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    [求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

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    离线ff13326
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-05-16
    想询问有经验的维修人员 &;Go CU Le  
    1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? dPgA~~  
    +s [_ 4  
    2.要如何预防镍电击氧化 ? QEx&AT  
    Tilr%D(Q  
    謝謝 ypfjF@OT  
     
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    离线lishuyu18
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-02-13
    通过射频磁场的,没有缺口,无法启辉 ^1--7#H  
    镍氧化应该还好解决,但溅射打到陶瓷杯上短路缺口,就影响中和器工作
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-02-26
    镍的熔点很低的,最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 Ax!fvcsN  
    现在随着离子源能量的提高,原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 gti=GmL(L  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 wKz*)C  
    H{Na'_sL  
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发? r1$x}I#Zv  
    防止氧化的话只有提高氩气纯度,增加镀膜后的冷却时间。 F0Z cV>j}  
    防止阴极蒸发的话,就必须用原厂陶瓷。 } x'o`GuUf  
    副厂陶瓷绝缘性不好,电流损耗大,会造成过热。
    离线gaofei555
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    只看该作者 3楼 发表于: 2024-08-09
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:镍的熔点很低的,最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 SkA"MhX  
    现在随着离子源能量的提高,原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 &Lgi  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发? GEi^3UD  
    ....... (2020-02-26 21:07)  )F35WP~  
    (*YENT}  
    学到了
    离线浮世清欢
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    只看该作者 4楼 发表于: 2024-08-18
    多谢分享~~~赞