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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 xVrLoAw  
    b~{nS,_Rn  
    任务/系统说明 AF, ;3G  
    7%&e4'SZO  
    {suQ"iv  
    gB>AYL%o=  
    亮点 RB6TM  
    3NdO3-~)  
    L8oqlq( 9  
    qiq=v)  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 8w#4T:hsuN  
     严格分析光栅衍射效率 '*EKi  
     考虑入射光的方向分布 -X3CrW  
    %zR5q  Lb  
    说明:光源 Js.G hTs  
    7+Nl)d:C J  
    {E}D6`{  
    i~3\dp  
    说明:光束分束器 >[~`rOU*|Y  
    #Zi6N  
    Nfv` )n@  
    I}|E_U1Qj  
    说明:检测透镜系统 Iu(]i?Y  
    99%R/m  
    NBAOVYK  
    ` +)Bl%*  
    说明:微型晶片 ~@e=+Z  
    %s;5  
    !| q19$  
    4q?R3 \e;  
    说明:检测物镜 >>M7#hmt  
    n0t+xvNDF_  
    LoSrXK~0~J  
    \^!<Y\\  
    说明:探测器 1;!dTh  
    uc\G)BN  
    cY+n 6k5  
    `uqe[u;`6  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 4F<wa s/  
    J3/e;5w2Z  
    E_P,>f  
    =>&~p\Aw  
    结果:3D光线追迹(所有级) K M[&WT  
    32pPeYxB!-  
    l\2"u M#7  
    <e wcWr  
    结果:光线追迹 7\H_9o0$  
    bIzBY+P  
    5A%Uv*  
    ;y)3/46S  
    结果:场追迹 s!]QG  
    7.+vp@+  
    x]608I T  
     .4Mc4'  
    结果:线性偏振光的场追迹 BqavI&1=  
    A'D2uV  
    #WE lL2&  
    #%/Jr 52<  
    文档和技术信息 zFY$^Oz"_  
    :c(I-xif  
    LaL{ ^wP  
    kt7Emb}  
    '$4&q629d  
    QQ:2987619807 B->oTC`5  
     
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