薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:7201
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 k5BXirB  
MmoR~~*  
=t0tK}Y+4  
目录 y-aRXF=W  
第一篇 薄膜元学基本理抢 %5'6Tj  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 +Wn&,?3^  
1.1 麦克斯韦方程 1 'S4)?Z  
1.2 平面电磁波 6 &%=D \YzG  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 |`O5Xs1{B  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 hvV_xD8|  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 4vZ4/#(x  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 ;O#g"8  
1.4 电磁波谱、光谱 10 |`rJJFA  
习题 12 /Ft:ffR|R  
参考文献 12 .K8w8X/3  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 S/A1RUt  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 n{5NNV6  
2.1.1 S波反射与透射 14 :py\ |  
2.1.2 P波反射与透射 16 IVvtX}  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 s|yVAt|=  
2.2.1 S 波反射与透射 18 wTq{sW&  
2.2.2 P 波反射与透射 20 8F5|EpB9M  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 Rd&9E  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 pHE}ytcT  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 n%%7KTqu  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30  ht97s  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 K >tf,  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 IzLF'F  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 - xm{&0e)  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 X JGB)3QI  
2.5.2 全透射 37 XVVD 0^ Q  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 {=:#S+^ER  
2.6 反射率和透射率 39 wD \ZOn_J  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 j f~wBm d7  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 3\$wdUFr  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 -%c<IX>z9  
习题 44 7N8H)X  
参考文献 44 q ?j|K|%   
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 "?}uQ5f  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 5N7H{vT_  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 Qt>>$3]!!  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 |+,[``d>"  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 n`7f"'/:  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 `8_z!)  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 E)N<lh  
3.4.1 一阶近似 62 Q+q,!w8  
3.4.2 二阶近似 63 kyw/LE3$-  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 s Kicn5  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 U Z_'><++  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 AasZuO_I  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 1QqHF$S  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 W !}{$  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 f2I6!_C!+  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 "hz\Z0zg2  
习题 79 %b2oiKSBx?  
参考文献 79 k0z&v <  
第4章 膜系设计图示法 81 RD,5AShP  
4.1 矢量法 81 VaONd0Z I  
4.2 导纳图解法 87 @p=AWi}\  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 ;QCrHqRT`  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 }YhtUWz].  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 w(d>HHg  
4.3 金属膜导纳圆图 97 cu!W4Ub<  
4.4 膜系层间电场分布 99 ,FzeOSy'p  
习题 100  cgu~  
参考文献 101 7Cqcb>\X  
第二篇 光学等膜分类反应用 vV?rpe|%  
第5章 增透膜 102 8|?LN8rp  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 uGN^!NG-0  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 ./6<r OW  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 ^L4Qbc(vJ  
5.4 均匀介质增透膜 107 K0pac6]  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 PCrU<J 7  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 |]=2 }%1w  
5.5 非均匀介质增透膜 113 3riw1r;Q  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 z&8un% Jt  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 MxQ?Sb%Gka  
习题 118 J8a*s`ik  
参考文献 118 FyoEQ%.bI  
第6章 高反射膜 120 qml2XJ>  
6.1 反射镜组合的反射率 120 a&{X!:X  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 "t=hzn"~%  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 U5HKRO  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 \!50UVzm)  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 hg@}@Wq\)  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 ,B}I?vN.  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 zLw{ {|  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 Q;Wj?8}  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 &)F*@C-  
6.8 金属反射镜 134 2aA`f7  
6.8.1 常用金属反射镜 134 lfsqC};#\  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 YZ$ZcfXDW  
6.9 影响反射特性的因素 137 rZPT89M6  
6.10 高反射镜应用实例 143 DaHZ{T8>d  
6.10.1 激光高反射镜 143 -D^A:}$  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 8e~|.wOL  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 h&3YGCl  
习题 146 o\otgyoh  
参考文献 146 W=B"Q qL  
第7章 带通滤光片 149 2?C`4AR[2H  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 gwd (N  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 f;SC{2f  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 ;^Sr"v6r>u  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 VQI(Vp|  
7.3.2 膜系透射定理 153 {%v-(  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 k^ F@X  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 \'CN  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 3ss6_xd+  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 ^I6^g  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 pg+[y<B  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 l&YKD,H};  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 I:V0Xxz5t  
7.5 超窄带带通滤光片 183 1{Mcs%W;w5  
7.6 宽带带通滤光片 185 )\;Z4x;]U  
7.7 带通滤光片的角特性 186 BElJB&I  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 /%aiEhL  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 5m:i6,4  
习题 193 gnp~OVDqfL  
参考文献 193 <mMTD8Sx]  
第8章 截止滤光片 196 %Pqk63QF  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 s#Jh -+lM  
8.2 吸收型截止滤光片 197 w6dFb6~R  
8.3 干涉型截止滤光片 198 -F"Q EL#  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 yV3^Qtb!  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 w=h1pwY  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 (}r|yE  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 PfS:AI y  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 p,pR!qC>  
8.3.6 截止带的展宽 210 ;Yfv!\^|  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 qjAWeS/  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 _sE#)@p  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218  O|A_PyW  
习题 221 kc'pN&]r:  
参考文献 221 LWsP ya  
第9章 带阻滤光片 223 _{vkX<s  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 %S` v!*2  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 "TV(H+1,z  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 *{undZ?(>  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 }ZSQ>8a  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 -5>-%13  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 V~ ~=Qp+.  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 m]_FQWfet  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 \? j E#^  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 X1[CX&Am  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 .I VlEG0  
习题 241 5 )2:stT73  
参考文献 241 +#b:d=v!  
