-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-05-14
- 在线时间1260小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 Y0&w;P 7yeZ+lD 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 yoGE#+|7^
S8.nM}x 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 \@MGO aR]
5c'rnMW4+p 要求工具箱：光栅工具箱 h*_r='
E
Y49kq} 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 &y3_>!L ] A<\ d 一、模拟任务： UrN$nhH 二、光栅的描述 |Ro\2uSr
kki]6_/n 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Y5c( U)R8
YjvqU /[3 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 XO"!)q F
hYb!RRGn 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 bnB}VRal
q^(A6W 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” D dt9`j
~uzu* 7U 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 H# 2'\0u
9
r+' o# 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 zT!JHG -'] #5p l lua t1#~J JOenVepQ, 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm \DeZY97p% { BJ[h KXicy_@DC` 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Tg{d#U_qB ~Z.lvdA_5 @@SG0YxZ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm iOj m j0 AL
H^tV? d Yf Vox; 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ^hY<avi6s ]=@>;yP) s49 AF 5. 参数运行 M ;\K+,
qI8{JcFx: 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ]E[Mv}
=
-bZ^A~<O, 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 VNXB7#ry 8I @= ? 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 A 4%0 ZuB Vq OM} :1He PuUqWW'^ 7. 总结 D?X97jNm
e R8h4M~O 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 O2 3f\pm&
hb`b Q 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ?=Ma7 y
) ae/+Q8 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 a)y8MGx? ~[ve?51
Tvf]OJ9N QQ：2987619807 !{Y$5)Xh`]
|
