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1. 摘要 T"C.>G'[B <gH-`3J6 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 89{;R F0zaA HrFbUK@@ z[R
dM#L 2. 建模任务 n@"<NKzh &2 *
"cly99t q+<,FdG 3. 干涉条纹的变化 4MW oGV9 tQUKw@@Q Otq1CD9 "*l{ m2" 4. 走进VirtualLab Fusion *3@8,~_tp B1E:P`t I!u=.[5zdC WS.g`% 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 *14:^neoI \pTC[Ry1 &?5)Jis: |]?W`KN0 6. VirtualLab Fusion 技术 %Ny1H/@Q1+ Le bc@, eX}aa0 7. 文件信息 EL z5P}L6 #Hu##x| 0L#i c61U -JPkC(V7] gN[t QQ:2987619807 @W$ha
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