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摘要 :{i$2\D H6 n]C%(v!u3 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `\F%l?aY
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 U|Z>SE<k Ce5w0&VlS 建模任务 /q"d`!h)w ,D@ ;i  H
MjeGO.i 光栅特性与参数的严格分析 ,8=`* Q) ,3&4pM 不同光栅周期下的衍射效率 cR=94i=t ]oas
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0ve` 关于光栅周期选择的考虑 , P@/=I5
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 oGJ*Rn)Z T}t E/ 通过参数优化进行光栅设计 G !1~i*P$u CP]S-o}yd 固定周期的2D参数优化 b\?7?g Gin_E&%g
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 Y^f 94s:2S eP q13!FC/ 制造公差分析–设计2 QE 45!Z g
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 <G~} N +}7Ea:K 变化光栅周期的3D参数优化 4{;8:ax&w
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 +Lm3vj_ N Hp)X^O" VirtualLab Fusion中的工作流程 hrs#ZZ:E
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 NP K#].F E?3 0J3 S •构造光栅结构 lx \qp`w
−通过使用界面来配置光栅结构 Dtz A$|Q}
[用例] uY^v"cw/F
•分析光栅衍射效率 (^sh
−光栅级次分析器[用例] \Fj5v$J-
•使用参数运行搜索初始解决方案 "?ap gx 6
−参数运行文档的使用[用例] 9=t#5J#O
•通过参数优化找到最终设计 3iE-6udCS j/)"QiS*? VirtualLab Fusion技术 _W)`cr +kj zn]} f
 51I|0 ly hi! L\yi 文件信息 Ua):y) A j?EskT 6 iO!2 7y  Zimh _ duX0Mc. 0P
aSc{Ft/O QQ：2987619807 kTnOmA w
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