离子源可以装门上,也可以装腔体里。 ^DAu5 |--R
装腔体里的话,加上双电子枪,阻蒸,各个挡板就太拥挤了。 J"CJYuGW,
而且如果是ENDHOLL源的话,其磁铁也会影响电子枪的偏转。 'Pd(\$ZY
一般直径1.3m以内的腔体最好是装门上。 77,oPLSn
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离子源为了照射均匀,中心轴一般会对准镀膜伞偏外周, #I0pYA2m
一般安装时都会有角度,大型腔体上使用小型离子源时, R[Fn0fnLx
为了将离子源尽量靠外(使得角度可以调更大,照射面更大)通常装在门上。