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    [求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

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    离线ff13326
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-05-16
    想询问有经验的维修人员 {gxP_>  
    1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? FV{XPr%   
    ]0g p.R  
    2.要如何预防镍电击氧化 ? ;#^ o5ht  
    FF;Fo}no-  
    謝謝 _h 6c[*  
     
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    离线lishuyu18
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-02-13
    通过射频磁场的,没有缺口,无法启辉 lPrAx0m13%  
    镍氧化应该还好解决,但溅射打到陶瓷杯上短路缺口,就影响中和器工作
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-02-26
    镍的熔点很低的,最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 qJ .XI   
    现在随着离子源能量的提高,原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 x 0K#-  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 g1:%986jv  
    jfVw{\l  
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发? RS#C4NG  
    防止氧化的话只有提高氩气纯度,增加镀膜后的冷却时间。 t/3HX]B_  
    防止阴极蒸发的话,就必须用原厂陶瓷。 nwzyL`kF  
    副厂陶瓷绝缘性不好,电流损耗大,会造成过热。
    离线gaofei555
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    只看该作者 3楼 发表于: 2024-08-09
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:镍的熔点很低的,最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 uu"hu||0_  
    现在随着离子源能量的提高,原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 P=L@!F+s  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发? nR wf;K  
    ....... (2020-02-26 21:07)  O{Mn\M6  
    bI_MF/r''  
    学到了
    离线浮世清欢
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    只看该作者 4楼 发表于: 2024-08-18
    多谢分享~~~赞