[讨论]镀膜设备验收有没有验收标准？ [复制链接]

镀膜设备验收有没有验收标准？一般均匀性和重复性在什么范围？

连续做三罩，镀膜伞上从中心到边缘取7～13个点，每个点都不能超过范围。 k
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这个范围就取你们一般最难做的产品。 
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另外连续三罩不能发生离子源，电子枪，光控，晶控，机械动作（坩埚盘、镀膜伞、挡板、修正板卡）的报警。 4^O'K;$leD  
一般也就这样了，严格一点的可以看六罩。

忘了说了，还要做一次单层分布实验。 `n!<h,S'2  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 \;>idbV  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层，
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然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 g2<xr;<t^  
否则要重做修正板。 zF[>K4  
当然也有设备因为稳定性问题怎么做都做不好的，这种设备建议不要购买。 #'-L`])7uw  
以后修的时间比用的时间还多。 ? h$>7|  

赞成楼上的讲解，按照楼上的来，没问题。

学习了。

学习了。

学习了

二楼说得是重点，可以借鉴。

ouyuu:忘了说了，还要做一次单层分布实验。 9rtcI[&?0  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 gec<5Ewg  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， |Z$heYP:w  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 s*:J=+D]G  
否则要重做修正板。 x9~d_>'A  
....... (2018-11-13 13:23)  d> `9!)  

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学习了...

这个对于新入门的有用