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摘要 3C8W]yw/s Cl+TjmOV\` 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 W]v[Xm$q ,6%{9oW9Z: 1Jx|0YmO 0*.>
>rI 建模任务 v$`AN4)} vkXdKL(q Z`l97$\ 仿真干涉条纹 "16-K%} L|3wGY9E ?q%)8 E 走进VirtualLab Fusion 3ppY@_1 O_p:`h:;M `aS9o]t \c! LC4pE VirtualLab Fusion中的工作流程 3}H"(5dL}z j;O{Hvvz •设置输入场 $UZ4,S?V −基本光源模型[教程视频] I!)gXtJA" •使用导入的数据自定义表面轮廓 l_!.yV{ •定义元件的位置和方向 "}bk
*2 − LPD II:位置和方向[教程视频] up~l4]b+ •正确设置通道以进行非序列追迹 CMIjc(m −非序列追迹的通道设置[用例] \Mv8pU •使用参数运行检查影响/变化 *mM+(]8US −参数运行文档的使用[用例] Cl;B%5yl xy%lp{ u_o>v{&i /
4K*iq VirtualLab Fusion技术 W"rX$D[Le 6/9h=-w& 文件信息 3986;>v X,/@#pSOz QQ:2987619807 62}bs/%
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