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成像系统>包括光栅 ~x,_A>a jlj ge=#c2 任务/系统说明 dzOco)y p$\>3\ 2V)+ba|+ H}kZ;8 亮点 g& e u vWoppt $.Tn\4z& `Jc/ o=] 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) IADHe\. 严格分析光栅衍射效率 &K0b3AWc 考虑入射光的方向分布 GmR3
a We{@0K/O 说明:光源 z='%NZY U)8yd,qG[% j$q5m 24L j2Dw7"f3 说明:光束分束器 BFW b0;+ @??3d9I v`,!wS
-NJpql{Cb 说明:检测透镜系统 @KL&vm(F$ v%qOW)]. y-3'qq'E $97O7j@ 说明:微型晶片 \~*<[.8~ C})Dvh 32 i6j ~g=&wT11 说明:检测物镜 Br9j)1; =T9h7c R #s c!H4 P_5aHeiJ 说明:探测器 '*y(F*7+ E'aOHSAg /7D5I\ HMF2sc$N 结果:3D光线追迹(只有0级) qt@/ ym{@w3"S :o8`2Z *g ndLEIqOY 结果:3D光线追迹(所有级) #1haq[Uv7 ;F258/J &AJ bx our
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