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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 ~x,_A>a  
    jlj ge=#c2  
    任务/系统说明 dzOco)y  
    p$ \>3\  
    2V)+ ba|+  
    H}kZ;8  
    亮点 g&  e u  
    vWoppt  
    $.Tn\4z&  
    `Jc/ o=]  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) IADHe\.  
     严格分析光栅衍射效率 &K0b3AWc  
     考虑入射光的方向分布 GmR3 a  
    We{@0K/O  
    说明:光源 z='%NZY  
    U)8yd,qG[%  
    j $q5m 24L  
    j2Dw7"f3  
    说明:光束分束器 BF W b0;+  
    @??3d9I  
    v`,!wS  
    -NJpql{Cb  
    说明:检测透镜系统 @KL&vm(F$  
    v%qOW)].  
    y-3'qq'E  
    $97O7j@  
    说明:微型晶片 \~*<[.8~  
    C}) Dvh  
    32 i6j  
    ~g=& wT11  
    说明:检测物镜 Br9j)1;  
    =T9h7c R  
    #sc!H4  
    P_5aHeiJ  
    说明:探测器 '* y(F*7+  
    E'a OHSAg  
    /7D5I\  
    HMF2sc$N  
    结果:3D光线追迹(只有0级) qt@/  
    ym{@w3"S  
    :o8`2Z*g  
    ndLEIqOY  
    结果:3D光线追迹(所有级) #1haq[Uv7  
    ;F258/J  
    &AJ bx  
    our ^J8  
    结果:光线追迹 UH>~Y N  
    H*N<7#  
    u"qu!EY2  
    cIwX sx  
    结果:场追迹 sR9$=91`  
    CBd%}il  
    &b#d4p6&l  
    } 9\_s*  
    结果:线性偏振光的场追迹 Nl YFS?5  
    Vx<{cHQQ  
    $^fF}y6N  
    s-rc0:I  
    文档和技术信息 &5-1Cd E  
    73X*|g  
    ZFtR#r(~41  
    5.5kH$;>  
    Hes!uy  
    QQ:2987619807 Ll=G+cw6P  
     
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