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    [原创]从零开始设计的微光刻透镜:SYNOPSYS 光学设计软件 [复制链接]

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    离线optics1210
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-01-24

    你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。

    镜片数22片

    物高31mm

    物方数值孔径NA 0.2

    波长为UV

    像方晶圆尺寸是12.66mm

    总长小于1200mm

    这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。

    首先,我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下:

          Here is the input for DSEARCH:

          CORE 14 TIME

          DSEARCH 2 QUIET

          SYSTEM

          ID DSEARCH LEFT UNI MM

          OBA 15 31 3 31

          OSNA .2 TCO

          WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC

          END

          GOALS ELEM 11

          TOTL 600 .1

          TOPD .01

          NPASS 50

          QUICK 20 50

          ANNEAL 50 10 Q

          SNAP 10

          RSTART 1000

          ASTART 25

          THSTART 12

          FOV 0 .5 .707 1

          FWT 1 1 1 1 END

          SPECIAL PANT

          CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55

          FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67

          CUL 1.6

          FUL 1.6 END

          SPECIAL AANT ADT 7 .01 1

          M 0 .1 A SAP

          M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END

          GO TIME

    返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。

    使用命令为:

         SAVE LEFT11.

         SAVE LEFT11.

    现在激活ACON 2,我们使用DSEARCH来设计右半边的镜片组,输入命令如下:

          CORE 14 TIME

          DSEARCH 3 QUIET

          SYSTEM

          ID DSEARCH RIGHT UNI MM

          OBB 0 4 83.36

          WAVL .354732 .354712 .354692 END

          GOALS ELEM 11

          TOTL 600 .01

          FNUM 1

          BACK 11 SET

          TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50

          QUICK 20 50

          ANNEAL 50 10 Q

          SNAP 10

          RSTART 1000

          ASTART 25

          THSTART 12

          FOV 0 .5 .707 1

          FWT 1 1 1 1 END

          SPECIAL PANT

          CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55

          FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67

          CUL 1.6

          FUL 1.6 END

          SPECIAL AANT ADT 7 .01 1

          M 0 1 A P HH 1

          M 0 10 A P YA 1 S GIHT

          M 0 10 A DI3 END

          GO TIME

    结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:

          SAVE RIGHT11.

          SAVE RIGHT11.

    现在把这两部分合并起来。再次激活ACON 1,并输入:

          COMBINE 23

          RIGHT11

    现在它们被合并成了一个镜头。

    现在它们被合并成了一个镜头。

    现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏,修改TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。

    我们有了一个非常好的微光刻镜头。

    很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。

    [ 此帖被optics1210在2019-01-25 00:51重新编辑 ]
     
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    离线asdoptics
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-02-28
    学习学习!
    离线铩羽lv
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-04-21
    学习一下
    离线oxfocean
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    只看该作者 3楼 发表于: 01-16
    CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55   中的-6.57 为负值,啥意思?