切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 11038阅读
    • 21回复

    [讨论]膜厚仪tooling问题 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线morningtech
    发帖
    251
    光币
    262
    光券
    0
    只看该作者 10楼 发表于: 2018-10-18
    这容易绕人
    离线ouyuu
    发帖
    542
    光币
    3303
    光券
    1
    只看该作者 11楼 发表于: 2018-10-18
    膜厚仪直接监控的是水晶片的震荡频率。 s kC*  
    水晶膜厚是根据你设定的材料参数算出来的。 Sm(X/P=z  
    TOOLING只是参数的一种,用来折算到你实际片子上的膜厚。 (8qD'(@  
    另外各种材料的密度PID参数其实也是不同的。 R#gt~]x6k  
    如果实在搞不懂把TOOLING设为1,实际膜厚自己折算就是。
    离线morningtech
    发帖
    251
    光币
    262
    光券
    0
    只看该作者 12楼 发表于: 2018-10-20
    Tooling是镀膜入门中比较简单的一个问题,设成100%是种方法,有其好处。但不很建议这么做,因为这样会把膜系改的面目全非;换一个膜系时,也要把这个系数乘进每一层。 "2} {lu  
    f$#--*  
    =v^LShD2^  
    '-C%?*ku  
    离线ouyuu
    发帖
    542
    光币
    3303
    光券
    1
    只看该作者 13楼 发表于: 2018-10-20
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:Tooling是镀膜入门中比较简单的一个问题,设成100%是种方法,有其好处。但不很建议这么做,因为这样会把膜系改的面目全非;换一个膜系时,也要把这个系数乘进每一层。
    (2018-10-20 18:20) Vo1,{"k  
    )w.+( v(  
    你说的其实是通用性问题。即使是通用性不好的设备, )y~FeKh  
    设备如果设定了各自的TOOLING,膜系也可以设备间互相拷。 RLy2d'DS  
    否则就需要根据每台设备进行换算,这容易出错。 "&$ [@c  
    <jt_<p +  
    但实际上如果设备通用性好(比如修正板可以各台通用) 9E`WZo^.  
    直接互相拷也没啥问题的。
    离线尔雅
    发帖
    36
    光币
    57
    光券
    0
    只看该作者 14楼 发表于: 2018-11-28
    回 cugzqq 的帖子
    cugzqq:问题是:晶振 频率变化与质量增加之间是存在公式,根据每秒频率的变化确认厚度的变化, 晶控读数不变,频率变化也是不变化的,更改tooling是改变了膜厚仪什么地方使得实际厚度变了?[表情] (2018-10-17 14:02)  v3*y43  
    i]cD{hv  
    你这个理解不对。 bHKTCPf  
    没你想那么复杂,膜厚仪,晶振片如何工作和这个没什么直接关系。 ;c/|LXc\  
    2\4ammwT  
    具体为:你镀制膜层厚度的数据来源于你测试点的厚度测试,假设为A点(晶振片的位置),而你产品不可能也放在A点,而放在B点。而因为各种原因,A、B两处同样时间内沉积的数量是不一致的。而你的目的是让B处的厚度和你设计一致,但监控的是A处。这样就出现了一个比例关系。你无需介意说明书或者是教程上的谁比谁的问题,只要想明白如何通过A监控B使得B处和设计相同就可以了。
    发帖
    252
    光币
    81
    光券
    0
    只看该作者 15楼 发表于: 2019-01-09
    自古楼上有真理
    离线king4587
    发帖
    16
    光币
    121
    光券
    0
    只看该作者 16楼 发表于: 2022-04-14
    学习一下,增涨知识
    离线comebackz
    发帖
    63
    光币
    39
    光券
    0
    只看该作者 17楼 发表于: 2022-08-01
    \v _R]0m\  
    tooling 就是实际镀膜基片厚度与光学监控片的厚度之比。镀膜机的光学监控是间接监控,通过实时测量监控片的反射/透射的变化,来间接监控镀膜基片的膜厚。旋转夹具调整均匀性后,基片沉积速率一般与监控片不同(一般是监控片较后),因此将设计好的膜系参数转化为镀膜程序参数时各层厚度均须乘以tooling。tooling可在调试均匀性时测出,数值大小与设备型号,修正板大小有关。相同的机器对与不同的镀膜材tooling数值不一样,但通常相差很小,可以忽略。
    在线谭健
    发帖
    6324
    光币
    21565
    光券
    0
    只看该作者 18楼 发表于: 2022-08-01
    路过看看
    离线dede
    发帖
    505
    光币
    17
    光券
    0
    只看该作者 19楼 发表于: 2022-09-05
    学习了,全是高手