第10章 分光镜 243 dLsn\m>  
10.1 中性分光镜 243 (\"k&O{  
10.1.1 金属膜中性分光 244 FEPXuCb  
10.1.2 介质膜中性分光 245 fW`&'!  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 JxLf?ad.  
10.2 双色分光镜 249 yq_LW>|Z  
10.3 偏振分光 254 D47R  
10.3.1 偏振特性的描述 254 fl Jp4-nx  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 {Y}dv`G#Iu  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 wi8Yl1p]!z  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 =Cv/Y%DN  
10.4 消偏振分光 262 ri C[lB  
10.4.1 偏振分离的描述 263 q1y/x@  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 $qF0ltUQ  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 biozZ  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 Z=4{Vv*  
10.5 分光中的消色差问题 280 vvB(r!  
习题 281 &bgvy'p  
参考文献 282 ODc9r }  
第二篇 薄膜扶术基础 2M)]!lYy  
第11章 薄膜制备技术 283 >vrxP8_  
11.1 真空技术简介 283 <]C$xp<2  
11.1.1 真空的基本知识 283 k"k J_(  
11.1.2 真空的获得 284 )CI1;  
11.1.3 真空的测量 286 o ]Jv;Iy@?  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 |8%m.fY`  
11.2.1 蒸镀法 289 VN4yn| f/  
11.2.2 溅射法 300 L.xZ_ 6  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 o }Tz"bN  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 H7+X&#s%  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 7z\m; 1  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 RWgDD;&_[a  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 &X9Z W$C  
11.3.5 光化学气相沉积 310 c/L>>t  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 dk QaM@  
11.3.7 原子层沉积 312 ES<1tG  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 ,=(Z00#(  
11.4.1 化学镀 313 CV$],BM  
11.4.2 阳极氧化法 314 j4FeSGa  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 -K(fh#<6KO  
11.4.4 电镀 315 *?QE2&S:  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 lcON+j  
11.5 光刻蚀 316 : "6q,W  
11.5.1 光刻工艺 316 $d+DDm1o  
11.5.2 光刻胶 317 E'1+Yq  
11.5.3 掩模 318 -Z4{;I[Q@  
11.5.4 曝光 318 /wQL  
11.5.5 刻蚀方法 318 @L84>3O  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 $=sXAK9   
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 ;E~4)^  
习题 323 NRnRMY-  
参考文献 324 rdJm{<  
第12章 光学薄膜检测技术 326 zJa)*N  
12.1 光谱分析技术基础 326 [LT^sb  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 nmlPX7!{$  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 |eoid?=  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 STfyCtS  
12.2.1 透射率测量 333 qP!eJ6[Nh"  
12.2.2 反射率测量 334 qZ@0]"h  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 yTE%hHH]&[  
12.3.1 吸收测量 338 3>zN/ f  
12.3.2 散射测量 342 wI M{pK  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 RO\gax  
12.4 光学薄膜常数测量 347 O^LTD#}$a)  
12.4.1 光度法 348 DPe]daF  
12.4.2 全反射衰减法 354 AJt!!crs  
12.4.3 椭圆偏振法 357 ^\ ?O4,L  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 B bhfG64  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 HLQ"?OFlz  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 Ap&)6g   
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 IWVlrGyM  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 B;Nl~Y|\  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 L~{_!Q  
12.6.1 薄膜微结构 368 ci,+Bjc  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 ArLvz5WV  
12.6.3 雕塑薄膜 372 ||2Q~*:  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 rh2LGuo4m  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 MB);!qy  
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关键词: 薄膜光学
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