[求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

想询问有经验的维修人员 Q1@V?`rkS{  
1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? xo_Es?  
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2.要如何预防镍电击氧化 ? 7J2i /m  
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謝謝 $PNIuC?=  

通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 ';!02=-@  
镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作

镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 0Q5ua`U  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 !g~xn2m$R  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 `7|v  
KyAQzN9  
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ ZUMzWK5Th  
防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。 L+s,,k  
防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。 X Jy]d/  
副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。

ouyuu:镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 N%:QaCZKw  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 9=~"^dp54%  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ 5R/!e`(m  
....... (2020-02-26 21:07)  .T/\5_Bx  

F%t`dz!L  
学到了

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