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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 mB.j?@Y% m\0Xh* 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 \~r`2p-K
kL7n`o 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 |+aUy^
L/[b~D>T% 要求工具箱：光栅工具箱 {\-9^RL
6w"_sK?
相关应用案例：案例090.01，案例246.01 !jySID?q }%T8?d] 一、模拟任务： _, ki/7{ 二、光栅的描述 BM
vG w
w Dv G5 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 UZV\ ]Y
NKSK+ll2 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 gfW_S & &q
OxC8xB;` 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 fHLt{ !O
AW R 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” l9P=1TL
4#D<#!]^ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Uy Uz_6J
\Zgc
[F 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 w Avnj K!+IRA@ }#<mK3MBe it#,5#Y: 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 4%GwCEnS -Gyj]v5y`c V#P` F X 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm %*A|hK+G:W \Qgc7ev
y"L 7.B 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm o?O> pK WSKub n?7B 6 6%_p]U 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm [gybdI5wur Wp
|qv LK}*k/eG 5. 参数运行 L|*0
A=6
j` o_Stbg 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Gm.sl},
I;g>r8N-Bu 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ~x-v%x6 QB"Tlw( 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 J/(^Z?/~P! S%p.|! DfsPg':z Sp]u5\ 7. 总结 Mjj5~by:
ng6".u9 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 579<[[6~d2
csd~)a n b 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 xW . ~Jt
xCYK" v6\ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 np6R\Q!& ec sQshR
+.2O Z3( QQ：2987619807 gtwUY$
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