[求助]哪位在用光控的设备 [复制链接]

一直在做晶控设备，现在想了解一下光控是怎么控制膜厚的，设计导入怎么处理。请教各位，谢谢。

光控导入需要先进行计算，就是用膜系设计软件对你设计的每一层给定一个监控波长，然后算出回值比例，将这个比例以及你的监控波长导入膜系制程的对应位置，监控波长要跟你计算折射率时候算出的光控TOOLING值相乘后带入膜系制程中。 AW]\n;f  
你用的什么镀膜机？我们用的光驰跟昭不同的镀膜机导法不一样，但是原理都是一样的。 NKu[6J?)  
附件是光控的一些知识点。 } oPO`  

谢谢！

囊中蓄乾坤:谢谢！ (2017-12-28 18:59)  K~L&Z?~|E  

#C
9f?fnM  
有帮助不？你们用的啥机器

奔跑的小骏马:有帮助不？你们用的啥机器 (2017-12-29 07:46)  uH\EV`@'  

P00G*iY~\  
没有用过，想了解一下这方面的，国产机

金币不够撒是

膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 h1S)B|~8  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 4A+g-{d  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） tQ@7cjq8bA  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 ?=l
b@U  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如果跑偏一点的话，后面就会差上很多。 g#(+:^3'  
D2VYw<tEA  
但是光控控制的就是光学膜厚，所以基本上和软件算出的膜厚是一样的。 2Pb+/1*ix  
光控的问题是精度没有晶控好，所以在薄层上无法用到光控。 XW aa`q  
所以AR膜最好不要用光控。

ouyuu:膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 2FdwX,O.  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 DEu0Z  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） xN$V(ZX4  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 Q65M(x+oy  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如 .. (2018-01-18 10:34)  gLSI?  

JK,^:tgm  
嗯 谢谢解答，想多学习点，以后做其他镀膜也好上手一些。目前是AR，晶控就行了。

谢谢，楼主分享

谢谢，好东西，