摘要
yp.\KLq8) 当用近轴光
照明时,亚
波长光栅仅产生一个
衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光
透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以
模拟这样的
成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。
(!^; ar^ MH=;[ | N 5
Yf
T yPhTCr5pK 1. 建模任务
'k?*?XxG M5>cYVG u?+i5=N9{ ae`6hW2 2. 结果
'#p2v'A %an&lcoX c1L0#L/F6" eod-N}o 6o!Y^^/U iR(jCD?) Y 3.
文件和技术信息
!w}cKm ytg' {) U#=5HzE <W<>=vDzyE (来源:讯技光电)