 29|nt1Z  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 5N ;xo??  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 q9InO]s&~=  
习题 44 Ip8:~Fl]  
参考文献 44 p_apVm\t_  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 Nr]guC?rE  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 HyYJ"54  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 `(O#$n  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 H&k&mRi  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 aSHN*tP%y  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 R /_vJHI  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 w&]$!g4  
3.4.1 一阶近似 62 JV/:QV  
3.4.2 二阶近似 63 5C*- v,hF  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 .6bo  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 JZ-64OT  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 N"~P$B1 X  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 ^d(gC%+!u  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 Bw[IW[(~!  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 XZ8]se"C  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 I_`NjJ;61  
习题 79 jgkY^l  
参考文献 79 X"HVK+  
第4章 膜系设计图示法 81 { W5 _KX  
4.1 矢量法 81 |&bucG=  
4.2 导纳图解法 87 4)L};B=  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 ;vpq0t`  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 "uyr@u0b  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 a/%qn-i|p  
4.3 金属膜导纳圆图 97 evVxzU&  
4.4 膜系层间电场分布 99 rO/Sj<0^  
习题 100 G2|G}#E  
参考文献 101 ^ b=;  
第二篇 光学等膜分类反应用 %y)hYLOJ  
第5章 增透膜 102 1h)K3cC  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 #AO}JP  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 $"0`2C  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 wg:\$_Og  
5.4 均匀介质增透膜 107 Un5 AStG  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 ,t'"3<^Jg  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 eV;nTj  
5.5 非均匀介质增透膜 113 r.=.,R  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 %?S[{ 4A&  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 u:wijkx  
习题 118 .I^Y[_.G  
参考文献 118 7.kH="@  
第6章 高反射膜 120 BcQw-<veu  
6.1 反射镜组合的反射率 120 p}X *HJq$  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 L,,*8  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 7WmY:g#s  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 rQTG-& ,  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 lfR}cx  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 Pt6d5EIG  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 eqWs(`  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 @TzUc E  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 /}CAd  
6.8 金属反射镜 134 s)sT\crP@  
6.8.1 常用金属反射镜 134 [V5,1dmkI  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 '3E25BsL  
6.9 影响反射特性的因素 137 $lUz!m jG  
6.10 高反射镜应用实例 143 0AhUH| ]  
6.10.1 激光高反射镜 143 X|R"8cJ  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 OE}c$!@  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 Kc>Rd  
习题 146 rDc$#  
参考文献 146 lg^Lk\Y+re  
第7章 带通滤光片 149 cf%2A1I2W  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 `bd9N !K  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 MOuEsm;  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 4#ifm#  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 )|Ka'\xr  
7.3.2 膜系透射定理 153 .9<euPrz  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 /<o?T{z<-  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 ,z+n@sUR:  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 1{qG?1<zZ6  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 m*KI'~#$%  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 &nY#G HB  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 +.*=Fn22  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 fA), ^  
7.5 超窄带带通滤光片 183 &.Yu%=}  
7.6 宽带带通滤光片 185 e8z?) 4T  
7.7 带通滤光片的角特性 186 (!Fu5m=<8  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 A[:(#iR5-E  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 Ir5E*op7D  
习题 193 l o- 42)  
参考文献 193 _0Y?(}  
第8章 截止滤光片 196 wV4MP1c$  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 5/HkhT yj  
8.2 吸收型截止滤光片 197 81)i>]  
8.3 干涉型截止滤光片 198 un)PW&~E  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 t^~itlE{  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 J@ 8OU  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 R~RE21kAc  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 F$O$Y[  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 >#Bu [nD%  
