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    [分享]浸没式光刻投影物镜光学薄膜 [复制链接]

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    离线gangzi0801
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-16
    摘要:深紫外光刻是目前集成电路制造的主流方法,为实现更小的元件特征尺寸,必须采用浸没式投影物镜以提高光学系统的分辨率,由此向其中的薄膜光学元件提出了众多苛刻的要求。本文的讨论由此展开:介绍了适用于浸没式光刻系统的薄膜材料及膜系设计,以及高NA光学系统所需的大角度保偏膜系;物镜中最关键的元件为浸液元件,对浸液薄膜的液体环境适应性及疏水、防污染等关键问题进行了讨论;激光辐照寿命是衡量浸没式光刻系统性能的重要因素,对镀膜元件的激光辐照性能,尤其是浸液环境下的元件辐照寿命进行了分析。     dz>Jl},`k  
    关键词 : 浸没式光刻,  光学薄膜,  膜系设计,  环境适应性,  激光辐照寿命  
    附件: 浸没式光刻投影物镜光学薄膜.rar (1908 K) 下载次数:11 ,售价:2光币[记录]
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    cyqdesign 光币 +10 - 10-16
     
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    离线wzlfpz
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    只看该作者 1楼 发表于: 11-05
    一直都想学习这个领域的知识
    在线淡小疼
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    只看该作者 2楼 发表于: 11-05
    挺好的
    离线ouyuu
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    只看该作者 3楼 发表于: 11-06
    浸液这个是台湾人提出来的概念,其实在研发上, ~b!la  
    创意无限的中国人比循规蹈矩的日本人要更有办法。
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