摘要 3 1KMn JV(eHuw VirtualLab可用于分析任意
光栅类型。斜光栅在复杂
光学系统中已经可以实现,并且其重要性在提高。斜光栅通过特殊光学介质实现,以此定义其一般性的几何
结构。而且,几个高级规格选项可用,例如,添加一个完整和部分涂层。这个案例解释了配置的可用选项,并且讨论了其对光栅结构的影响。
4>>{}c!nf HxAq& J;xu
[&t3xC, 3 8pw 介质目录中的斜光栅介质 Htl6Mr*{ 2\l7=9 ]\3
G& cm5 J}EQ_FC"$ 内置斜光栅介质可以在VirtualLab的嵌入的介质目录中找到。
(7`goi7M 可用于设置复杂光学光栅结构(所谓的堆栈)和傅里叶模式法(FMM)分析。
][S<M24]Q K`* 8*k{ 斜光栅介质的编辑对话框 &+6XdhX #rMMOu9r2
N}nU\e6 Y sY7:Lzs., 斜光栅介质为周期性结构自定义提供很多选项。
>T;"bcb 首先,光栅脊和槽的
材料必须在基础
参数选项中定义。
u$[
'}z0: 这些材料既可以从材料目录选择,也可以通过
折射率定义。
7oA$aJQ 斜光栅介质的编辑对话框 ?H eC+=/Z
>Mj :'
FMhwk"4L Fzh%#z0
在材料设置下面,可以定义光栅的几何结构。
6[wej$u 以下参数可用:
yxQxc5/X) - 填充率(定义光栅的上部分和下部分)
,=B
"%=S - z扩展(沿着z方向测量光栅高度)
E:xpma1Qf - 倾斜
角度左(脊左侧的倾斜角)
.3qaaXeH - 倾斜角度右(脊右侧的倾斜角)
dG.s8r*?M 15VOQE5Fl` 如果倾斜角相同,通过点击不等号关联两个设置。
v3[Z]+ ] 0z&3jWWY@ 斜光栅介质的编辑对话框 dr^pzM!N j/3827jw=
(S0MqX* ncb?iJ/b^ 为了添加可配置的涂层,必须激活应用涂层(Apply Coating)选项。
.
l RW 现在,额外的选项和结构的图形一起显示。
f"xi7vJv!f ':!w%& \ 斜光栅介质的编辑对话框 `j0T[Pi Y fk[mo
Et(Q$/W [0yKd?e sI/Hcm 首先,必须选择涂层材料。
7A8jnq7m/ 同样地,材料可以从材料目录中选择,也可以通过折射率定义。
iOPv
% [ 接着,分别配置每个侧壁,顶壁和底壁的涂层厚度,如草图所示。
\MsAdYR
go m<V?$ 斜光栅的编辑对话框 zBay 3a
?,%vndI
uTA
/E9OY yJWgz`/L *rSMD_> 由于斜光栅由介质定义,必须在周期选项中设置周期。
d,iW#, 由于用这个特别的介质来设计光栅,因此常常配置为周期性。
)I 4d_]& -LzHCO/7( 堆栈使用的评论 5(1Zj`>'
a-4'jT:
r|:|\"Yk uaNJTob O;ZU{VY 为了使用光学堆栈里的介质,有必要定义两个作为介质边界的表面。
C16MzrB}(N 一般来说,界面之间的距离必须手动设置。
apa~Is1 对于斜光栅介质,介质高度(z方向)直接定义在介质配置中。
bsC~
2S\o 因此,表面之间的距离自动与斜光栅介质z扩展同步。
A1{P"p! bWt>tEnf 斜光栅介质的采样配置 l]WVgu SOE#@{IXBa 斜光栅介质采样
\o?zL7 t] P[>{y ^HLi1w| 接下来的幻灯片展示了一些选中的斜光栅介质案例。
xYc)iH6& 在每个幻灯片的左边,编辑对话框展示了相关参数。
w}G2m)( 在右边,显示了介质的预览。
Z{EHV7 介质预览可以通过对话框部分底部的预览按钮获得。
-. L)-%wIV |]RV[S3v
`i8osX[ &p .S`Ue,H 采样斜光栅#1 x|_%R
v bENfEOf,
NO P~?p M-K<w(,X 采样斜光栅#2 \OHsCG27 j.uN`cU!
K0@2>nR |Pz- 采样斜光栅#3 #57nm]? VFT
G3,kI
F_/]9tz?; 2"~!Pu^.j 采样斜光栅#4 ;/N[tO?Q mk~i (Ee
`FHHh MxuwEV|^ 文档信息 ({yuwH?tH r[vMiVb