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摘要 a1nj}1M% 0p;pTc 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 "X7;^yY KnjowK Q1yj+)_ I/
q>c2Pw$ 建模任务 Z<,$XvL 78[5@U ILQB%0! 光栅特性与参数的严格分析 |{G GATni D^~G(m;- 不同光栅周期下的衍射效率 861!p%y5 `43X? yQ klKd ! ?UPZ49y 关于光栅周期选择的考虑 jg7WMH"` DfJHH)Ry} E3a^)S{ Pb(XR+ 偏振相关的衍射特性 #~Z55D_ Bh\>2]~@a =gjq@N]lAW
=]auP{AlE J"&jR7-9 ojA i2uz O0Vtvbj AKbrXKx 通过参数优化进行光栅设计 |<q9Ee =h<LlI^v 固定周期的2D参数优化 \~:Uj~ JGB 9Z B?G!~lQ)o 2D参数优化–设计1 )t-Jc+*A> { eU_ ~fDMzOd 'K9{xI@N 2D参数优化–设计2 0gEtEH+ M^E\L
C BV8-\R@ l-Q.@hG 制造公差分析–设计2 O"<W<l7Q 4%3R}-'mh
>Mzk;TM opKk#40 变化光栅周期的3D参数优化 9EE},D h5:>o 6Wm`Vj(s -666|pA 制造公差分析 b"t<B2N 5yHarC soH
M5<U oBm^RHTZ 走进VirtualLab Fusion >Y h7By \;h+:[<e1 WI?iz-,]( 4a&*?=GG VirtualLab Fusion中的工作流程 ,.cNs5[t U%7| iK |9;6Cp 9 NO^ ' •构造光栅结构 &7{/ x~S{ −通过使用界面来配置光栅结构 b* QRd [用例] $E_9AaX •分析光栅衍射效率 Z]1=nSv −光栅级次分析器[用例] {x+"Ru~7, •使用参数运行搜索初始解决方案 |7K[+aK −参数运行文档的使用[用例] D};zPf@!p •通过参数优化找到最终设计 <H Le, #9{9T"ed VirtualLab Fusion技术 vSt7&ec lE8M.ho\ [Ipg",Su;f Tk^J#};N 文件信息 }SdI _sLe |HjoaN ) -7^A_!. g=*`6@_= rc*iL "w)Y0Qq*z QQ:2987619807 uG|d7LS,%
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