切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 光学手册（上、下册，李景镇） 近代光学系统设计概论 Zemax光学设计从入门到精通(中文版) 现代光学基础（第2版 钟锡华）
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 728阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    技术专家
     
    发帖
    4669
    光币
    17721
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 N9=?IFEe]  
    W&e}*  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 "(vm0@8><  
    3j/~XT  
    bjql<x5d  
     #=czqZw  
    建模任务 sH :_sOV*  
    ~[:Cl  
    4Vv$bbu+  
    概述 "2hs=^&8  
    =[YjIWr#o  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :F?L,I,K  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !%>(O@~"|  
    CB>*(Mu  
     1U8/.x|  
    NH!x6p]n  
    光线追迹仿真 9zlhJ7i  
    8 G:f[\^  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0w?G&jjNtM  
    •单击go！ /C/I_S}H  
    •获得了3D光线追迹结果。 c:`CL<xzU  
    EO G&Xa  
     LteZ7e  
    5]Y?NN,GR  
    光线追迹仿真 Rz=wInFs  
    PPj%.i)  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 JO&+W^$uY}  
    •单击go！ /`b`ai8`8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 V~S(cO[vj  
    DB.)/(zWQ  
     b}Wm-]|+  
    z{A~d  
    场追迹仿真 dW Vm'd  
    I Ab-O  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _PGS"O?j  
    •单击go！ 9bu1Ax1M  
    f<*-;  
    .Tc?PmN  
     !]=S A &  
    场追迹仿真（相机探测器） g!!:o(k  
    BH2JH>'X  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [Ee <SB{  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 rz.`$  
    5@`dKFB5  
     @8U8>'zDE  
    oU)3du   
    场追迹仿真（电磁场探测器） pu Z0_1uN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "~6IjW*/  
    ]DLs'W;)  
    ant#bDb/  
     _E4_k%8y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -k,?cEjCs  
     F tay8m@f  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !X+}W[Ic^  
    ivJTE  
     Ed>n/)Sm  
    0"DS>:Ntk  
    文件信息 l`?4O  
    z?.XVk-  
     ?HP{>l0r  
    X oh@(%  
     \Vl)q>K _h  
    QQ：2987619807 xH{V.n&v  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表