8.3.6 截止带的展宽 210  D28>e  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 +.xK`_[M  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 =n8M'  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 o9OCgP`Y  
习题 221 c/Li,9cT'  
参考文献 221 (/!zHq  
第9章 带阻滤光片 223 iD>H{1 h  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 0J;Qpi!u2v  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 GB)< 5I  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 'GLpSWL+*  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 gMU%.%p2  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 ZRFHs>0  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 6E_YUk?KW  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 "Sw raq  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 vxrqUjK7  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 X*hPE=2` p  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 z<9Llew^e  
习题 241 -Q%Pg<Q-#  
参考文献 241 o ethO  
第10章 分光镜 243 g)IW9q2  
10.1 中性分光镜 243 8<=sUO  
10.1.1 金属膜中性分光 244 JX#0<U|L  
10.1.2 介质膜中性分光 245 Qp>Z&LvC5  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 ylQ9Su>o  
10.2 双色分光镜 249 FRayB VHL  
10.3 偏振分光 254 S{,|Fa^PPO  
10.3.1 偏振特性的描述 254 9A9T'g)Du  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 Nc?'},  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 1*trtb4F  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 w`gT]Rn  
10.4 消偏振分光 262 @\a~5CLN  
10.4.1 偏振分离的描述 263 nt%p@e!,  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 *dsI>4%m  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 "h8fTB\7S\  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 & +yo PF  
10.5 分光中的消色差问题 280 |ZOdfr4uW  
习题 281 Au:R]7   
参考文献 282 ^S!;snhn  
第二篇 薄膜扶术基础 aF>&X-2  
第11章 薄膜制备技术 283 F#.ph?W  
11.1 真空技术简介 283 8uA!Vrp3  
11.1.1 真空的基本知识 283 T*'WS!z  
11.1.2 真空的获得 284 g~76c.u-  
11.1.3 真空的测量 286 4`") aM  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 <*o V-A  
11.2.1 蒸镀法 289 -TS,~`O  
11.2.2 溅射法 300 z :u)@>6D1  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 J :KU~`r  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 h,,B"vPS  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 "|V}[ 2  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 K \.tR  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 f85~[3 J  
11.3.5 光化学气相沉积 310 eDvh3Y<D  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 p+y"r4   
11.3.7 原子层沉积 312 aP B4!3W  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 #er% q:  
11.4.1 化学镀 313 UKPr[  
11.4.2 阳极氧化法 314 n+nZ;GJ5d  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 {.J<^V  
11.4.4 电镀 315 v7%}ey[  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 #L57d  
11.5 光刻蚀 316 Q8$;##hzt  
11.5.1 光刻工艺 316 %Hhk 6tR,  
11.5.2 光刻胶 317 -"?~By}<C  
11.5.3 掩模 318 W{~ y< `D  
11.5.4 曝光 318 c:<a"$  
11.5.5 刻蚀方法 318 _'*(-K5&  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 }{Ra5-PY  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 aX Ie  
习题 323 ?TI]0)  
参考文献 324 Tr;.O?@{t}  
第12章 光学薄膜检测技术 326 B![:fiR`  
12.1 光谱分析技术基础 326 6?[SlPPE1  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 7nP{a"4_  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 e>bARK<  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 'pB?  
12.2.1 透射率测量 333 X8A.ag0Uu  
12.2.2 反射率测量 334 O- LwX >  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 E[4 vUnm-  
12.3.1 吸收测量 338 1aUg({  
12.3.2 散射测量 342 fzvyR2 I  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 w\{#nrhYU  
12.4 光学薄膜常数测量 347 XL'\$f  
12.4.1 光度法 348 (]PH2<3t  
12.4.2 全反射衰减法 354 #zBqj;p  
12.4.3 椭圆偏振法 357 D0z[h(m  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 ^YB2E*  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 5fYWuc9}z  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 q- 0q:  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 ~$hR:I1  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 $: |`DCC  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 >y(loMl  
12.6.1 薄膜微结构 368 tmoaa!yRnT  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 %s^1de  
12.6.3 雕塑薄膜 372 bbDm6,  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 oJ`=ob4WDo  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 ^7Z;=]8J  
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关键词: 薄膜光学
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