塑胶和玻璃不同,表面是可能吸收水分的,具体要看塑胶型号。 u\\t~<8
1,去除镀膜前塑胶吸收的水分。 sz9W}&(j
可以尝试镀膜前先用80度烘箱烘烤半小时再放镀膜室, IO)B3,g
或者电子枪启动前,用离子源低电压(300v以下)高电流预照射5分钟(以塑胶不变形为判断基准) #&Hi0..y
2,镀膜后防止水分进入 ]?^V xB7L
镀膜的第一层用SiO2打底更好一点。 Y'U1=w~E
3,温度差异造成的应力差 q
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不锈钢传热太快,造成塑胶边缘温度比中心低。 4H{t6t@-:
改善治具或者适当降低镀膜速率 PR8nJts W5
4,黑点是溅射上去的膜料?熔料没问题吧? {&5lZ<nu8A
或者离子源参数没问题?中和电流要保证是离子源束流的1.5倍以上