离子源可以装门上,也可以装腔体里。 {8W'%\!=
装腔体里的话,加上双电子枪,阻蒸,各个挡板就太拥挤了。 k%WTJbuG<)
而且如果是ENDHOLL源的话,其磁铁也会影响电子枪的偏转。 Pd_U7&w,5
一般直径1.3m以内的腔体最好是装门上。 L 0TFo_
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离子源为了照射均匀,中心轴一般会对准镀膜伞偏外周, 8;JWK3Gv
一般安装时都会有角度,大型腔体上使用小型离子源时, n{argI8wF
为了将离子源尽量靠外(使得角度可以调更大,照射面更大)通常装在门上。