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    [求助]哪位在用光控的设备 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-12-27
    一直在做晶控设备,现在想了解一下光控是怎么控制膜厚的,设计导入怎么处理。请教各位,谢谢。
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-12-28
    光控导入需要先进行计算,就是用膜系设计软件对你设计的每一层给定一个监控波长,然后算出回值比例,将这个比例以及你的监控波长导入膜系制程的对应位置,监控波长要跟你计算折射率时候算出的光控TOOLING值相乘后带入膜系制程中。 [4t_ 83  
    你用的什么镀膜机?我们用的光驰跟昭不同的镀膜机导法不一样,但是原理都是一样的。 }ndH|,  
    附件是光控的一些知识点。 M7!&gFv8  
    附件: 7、光控系统基础知识.rar (650 K) 下载次数:61
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-12-28
    谢谢!
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-12-29
    回 囊中蓄乾坤 的帖子
    囊中蓄乾坤:谢谢! (2017-12-28 18:59)  |mY<TWoX  
    ;$[o7Qm5r  
    有帮助不?你们用的啥机器
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-12-29
    回 奔跑的小骏马 的帖子
    奔跑的小骏马:有帮助不?你们用的啥机器 (2017-12-29 07:46)  z^B!-FcIz>  
    )](8 {}wo  
    没有用过,想了解一下这方面的,国产机
    离线asd1236197
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-01-16
    金币不够撒是
    离线ouyuu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-01-18
    膜系设计,最初得到的就是光学膜厚。 R 8Iac[N  
    然后软件再根据折射率,算出物理(水晶)膜厚。 ZU "y<  
    但是实际上折射率不是恒定的(特别是不同材料的交界处) fJ\Ys;l[j  
    所以我们在镀膜机输入的物理(水晶)膜厚,和设计软件算出的膜厚还不一样,需要进行调整。 }T(|\ X  
    特别是那种材料层数比较多的膜系,开始几层如果跑偏一点的话,后面就会差上很多。 >u4uV8S   
    T 6phD8#  
    但是光控控制的就是光学膜厚,所以基本上和软件算出的膜厚是一样的。 9=JU &/!  
    光控的问题是精度没有晶控好,所以在薄层上无法用到光控。 |c >  
    所以AR膜最好不要用光控。
    3条评分光币+11
    lovsilence 光币 +5 学习了 03-08
    lilisrlhj 光币 +1 优秀文章,支持! 01-30
    rexchou 光币 +5 优秀文章,支持! 2018-01-18
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-03-17
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:膜系设计,最初得到的就是光学膜厚。 wh~~g qi9  
    然后软件再根据折射率,算出物理(水晶)膜厚。 0p[$8SCJ  
    但是实际上折射率不是恒定的(特别是不同材料的交界处) <!w-op2@ir  
    所以我们在镀膜机输入的物理(水晶)膜厚,和设计软件算出的膜厚还不一样,需要进行调整。 %@BQv 4oJ  
    特别是那种材料层数比较多的膜系,开始几层如 .. (2018-01-18 10:34)  }xdI{E1 q)  
    h_A}i2/{  
    嗯 谢谢解答,想多学习点,以后做其他镀膜也好上手一些。目前是AR,晶控就行了。
    离线蜜蜂侠
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-03-21
    谢谢,楼主分享
    离线yifeng602
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    只看该作者 9楼 发表于: 2018-03-26
    谢谢,好东西,
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