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    [求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

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    离线ff13326
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-05-16
    想询问有经验的维修人员 (J*w./  
    1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? |nEV Oy>'  
    mbBRuPEa=u  
    2.要如何预防镍电击氧化 ? |"yf@^kdC  
    eU koVr   
    謝謝 {% _j~  
     
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    离线lishuyu18
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-02-13
    通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 sJb)HQ,7x  
    镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-02-26
    镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 3u*hT T  
    现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 ( f,J_  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 zq;DIWPIoJ  
    ole|J  
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ d;~ 3P  
    防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。 @ EmGexLPM  
    防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。 ZCQ< %f  
    副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。
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