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摘要 >4bOM@[] x%LWcT/ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 6Ba>l$/q t,+p!"MRY u{8Wu; %Sj;:LC 设计任务 nLYyS# B,}%1+* D7 A{*Tm P%.9 g 1级参数优化 AlGD .K )07M8o!^l df}B:?Ew. vrh}X[JEw' 结果-容差分析 $yRbo'- 852$Ui|I D`iWf3a. >[ywrB ?T 结果-容差分析 -K+gr sb
g @ -g^R4e< cND2(<jx: HnZrRHT0 VirtualLab Fusion一瞥 hnL(~ yU&A[DZQ E/Y.f _/7[=e}y VirtualLab Fusion中的工作流程 wXfy,W iQS?LksQX 构建光栅结构 RQv`D&u_ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] to+jQ9q8 −倾斜光栅高级设定[用例] 3KP6M= •光栅衍射效率分析 -x5^>+Y4 −光栅阶序分析器[用例] 7?b'"X" •使用参数优化进行光栅参数优化 ^PO0(rh •使用参数运行的容差分析 QR<IHE{~8 #2|sS|0 < X2Y-TET N(/DC)DJg VirtualLab Fusion技术 hNSV}~h mLKwk6I H|==i2V{ z$H
|8L 文件信息 $:F] O$A T3Qa[>+\ O" n /.` ?5"~V^L3 AgO:"'c QQ:2987619807 ]@>bz
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