[求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

想询问有经验的维修人员 ]~H\X":[>  
1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? p2Fff4nQ   
S"wn0B$"  
2.要如何预防镍电击氧化 ? eub2[,  
R<GnPN:c  
謝謝 uO,9h0y0W  

通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 HpX ;:
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镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作

镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 x]=s/+Y  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 +%%Ef]  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 ipThwp9  
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你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ X*^^W_LH.  
防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。 i
6Kcj  
防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。 WX9ABh&5  
副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。

ouyuu:镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 cR*5iqA   
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 :< d.  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ w!j'k|b>  
....... (2020-02-26 21:07)  Tx19\\r  

2YbI."ob  
学到了

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