薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7162
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 DgcS@N  
glCpA$;VPu  
U - OD  
目录 l4i 51S"  
第一篇 薄膜元学基本理抢 !;8Y?c-D  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 s9"X.-!  
1.1 麦克斯韦方程 1 }Fu1Y@M%  
1.2 平面电磁波 6 R.WB.FP  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 |Q)mBvvN  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 6M&ajl`o  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 9d|8c > I  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 %dnpO|L  
1.4 电磁波谱、光谱 10 ]QR]#[Tn'  
习题 12 `},:dDHI  
参考文献 12 {1Cnrjw  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 *~ IHVU  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 VD&wO'U  
2.1.1 S波反射与透射 14 )/DN>rU  
2.1.2 P波反射与透射 16 jj2=|)w$3  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 &iw,||#  
2.2.1 S 波反射与透射 18 Wjq9f;  
2.2.2 P 波反射与透射 20 J \|~k2~  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 p5E okh  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 Hy :x.'i  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 _Jg#T~  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 QyL]-zNg  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 7.VP7;jys  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 8K 9HFT@yV  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 kM4z %  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 'Up75eT  
2.5.2 全透射 37 ]T/%Bau  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 XdDQ$'*X  
2.6 反射率和透射率 39 Zs/-/C|  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 N[O .p]8  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 PTe$dPB  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 p/_W*0/i  
习题 44 Pq<43:*?  
参考文献 44 *A!M0TK?i,  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 Gi-pi=#&cs  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 M:OZWYQ  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 @F(er  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 gQik>gFr  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 t)8c rX}P  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55  !{V`N|0  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 `f}ZAX  
3.4.1 一阶近似 62 bj0HAgY@  
3.4.2 二阶近似 63 [V_mF  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 }N -UlL(  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 0_je@p+$  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 9$v\D3<Z  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 }Y.@:v j  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 VB  |k  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 2u_=i$xW  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 W:n\,P  
习题 79 n%;qIKnIq\  
参考文献 79 *g}==o`  
第4章 膜系设计图示法 81 b?0WA.[{  
4.1 矢量法 81 _Q^jk0K8ga  
4.2 导纳图解法 87 i: -IZL\  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 $#e}9g.  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 ;(,GS@sP  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 o"RE4s\G~r  
4.3 金属膜导纳圆图 97 oIOeX1$V  
4.4 膜系层间电场分布 99 6flO;d/v  
习题 100 O<!^^7/h0  
参考文献 101 kKbbsB  
第二篇 光学等膜分类反应用 ~7}no}7  
第5章 增透膜 102 QP<P,Bi~  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 .Sw4{m[g  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 k(>J?\iNW  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 3<FqK\P  
5.4 均匀介质增透膜 107 /Tl ybSC1  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107  ]igCV  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 sdXchVC  
5.5 非均匀介质增透膜 113 ^+~$eg&js  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 W{ozZuo  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 ~O./A-l  
习题 118 jc6~V$3  
参考文献 118 |'i ?o  
第6章 高反射膜 120 ocW`sE?EED  
6.1 反射镜组合的反射率 120 '%Oo1:wJ  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 L}8 }Pns?&  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 Q!~1Xc0S`p  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122  H!y@.W{_  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 \2@9k`  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 ;ACeY  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 ?b^<Tny  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 _jkJw2+s\  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 .*FlB>1jy  
6.8 金属反射镜 134 cP/(h  
6.8.1 常用金属反射镜 134 g+.E=Ef8<4  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 *qMjoP,  
6.9 影响反射特性的因素 137 qy\SOA h  
6.10 高反射镜应用实例 143 Rx%kAt2X  
6.10.1 激光高反射镜 143 N9)ERW2`*  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 QIN# \  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 jAt6 5a  
习题 146 K1<l/ s  
参考文献 146 z9#jXC#OdN  
第7章 带通滤光片 149 DML0paOm5  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 |@-y+vbA*  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 NVC$8imip  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 jT QN(a9Y  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 b[;3y/X  
7.3.2 膜系透射定理 153 &E k\  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 ^eYJ7&t  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 r:^`005  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 hW c M.  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 =(k0^ #++G  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 >W8PLo+i  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 )./'RE+(k  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 &P8Q|A-u  
7.5 超窄带带通滤光片 183 J _|>rfW  
7.6 宽带带通滤光片 185 qn\>(&  
7.7 带通滤光片的角特性 186 IZ4jFgpR  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 M[T!AO-S$  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 9>@"W-  
习题 193 Sag\wKV8  
参考文献 193 h"nv[0!)  
