2,电子枪的知识(机械)
~Ph\Sbp 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
#q3l!3\mW `:O\dN>ON 1,冷却
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=r] i 电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。
_U{([M>; 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
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AN 所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘)
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>0DU 防止空打的措施有:
F`nb21{0y& 1,限制镀膜的最高电流
Qm8)4?FZ 2,限制镀膜的最长时间
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L8 3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……)
^`SA'F, [TF8'jI0 2,枪头
h;V,n 枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。
[ BT)l] 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
577:u<Yt 如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。
WZ!WxX>zO 比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。
hI pKJ&hm 真货厂家出厂价最低也要7000多。
NNG}M(/V ?EU\}N J 3,坩埚盘
* MM[u75 坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
y<XlRTy[} 坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。
24Z]%+b*E 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
{FN;'Uc 4yaxl\2 4,挡板
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xETA 挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。
=2y8CgLj 挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。
pium$4l2# 铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。
x'Pi5NRE 挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。
mL~z~w*s 新柯隆一般为1秒。
8hA^`Y 挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好)
0Q5 93F 然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。
p.fF}B h{lDxOH* 5,故障
WxbsD S; 电子枪原理简单,所以一般故障较少。
JK#vkCkyM 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
m}$+Hdk+7 要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。
9Q W&$n^ 否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良)
69kJC/1+l 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
<B /5J:o< 另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化,
o2-@o= F 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
Ip}Vb6} 还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候,
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T/xq 最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西,
Lc<eRVNd, 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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