[讨论]镀膜设备验收有没有验收标准？ [复制链接]

镀膜设备验收有没有验收标准？一般均匀性和重复性在什么范围？

连续做三罩，镀膜伞上从中心到边缘取7～13个点，每个点都不能超过范围。 Bh`IXu  
这个范围就取你们一般最难做的产品。 T{S4|G1R6  
另外连续三罩不能发生离子源，电子枪，光控，晶控，机械动作（坩埚盘、镀膜伞、挡板、修正板卡）的报警。 d#T?Q_3b  
一般也就这样了，严格一点的可以看六罩。

忘了说了，还要做一次单层分布实验。 S;}qLjT  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 :t2B^})\  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， xv0M  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 .5g}rxO8  
否则要重做修正板。 *]{=8zc2  
当然也有设备因为稳定性问题怎么做都做不好的，这种设备建议不要购买。 RG?MRxC  
以后修的时间比用的时间还多。 s)tpr
 

赞成楼上的讲解，按照楼上的来，没问题。

学习了。

学习了。

学习了

二楼说得是重点，可以借鉴。

ouyuu:忘了说了，还要做一次单层分布实验。 H'D#s;SlR  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 .Dc28F~t  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， l#p}
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然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 }z8{B
3K  
否则要重做修正板。 `3]Rg0g&Xe  
....... (2018-11-13 13:23)  }FHw" {my  

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学习了...

这个对于新入门的有用