示例.0082(1.0)
` $.X [\*U ZRXI?Jr% 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
~A[YnJYA# qPXA Nx<^ 1. 描述
?JXBWB4 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
G}=`V YK ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
#$rf-E5g-K ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Z7/vrME6 _&; ZmNNhc 2. 系统
o{{:|%m3Q 6 9[V < 1 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
NK+FQ^m[ 3. 透镜系统组件编辑
%r M-"6Q u;+%Qh ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
!sg%6H?} ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
~a 'nHy1 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
K,x$c % ■ 包括序列光学表面和光学介质。
&Q'\WA' @D fkGm[% 4. 光线追迹系统分析器-选项
; @ 7 \yih 1Om>~ -d|BO[4j ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
?- pxte8 ■ 可以选择选取光线的方法：
9"WRI Ht'c — 在x-y-网格
?@Z7O.u — 六边形
:0M' =~[ — 自由选取
]{K5zSK ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
(g%JK3 8s QQK.N( 5. 系统的3维视图
ltNu LZ McT\ R{/ 
*4|9&PNLE 6. 其他系统参数
PzIy">plm ■ 系统由单色平面波
照明 ijvNmn1k ■ 照明波长266.08nm
t *o7,
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
\#
7@a74 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
- ,R0IGS — 一个虚拟屏位于焦平面
jmR hAJV —
光束尺寸探测器置于焦平面
gb]h OB7g ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
8' 3"uv 5>'?:jY 7. 光线追迹系统分析器的结果
ow-+>Y[qZ ^Lsc`<xC 光线经过整个光学系统的三维视图
#t=[w 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
5XzrS-I+X@ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
`ifb<T h^['rmd BD hL z ■ VirtualLab可用于计算点列图。
uPFRh~ (b ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
M_tj7Q3
W ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
4 0 A&#u9o ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
~;}\zKQKE ktN% !Mh\ 9. 焦平面上的结果
M,&tA1CH .JNcY]V# 'n>K^rA ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
?x:m;z / ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
9Kc0&?q@D ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
{V.Wk ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
vZ:G8K)o( ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
(g Lea :]EP@ .( 10. 总结
]t* 33 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
y^9bfMA ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
1JIG+ZN md ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Pl_^n Fm0 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
OO-_?8I} 8098y,mQe （来源：讯技光电）
