[求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

想询问有经验的维修人员 sqj8c)6  
1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? &tHT6,Xv(  
~*THL0]~  
2.要如何预防镍电击氧化 ? ) dwPD  
GkaIqBS  
謝謝 li%=<?%T  

通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 k]ptk^  
镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作

镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 %* vYX0W"  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 9 qqy(H  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 @X\Sh>H  
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你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ ^['%wA%  
防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。 S2;{)"mS  
防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。 V.:a6>]  
副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。

ouyuu:镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 B5  C]4  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 3wX{U8mr
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不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ !jU<(eY  
....... (2020-02-26 21:07)  Z?ZcQ[eC  

U#Wc!QN-t  
学到了

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