摘要 m MWhUr p0l.f`B 在
半导体产业中,晶片检测
系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微
结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的
物镜,工作在紫外
波长范围。作为一个例子,
模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。
6CGk*s q|s:&&Wf Y,,Z47%
E 建模任务 g`.H)36 s[/d}S@ > 4f~q$Sf]< 结果 H,GnF oOubqx JX&%5sn( 结果 ;Oq>c=9% 3A~<|<}t 55] MRv 结果 9PG{>W$M ,VUOsNN4\ jeA2yjAC 文件信息 pX!T; Re; /n$R-Q on5\rY<I:@
Best wishes, Iue=\qUK^ 行销部 17621763047(微信同号) k$#1T +(G --------------------------------------------------------------------- KiE'O{Y 讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 $/(``8li_ 上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333 /!6 VP | Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047 Fax: +86-21-6486 0709 nG?Z* n Email: david@infotek.com.cn Web:www.infotek.com.cn www.infocrops.com =eDC{/K --------------------------------------------------------------------- 87)/dHc
讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: I*a.!/$) http://www.honglun-seminary.com/2018/ L>hLYIW