第8章 截止滤光片 196 QaEXk5>e  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 1hp@.Fv  
8.2 吸收型截止滤光片 197 !C0= h  
8.3 干涉型截止滤光片 198 m7mC 7x  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 F{<r IR  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 ~RE`@/wQ]  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 R ?\8SdJ  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 *KV] MdS  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 |y=D^NTG  
8.3.6 截止带的展宽 210 8|Y^z_C  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 ma* 9O |v^  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 {k~$\J?.  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 veE8 N~0N.  
习题 221 tv|=`~Y  
参考文献 221 PwNLJj+%  
第9章 带阻滤光片 223 9k"nx ,"  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 (/Y gcT  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 `0 F"zu  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 |s`q+ U-  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 RMrt4:-DI  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 pV-.r-P  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 ;j_#,Da9<  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 'Ph;:EMj  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 X:g5>is|  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 B'0Il"g'  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 n2O7n @8  
习题 241 Em.?  
参考文献 241 cE]kI,Fw,M  
第10章 分光镜 243 (c*Dvpo1  
10.1 中性分光镜 243 E0h!%/+-L  
10.1.1 金属膜中性分光 244 XAFTLNV>  
10.1.2 介质膜中性分光 245 XKK*RVs#  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 ^e 6(#SqR  
10.2 双色分光镜 249 #5I "M WA  
10.3 偏振分光 254 n*xNMw1x"T  
10.3.1 偏振特性的描述 254 5Q'R5]?h  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 lJ,s}l7  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 |Z/ySAFM  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 -T(V6&'Qi  
10.4 消偏振分光 262 gR>#LM&dG  
10.4.1 偏振分离的描述 263 @<sP1`1  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 V7v,)a" L  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 Bms?`7}N  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 \%VoX` B  
10.5 分光中的消色差问题 280 Y{'G2)e  
习题 281 Kj>_XaFCg!  
参考文献 282 3G&1. 8  
第二篇 薄膜扶术基础 \ a<Ye T  
第11章 薄膜制备技术 283 LMDa68 s  
11.1 真空技术简介 283 Q'Tn+}B&  
11.1.1 真空的基本知识 283 ZqGq%8\.s  
11.1.2 真空的获得 284 `'QPe42  
11.1.3 真空的测量 286  t|DYz#]  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 0&-sz=L  
11.2.1 蒸镀法 289 j)5Vv K\  
11.2.2 溅射法 300 lqs_7HhvRS  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 *]=)mM#  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 mnia>; 0H  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 g<-cHF  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 uQNoIy J)  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 tpctz~ .  
11.3.5 光化学气相沉积 310 <.2Z{;z  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 J.d `tiN  
11.3.7 原子层沉积 312 `F@yZ4L3S  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 lb('r"*.  
11.4.1 化学镀 313 }1P  
11.4.2 阳极氧化法 314 I R&u55#I6  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 XDGZqkt  
11.4.4 电镀 315 3WY W])  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 @mazwr{B  
11.5 光刻蚀 316 ( FRf.mv{  
11.5.1 光刻工艺 316 cG'Wh@  
11.5.2 光刻胶 317 {%Y7]*D  
11.5.3 掩模 318 V_QVLW  
11.5.4 曝光 318 \4[Ta,;t  
11.5.5 刻蚀方法 318 hdB[H8Q  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 v> 5F[0gE  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 2 ^aTW`>L  
习题 323 one>vi`=  
参考文献 324 Y(f-e,  
第12章 光学薄膜检测技术 326 >vU Hf`4T  
12.1 光谱分析技术基础 326 IY&a!  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 ,d+mT^jN  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 ,L;vN6~  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 _<7FR:oBZ  
12.2.1 透射率测量 333 DPOPRi~  
12.2.2 反射率测量 334 v=>Gvl3&U  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 As`^Ku&  
12.3.1 吸收测量 338 K36B9<F  
12.3.2 散射测量 342 (Wqhuw!u  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 u"jnEKN0y  
12.4 光学薄膜常数测量 347 K;PpS*!  
12.4.1 光度法 348 Q/9b'^UJ  
12.4.2 全反射衰减法 354 a5M>1&j/eC  
12.4.3 椭圆偏振法 357 Q:\hh=^  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 EiUV?Gvz  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 %-Z~f~<?  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 \t@`]QzG:  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 %"zJsYQ!  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 d#Ajb  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 Ah6x2(:  
12.6.1 薄膜微结构 368 }TW=eu~  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 M jTKM;  
12.6.3 雕塑薄膜 372 ,GIqRT4K  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 &?6w 2[}  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 j+hoj2(  
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关键词: 薄膜光学
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