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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 " ih>T^|  
    Nz;*;BQK:  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?0)XS<  
    A ** M"T  
    5]n<%bP\  
     JU,RO oz(  
    建模任务 :@807OYzy  
    p(&o'{fb  
    QRG)~  
    概述 H2R^t{ w  
    ~FrkLP  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 aKFA&Xnsl  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 */dsMa  
    3ij I2Zy  
     'L+BkE6+%  
    :W<,iqSCm  
    光线追迹仿真 "Ohpb!J9  
    ;7=J U^@D@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +mW$D@Pf  
    •单击go！ H5MAN,`  
    •获得了3D光线追迹结果。 r^tXr[}  
    JhXN8Bq33  
     AT'$VCYC(  
    6XCX#4'i%  
    光线追迹仿真 lJ1xx}k{U  
    KGLhl;a  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3&Zx*:  
    •单击go！ v^I%Wm  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ] Sx= y<  
    Lj* =*V  
     r@ *A   
    +=04X F:  
    场追迹仿真 ymVd94L  
    U;dt-3?=.h  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?D 9#dGK  
    •单击go！ W%ZU& YBc  
    ;Sl0kSu  
    ]~ eWr2uG?  
     mSw?iL  
    场追迹仿真（相机探测器） bc}OmPE  
    'Mhdw}  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ={vtfgxl  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 72.IhBNtT  
    )KQv4\0y<  
     >w#3fTJ  
    g;Q^_4@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .-6s`C2 Y}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [|O6n"'  
    y:zT1I@>  
    b'"%   
     -"fq34v  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Jl9TMu!1]  
     zk~rKQ,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |3o@I uGt  
    BFu9KS+@)  
     `l#$l3v+  
    "T[jQr  
    文件信息 T>o# *{q n  
    {!bJ.O l  
     u)]sJ1p  
    [zd-=.:+M[  
     3YF]o9  
    QQ：2987619807 A'R sy6  
     
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