摘要 $2I^ ;5r[ `>'%!E9G 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
O1]L4V1iH mu`:@7+Yp <vS3[( 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
\zOo[/-< Fq>tl 64A 建模任务 2aj9:S R2K{vs `_"F7Czn "L ,)4v/J 单次FMM仿真结果 8);G'7O TQhu$z<