[求助]哪位在用光控的设备 [复制链接]

一直在做晶控设备，现在想了解一下光控是怎么控制膜厚的，设计导入怎么处理。请教各位，谢谢。

光控导入需要先进行计算，就是用膜系设计软件对你设计的每一层给定一个监控波长，然后算出回值比例，将这个比例以及你的监控波长导入膜系制程的对应位置，监控波长要跟你计算折射率时候算出的光控TOOLING值相乘后带入膜系制程中。 dw>C@c#"  
你用的什么镀膜机？我们用的光驰跟昭不同的镀膜机导法不一样，但是原理都是一样的。 tPWLg),  
附件是光控的一些知识点。 8.1c?S  

谢谢！

囊中蓄乾坤:谢谢！ (2017-12-28 18:59)  06Sceq  

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有帮助不？你们用的啥机器

奔跑的小骏马:有帮助不？你们用的啥机器 (2017-12-29 07:46)  >SHhAEF  

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没有用过，想了解一下这方面的，国产机

金币不够撒是

膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 g1"kTh  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 3;]H1 1  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） #.)0xfGW)n  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 je=a/Y=%U{  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如果跑偏一点的话，后面就会差上很多。 c 3)jccWTc  

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但是光控控制的就是光学膜厚，所以基本上和软件算出的膜厚是一样的。 h J)h
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光控的问题是精度没有晶控好，所以在薄层上无法用到光控。 .p" xVfi6  
所以AR膜最好不要用光控。

ouyuu:膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 +A?U{q  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 <x>Mo   
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） ds[|   
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 rf{rpe$  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如 .. (2018-01-18 10:34)  v0.#Sl-  

*VxgARIL  
嗯 谢谢解答，想多学习点，以后做其他镀膜也好上手一些。目前是AR，晶控就行了。

谢谢，楼主分享

谢谢，好东西，