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摘要 ~g91Pr 8\^R~K`sY 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 9X6h 1C+13LE$U {p2!|A&a hE{K=Tz$ 设计任务 `bq<$e <sbu;dQ` 70?\ugxA f_OQ./` 1级参数优化 =IZT(8 "x0^#AVg s S+MqBh&I gT.sjd 结果-容差分析 &u."A3( "S[450% ,>a&"V^k "Fr.fhh'~ 结果-容差分析 bL`TySX k t#fMd$ dFxIF;C>/ >NV@R& VirtualLab Fusion一瞥 k=$TGqQY? q>_.[+6 !/b>sN} BKCiIfkZ VirtualLab Fusion中的工作流程 b#%hY{$j Qp5VP@t 构建光栅结构 :LQYo'@yB −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] #lo6c;*m5 −倾斜光栅高级设定[用例] 0],r0 •光栅衍射效率分析 4\N;2N −光栅阶序分析器[用例] Pbn*_/H •使用参数优化进行光栅参数优化 /{J4:N'B> •使用参数运行的容差分析 u/0h$l H7Rx>h_ C3f' {} DCO\c9 VirtualLab Fusion技术 !?jrf ]
A@ Dj?> <@ F{e@W([ 3*XNV 文件信息 D/gw .XYL C==hox7b xIW3={b 3 Z clQ P`+{@@ QQ:2987619807 p`dU2gV
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