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1. 摘要 3}X; WE ` Y7
`i~K; 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 j%OnLTZ I4^}C;p0? 3QzHQU LVp*YOq7 2. 建模任务 e{33%5 IMay`us]:8 / =2 7ezf.[{R 3. 干涉条纹的变化 @}@J$ g *$o{+YP D$
+"n R2$;f?;: 4. 走进VirtualLab Fusion VwV`tKit XK4idC ');QmN%J DEkFmmw
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 UP}5E h L(i*v5? %8lF%uu!x G(XI TL u* 6. VirtualLab Fusion 技术 RxVf:h'l T5+iX`#M aD:vNX 7. 文件信息 2v6QUf ` 'y[i '9MtIcNb :D'#CoBA Z:PsQ~M QQ:2987619807 ymLhSF][
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