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1. 摘要 1a*6ZGk. dQK`sLChv 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ofK='G. .l=p[BI 8JP6M!F# :*cHA 2. 建模任务 Y$+QNi eo ?Oir) -%i#j> Q0WY$w1< 3. 干涉条纹的变化 W #47Cz 3fl7~Lw, _aY. :G0+;[?N 4. 走进VirtualLab Fusion V]m^7^m3 YuA7r"c 0-GKu d k,lqT>C 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 AA2ui% }7Jp :. qk }_]As}E gwJ}]Tf 6. VirtualLab Fusion 技术 \imp7}N *_#&"(P u uSHCp
7. 文件信息 =1IEpxh% bOe<\Y$ qh H+m F:_FjxU wx./"m.M QQ:2987619807 8yvJ`eL-
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