膜系设计,最初得到的就是光学膜厚。 F=#Wfl-o
然后软件再根据折射率,算出物理(水晶)膜厚。 &1&*(oi]X
但是实际上折射率不是恒定的(特别是不同材料的交界处) JQb]mU%?
所以我们在镀膜机输入的物理(水晶)膜厚,和设计软件算出的膜厚还不一样,需要进行调整。 \Z$*8z=
特别是那种材料层数比较多的膜系,开始几层如果跑偏一点的话,后面就会差上很多。 l[xwH 9'
7Vi[I< *
但是光控控制的就是光学膜厚,所以基本上和软件算出的膜厚是一样的。 AQ&;y&+QR
光控的问题是精度没有晶控好,所以在薄层上无法用到光控。 @RC_Ie=#)
所以AR膜最好不要用光控。