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    [讨论]镀膜设备验收有没有验收标准？ [复制链接]

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    离线淡小疼
    助理工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-11-13
    关键词： 镀膜标准
    镀膜设备验收有没有验收标准？一般均匀性和重复性在什么范围？
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-11-13
    连续做三罩，镀膜伞上从中心到边缘取7～13个点，每个点都不能超过范围。 D,J's(wd  
    这个范围就取你们一般最难做的产品。 %T 88K}?=  
    另外连续三罩不能发生离子源，电子枪，光控，晶控，机械动作（坩埚盘、镀膜伞、挡板、修正板卡）的报警。 :FK(*BUh  
    一般也就这样了，严格一点的可以看六罩。
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    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-11-13
    忘了说了，还要做一次单层分布实验。 >bmL;)mc&  
    每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 FzW(An&x2  
    就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， y\ouIsI77  
    然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 sYeZ.MacU  
    否则要重做修正板。 f^nogw<z!  
    当然也有设备因为稳定性问题怎么做都做不好的，这种设备建议不要购买。 :^px1  
    以后修的时间比用的时间还多。 FCOSgEU  
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