[讨论]镀膜设备验收有没有验收标准？ [复制链接]

镀膜设备验收有没有验收标准？一般均匀性和重复性在什么范围？

连续做三罩，镀膜伞上从中心到边缘取7～13个点，每个点都不能超过范围。 =WT&unw}
 
这个范围就取你们一般最难做的产品。 #/_{(P  
另外连续三罩不能发生离子源，电子枪，光控，晶控，机械动作（坩埚盘、镀膜伞、挡板、修正板卡）的报警。 CFC15/yU  
一般也就这样了，严格一点的可以看六罩。

忘了说了，还要做一次单层分布实验。 da<>a  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 !c`&L_ "!  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， zOd*>  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 ? X6M8`  
否则要重做修正板。 VCfHm"'E8  
当然也有设备因为稳定性问题怎么做都做不好的，这种设备建议不要购买。 yts@cd`$  
以后修的时间比用的时间还多。 KLvAe
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赞成楼上的讲解，按照楼上的来，没问题。

学习了。

学习了。

学习了

二楼说得是重点，可以借鉴。

ouyuu:忘了说了，还要做一次单层分布实验。 C|V7ZL>W  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 XOvJlaY)'.  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， qYC&0`:H  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 7%y$^B7{  
否则要重做修正板。 J].Oxch&y  
....... (2018-11-13 13:23)  +>"s)R43  

gQ_<;'m)2  
学习了...

这个对于新入门的有用