薄膜光学与薄膜技术基础(曹建章 著)

发布:cyqdesign 2019-06-04 10:01 阅读:6904
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 j<99FW"@e  
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WwBOM~/`2  
目录 j@U]'5EVB  
第一篇 薄膜元学基本理抢 ]7F=u!/`<C  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 2~1SQ.Q<RY  
1.1 麦克斯韦方程 1 JPc+rfF  
1.2 平面电磁波 6 k"T}2 7  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 rq/yD,I,  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 :bu/^mW[  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 7{)G_?Q&  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 ?GoR^p #p  
1.4 电磁波谱、光谱 10 U9:zVy  
习题 12 g1/[eoZzk  
参考文献 12 vv3* j&I  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 h-#6av :  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 dGYn4i2k?  
2.1.1 S波反射与透射 14 :0j?oY~e  
2.1.2 P波反射与透射 16 z0p*Z&  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 jk; clwyz/  
2.2.1 S 波反射与透射 18 x=hiQ>BIO0  
2.2.2 P 波反射与透射 20 i&Tbz!  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 |+FubYf?$  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 M=.n7RY-  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 [LjT*bi  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 +j`5F3@  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 av}k)ZT_  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 \ =?a/  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 cz#rb*b  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 '8RsN-w  
2.5.2 全透射 37 UqFO|r"M  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 "/*\1v9  
2.6 反射率和透射率 39 UUYSFa %  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 axv>6k  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 n/;WxnnQ  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 t9kzw*U9  
习题 44 W7R<%?  
参考文献 44 k$z_:X  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 (Ft+uuG  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 Ga-k  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 F 5bj=mI  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 ~rE|%o  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 l[mWf  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 M)J5;^["  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 DbBcQ%  
3.4.1 一阶近似 62 'NXN& {  
3.4.2 二阶近似 63 v}}F,c(f  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 n Mq,F#`3N  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 Sxt"B  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66  acajHs  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 Ex Y]Sdx  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 GfxZ'VIn  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 9|^2",V  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 >a!/QMh  
习题 79 Z, zWuE3  
参考文献 79 u:6Ic)7'  
第4章 膜系设计图示法 81 |sJ[0z  
4.1 矢量法 81 qTRsZz@  
4.2 导纳图解法 87 er("wtM  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 d\&U*=  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 GvtG(u~  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 YFLZ%(  
4.3 金属膜导纳圆图 97 SB;&GHq"n  
4.4 膜系层间电场分布 99 pz!Zs."f)  
习题 100 &&5aM  
参考文献 101 m4[;(1  
第二篇 光学等膜分类反应用 vONasD9At  
第5章 增透膜 102 @N>\|!1CC  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 uanhr)Ys  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 !hA-_  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 & TCkpS  
5.4 均匀介质增透膜 107 1jmjg~W  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 =J]&c?I  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 GL>O4S<`  
5.5 非均匀介质增透膜 113 WA<v9#m  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 %8RrRW  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 fbyd"(V 8r  
习题 118 \0^Kram>  
参考文献 118 b <tNk]7  
第6章 高反射膜 120 /7(W?xOe  
6.1 反射镜组合的反射率 120 NJ%P/\ C  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 KaLzg5is  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 k%]3vRo<  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 f$o_e90mu  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 SpIv#?  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 |QF7 uV  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 &pxg. 3  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 W- $Z(Z XL  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 E'f{i:O "~  
6.8 金属反射镜 134 Ij7p' a  
6.8.1 常用金属反射镜 134 *[Imn\hu  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 0G(/Wb"/  
6.9 影响反射特性的因素 137 PF0_8,@U  
6.10 高反射镜应用实例 143 [CTnXb  
6.10.1 激光高反射镜 143 F;Spi  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 T )&A2q  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 =bAx,,D#  
习题 146 v1#otrf  
参考文献 146 VnSCz" ?3  
第7章 带通滤光片 149 s2a{>II6  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 j}#w )M  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 ,=uD^n:  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 "6("9"  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 SjK  
7.3.2 膜系透射定理 153 8:q1~`?5"b  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 %6t:(z  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 xEa\f[.An  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164  > ^O7  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 Q*GN`07@?d  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 '"52uZ{  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 qRu~$K  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 RV1coC.g4x  
7.5 超窄带带通滤光片 183 B4ZBq%Z_  
7.6 宽带带通滤光片 185 xPdG*OcX!  
