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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 } R;. ~F t(/e~w 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 SwV0q
xCEEv5(5 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 /3L1Un*
Ym8G=KA 要求工具箱：光栅工具箱 r-9P&*1
@F+4
NL-'P 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 T7'njaLec !\z :S?V 一、模拟任务： .MXz nz 二、光栅的描述 vjhd|
(l TM5qC 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 (es+VI2!&C
FL ,jlE_ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 g>1yQ
h*Rh:yCR> 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 G{pfyfF
8 T):b2h 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Uwv Gw5)q
`M6!V 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 <IC=x(T
\j+O |#`|) 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 lQ<2Vw#Yl cuO(*%Is1 ^&03D5@LoY N /p9Ws 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Vl %AN;o m$ ) yd~ eB%KXPhMm 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm {Kx eH7S c*-8h{} h3Nwxj~E 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ' _lyoVP {0nZ;1,m &=Gz[1
L 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm WS/^WxRY 2?u>A3^R AON";&dLq- 5. 参数运行 J*o :RnB
cv=nGFx6 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 %0fF _OU
1P.
W 34 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 MUhC6s\F \_Nr7sc\ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 11gl Fe / *RDy!m x #-uf A[oLV"J6x5 7. 总结 4.I6%Bq $
'b:e`2fl 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 }__g\?Yf
7!+kyA\}r^ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 M $ DJ$G|Z
T]Gxf"mK 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 XSyCT0f08 9uV/G7Geq
Tf7$PSupP QQ：2987619807 9 yH95uaDF
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