[求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

想询问有经验的维修人员 |"q5sym8Y_  
1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? u74[>^  
h]5(].  
2.要如何预防镍电击氧化 ? JMCKcZ%N  
|MTnH/|  
謝謝 )rIwqUgp6\  

通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 d"
1]4.c  
镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作

镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 Df-DRi  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 AG nxYV"p  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 JJ-( Sl  
Bpo4?nCl}  
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ V;VHv=9`o  
防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。 98c(<  
防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。 ]"As1"  
副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。

ouyuu:镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 ^ig' bw+WS  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 .o^l z 9:  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ ibk6|pp  
....... (2020-02-26 21:07)  13=AW  

*I.f1lz%*  
学到了

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