7.7 带通滤光片的角特性 186 i[i4h"$0  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 }czrj%6  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 XjBW9a  
习题 193  C;v.S5x  
参考文献 193 &L3M]  
第8章 截止滤光片 196 a1+oj7  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 AI2~Jp  
8.2 吸收型截止滤光片 197 IM*y|UHt  
8.3 干涉型截止滤光片 198 D=TvYe  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 2bz2KB5>  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 V(}:=eK  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 z,RhYm  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 OU E (I3_  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 )Dm s  
8.3.6 截止带的展宽 210 ]43/`FX  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 {.`vs;U  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 Od,=mO*.Q  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 rD tY[  
习题 221 SV4E0c>  
参考文献 221 ` #0:gEo  
第9章 带阻滤光片 223 `&qL(66  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 -au^;CM  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 eNh39er  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 bt SRtf  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 'I|v[G$l  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 _r#Z}HK  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 _!#@@O0p/h  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 'JtBZFq  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 #Bze,?@  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 3F"lXguS  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 e v}S+!|U  
习题 241 'B$yo]  
参考文献 241 |*Yr<zt  
第10章 分光镜 243 A.F%Ycq  
10.1 中性分光镜 243 ?JbilK}a  
10.1.1 金属膜中性分光 244 `b&%Hm  
10.1.2 介质膜中性分光 245 3=#<X-);  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 PxX 4[ P  
10.2 双色分光镜 249 2F;y;l%  
10.3 偏振分光 254 q~Hn -5H4Q  
10.3.1 偏振特性的描述 254 .D~;u-%|F  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 z9f-.72"X  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 ~i= _J3'  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 R>|{N9  
10.4 消偏振分光 262 >fG3K`  
10.4.1 偏振分离的描述 263 UsG~row:!  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 @ )F)S 7  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 KRbvj  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 !vi> U|rh  
10.5 分光中的消色差问题 280 `?H]h"{7Q  
习题 281 +.8 \p5  
参考文献 282 te`$%NRl  
第二篇 薄膜扶术基础 $GV7o{"&  
第11章 薄膜制备技术 283 zC:ASt  
11.1 真空技术简介 283 %fZJRu 1b  
11.1.1 真空的基本知识 283 Y>z>11yEB0  
11.1.2 真空的获得 284 r+!YI k  
11.1.3 真空的测量 286 wVXS%4|v  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 &A/]pi-\  
11.2.1 蒸镀法 289 8LJ8 }%*  
11.2.2 溅射法 300 *tFHM &a  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 ?5__oT  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 @&!ZZ 1V8  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 Eh`7X=Z7E  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 =[ 46`-_  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 ~hH REI&  
11.3.5 光化学气相沉积 310 KM0ru  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 j3oV+zZ49  
11.3.7 原子层沉积 312 OdbEq?3S/?  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 ~G p [_ %K  
11.4.1 化学镀 313 RU{twL.B  
11.4.2 阳极氧化法 314 $p8xEcQdU#  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 ;a!S!% .h  
11.4.4 电镀 315 e ,'_xV  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 G5_=H,Vmd  
11.5 光刻蚀 316 @s>Czm5  
11.5.1 光刻工艺 316 ;>hO+Wo  
11.5.2 光刻胶 317 ldcqe$7,  
11.5.3 掩模 318 YDsb3X<0'  
11.5.4 曝光 318 ^6x%*/l|  
11.5.5 刻蚀方法 318 PQt")[  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 uCvj!  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 ?,Xw[pR  
习题 323 o|^3J{3G  
参考文献 324 BZ#(   
第12章 光学薄膜检测技术 326 +480 l}  
12.1 光谱分析技术基础 326 f`(UQJ  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 "^[ 'y7i  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 P:S.~Jq  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 Po;W'7"Po`  
12.2.1 透射率测量 333 5~U/   
12.2.2 反射率测量 334 Kn{4;Xk\  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 SR hiQ  
12.3.1 吸收测量 338 h&iC;yj=  
12.3.2 散射测量 342 Ny7S  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 "{+QW  
12.4 光学薄膜常数测量 347 s[*rzoA  
12.4.1 光度法 348 0o4XUW   
12.4.2 全反射衰减法 354 !,uE]gwLw  
12.4.3 椭圆偏振法 357 2qNt,;DQ  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 ;d$rdFA_  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 EWt[z.`T1  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 rKc9b<Ir  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 bj^5yX;2  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 \K{ z  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 0auYG><=  
12.6.1 薄膜微结构 368 =BeygT^  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 zk+9'r`-D  
12.6.3 雕塑薄膜 372 ,ng Cv;s  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 }#+^{P3;  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 e"cXun4nS=  
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关键词: 薄膜光学
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