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    [求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

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    离线ff13326
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-05-16
    想询问有经验的维修人员 #-;W|ib%z  
    1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? y{hg4|\  
    8D )nM|  
    2.要如何预防镍电击氧化 ? $CEdJ+0z  
    bXnUz?1!d  
    謝謝 \s*M5oN]]  
     
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    离线lishuyu18
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-02-13
    通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 w{W+WJ  
    镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-02-26
    镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 Km(i}:6"  
    现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 _aFe9+y  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 r W`7<3  
    S&!(h {O  
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ k9x[( #  
    防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。 0zH-g  
    防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。  =1Sny7G  
    副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。
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    离线gaofei555
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    只看该作者 3楼 发表于: 2024-08-09
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 lI?P_2AaS  
    现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 x4* bhiu  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ ]6e(-v!U  
    ....... (2020-02-26 21:07)  5_;-Qw  
    6M >@DRZ'|  
    学到了
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    离线浮世清欢
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2024-08-18
    多谢分享~~~赞
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