UID:292141
ouyuu:新柯隆的一些实验设备上,已经不用水晶片控制蒸发速率了。 95~bM;TVr 直接用光控来控制……但是某些时段的稳定性还是不如晶控。 3{|~'5* (2018-08-07 22:27) WwTl|wgvyI
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morningtech:光控从原理上是可以算出沉积速率的,我测试过也正在努力。 \.i ejB 蒸发机,光控控制沉积速率,暂时不会满意的。 ~=c5q 有的镀膜机器是把晶控装在机箱里,没有放在外面。 hy;V~J# (2018-08-08 12:13) QnBWZUI
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ouyuu:SHOWA用的是不是是ULVAC的水晶仪?ULVAC的有些水晶仪存在软件问题。 \v=@' 不稳定的问题其实最麻烦,因为是时好时坏,很难找到源头。 Yc6.v8a 有可能是干扰,也有可能是接触,这个只能靠经验来判断。....... (2018-08-04 00:07) ~;]zEq-hG
rexchou:其實我們有找過他們原廠(日本人)來找問題過,但好像也是無法解決問題我們公司現在的做法是 6個水晶 裡面只有兩個是穩定的....... (2018-08-11 11:00) %*Mr ^=