[求助]哪位在用光控的设备 [复制链接]

一直在做晶控设备，现在想了解一下光控是怎么控制膜厚的，设计导入怎么处理。请教各位，谢谢。

光控导入需要先进行计算，就是用膜系设计软件对你设计的每一层给定一个监控波长，然后算出回值比例，将这个比例以及你的监控波长导入膜系制程的对应位置，监控波长要跟你计算折射率时候算出的光控TOOLING值相乘后带入膜系制程中。 +'XhC#:  
你用的什么镀膜机？我们用的光驰跟昭不同的镀膜机导法不一样，但是原理都是一样的。 GwQn;gkF  
附件是光控的一些知识点。 F=}
Z51|:~  

谢谢！

囊中蓄乾坤:谢谢！ (2017-12-28 18:59)  -7`-wu  

.nZ3kT`  
有帮助不？你们用的啥机器

奔跑的小骏马:有帮助不？你们用的啥机器 (2017-12-29 07:46)  =`p&h}h-L  

Y'N'hRD  
没有用过，想了解一下这方面的，国产机

金币不够撒是

膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 B>|5xpZM12  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 4VFc|g  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） E1W:hGI  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 t _\MAK  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如果跑偏一点的话，后面就会差上很多。 yWHne~!  
p@tp]u`7  
但是光控控制的就是光学膜厚，所以基本上和软件算出的膜厚是一样的。 NG9vml  
光控的问题是精度没有晶控好，所以在薄层上无法用到光控。 m2b
`/JW  
所以AR膜最好不要用光控。

ouyuu:膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 ~04[KG  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 czS7-Hh@  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） +2y&B,L_Wh  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 GZ"/k<~0  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如 .. (2018-01-18 10:34)  {]["6V6W  

J)huy\>,  
嗯 谢谢解答，想多学习点，以后做其他镀膜也好上手一些。目前是AR，晶控就行了。

谢谢，楼主分享

谢谢，好东西，