[讨论]镀膜设备验收有没有验收标准？ [复制链接]

镀膜设备验收有没有验收标准？一般均匀性和重复性在什么范围？

连续做三罩，镀膜伞上从中心到边缘取7～13个点，每个点都不能超过范围。 o/9 V1"  
这个范围就取你们一般最难做的产品。 Z*kg= hs^  
另外连续三罩不能发生离子源，电子枪，光控，晶控，机械动作（坩埚盘、镀膜伞、挡板、修正板卡）的报警。 bBg?x 4bu  
一般也就这样了，严格一点的可以看六罩。

忘了说了，还要做一次单层分布实验。 y"P$:l  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 N?R1;|Z]  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， ?p6+?\H  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 nCYicB  
否则要重做修正板。 %tmK6cY4Y  
当然也有设备因为稳定性问题怎么做都做不好的，这种设备建议不要购买。 PcJ,Y\"[  
以后修的时间比用的时间还多。 C8aYg  

赞成楼上的讲解，按照楼上的来，没问题。

学习了。

学习了。

学习了

二楼说得是重点，可以借鉴。

ouyuu:忘了说了，还要做一次单层分布实验。 n*{e0,gp`  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 C
>4y<,Q  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， -r_z,h|  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 ~^w;`~L  
否则要重做修正板。 S%R:GZEf_  
....... (2018-11-13 13:23)  )PVX)2P_C  

 # G0jMQ  
学习了...

这个对于新入门的有用