[讨论]镀膜设备验收有没有验收标准？ [复制链接]

镀膜设备验收有没有验收标准？一般均匀性和重复性在什么范围？

连续做三罩，镀膜伞上从中心到边缘取7～13个点，每个点都不能超过范围。 MJ?t{=  
这个范围就取你们一般最难做的产品。 RIXeV*ix  
另外连续三罩不能发生离子源，电子枪，光控，晶控，机械动作（坩埚盘、镀膜伞、挡板、修正板卡）的报警。 P4_B.5rrJ  
一般也就这样了，严格一点的可以看六罩。

忘了说了，还要做一次单层分布实验。 o [V8h@K)  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 :qbU@)p*  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， TY %zw6 #p  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 b7\>=  
否则要重做修正板。 57{T p:|  
当然也有设备因为稳定性问题怎么做都做不好的，这种设备建议不要购买。 !;*flr`/  
以后修的时间比用的时间还多。 /fb}]e]N  

赞成楼上的讲解，按照楼上的来，没问题。

学习了。

学习了。

学习了

二楼说得是重点，可以借鉴。

ouyuu:忘了说了，还要做一次单层分布实验。 hC"'cUrcN  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 2>X yrG  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， ygja{W.  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 T&/n.-@nk  
否则要重做修正板。  #9
}1Lo>  
....... (2018-11-13 13:23)  0sw;h.VY  

khR[8j..  
学习了...

这个对于新入门的有用