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1. 摘要 7he,?T)vD nntuLuW 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 |`Ntv} c74.< @w 7 60Y$/Wz ^f
&XQQY 2. 建模任务 L9\1+rq k\YG^I yw[g!W t#/YN.@r 3. 干涉条纹的变化 |zNX=mAV c9'vDTE%~ V>%rv'G8 %~JJ. & 4. 走进VirtualLab Fusion +L|?~p`V G<8/F<m/ Gg3,:A_ w }6}l7x 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Co_A/ BB$>h} %lx!.G kr5">"7 6. VirtualLab Fusion 技术 "a>q`RaIQ" +I:Unp B6nX$T4zP 7. 文件信息 vq0Tk
bzs eKLZt%= [nG<[<0G; 9y8&9<# ?.-wnz QQ:2987619807 4 Y9`IgQ
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